Semicera's 4 Inch N-type SiC Substrates jẹ iṣelọpọ lati pade awọn iṣedede deede ti ile-iṣẹ semikondokito. Awọn sobusitireti wọnyi n pese ipilẹ iṣẹ ṣiṣe giga fun ọpọlọpọ awọn ohun elo itanna, ti o funni ni adaṣe iyasọtọ ati awọn ohun-ini gbona.
N-Iru doping ti awọn sobusitireti SiC wọnyi mu iṣiṣẹ itanna eletiriki wọn pọ si, ṣiṣe wọn ni pataki ni pataki fun agbara-giga ati awọn ohun elo igbohunsafẹfẹ giga. Ohun-ini yii ngbanilaaye fun iṣẹ ṣiṣe daradara ti awọn ẹrọ bii diodes, transistors, ati awọn ampilifaya, nibiti idinku idinku agbara jẹ pataki.
Semicera nlo awọn ilana iṣelọpọ ipo-ti-aworan lati rii daju pe sobusitireti kọọkan ṣe afihan didara dada ti o dara julọ ati isokan. Itọkasi yii ṣe pataki fun awọn ohun elo ninu ẹrọ itanna agbara, awọn ẹrọ makirowefu, ati awọn imọ-ẹrọ miiran ti o beere iṣẹ igbẹkẹle labẹ awọn ipo to gaju.
Iṣakojọpọ awọn sobusitireti N-Iru SiC ti Semicera sinu laini iṣelọpọ rẹ tumọ si anfani lati awọn ohun elo ti o funni ni itusilẹ ooru ti o ga julọ ati iduroṣinṣin itanna. Awọn sobusitireti wọnyi jẹ apẹrẹ fun ṣiṣẹda awọn paati ti o nilo agbara ati ṣiṣe, gẹgẹbi awọn eto iyipada agbara ati awọn amplifiers RF.
Nipa yiyan Semicera's 4 Inch N-type SiC Substrates, o n ṣe idoko-owo ni ọja kan ti o ṣajọpọ imọ-jinlẹ ohun elo imotuntun pẹlu iṣẹ-ọnà to nipọn. Semicera tẹsiwaju lati ṣe amọna ile-iṣẹ nipasẹ ipese awọn solusan ti o ṣe atilẹyin idagbasoke awọn imọ-ẹrọ semikondokito gige-eti, ni idaniloju iṣẹ ṣiṣe giga ati igbẹkẹle.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ijagun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli Orange / Pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / ṣẹ egungun / hex farahan | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akopọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-setan pẹlu igbale apoti Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
