Semicerajẹ lọpọlọpọ lati mu awọn30mm Aluminiomu Nitride Wafer Sobusitireti, ohun elo ti o ga julọ ti a ṣe atunṣe lati pade awọn ibeere ti o lagbara ti itanna igbalode ati awọn ohun elo optoelectronic. Awọn sobusitireti Aluminiomu Nitride (AlN) jẹ olokiki fun adaṣe igbona giga wọn ati awọn ohun-ini idabobo itanna, ṣiṣe wọn ni yiyan pipe fun awọn ẹrọ ṣiṣe giga.
Awọn ẹya pataki:
• Iyatọ Gbona Conductivity: Awon30mm Aluminiomu Nitride Wafer Sobusitiretiṣe iṣogo ifasilẹ igbona ti o to 170 W / mK, ni pataki ti o ga ju awọn ohun elo sobusitireti miiran, ni idaniloju ifasilẹ ooru daradara ni awọn ohun elo agbara-giga.
•Ga Electrical idabobo: Pẹlu awọn ohun-ini idabobo itanna to dara julọ, sobusitireti yii dinku ọrọ-agbelebu ati kikọlu ifihan agbara, jẹ ki o jẹ apẹrẹ fun awọn ohun elo RF ati makirowefu.
•Agbara ẹrọ: Awon30mm Aluminiomu Nitride Wafer Sobusitiretinfunni ni agbara ẹrọ ti o ga julọ ati iduroṣinṣin, aridaju agbara ati igbẹkẹle paapaa labẹ awọn ipo iṣẹ ṣiṣe to muna.
•Awọn ohun elo WapọSobusitireti yii jẹ pipe fun lilo ninu awọn LED agbara-giga, awọn diodes laser, ati awọn paati RF, n pese ipilẹ to lagbara ati igbẹkẹle fun awọn iṣẹ akanṣe rẹ julọ.
•Ṣiṣeto Itọkasi: Semicera ṣe idaniloju pe sobusitireti wafer kọọkan jẹ iṣelọpọ pẹlu pipe ti o ga julọ, ti o funni ni sisanra aṣọ ati didara dada lati pade awọn iṣedede deede ti awọn ẹrọ itanna to ti ni ilọsiwaju.
Ṣe alekun ṣiṣe ati igbẹkẹle ti awọn ẹrọ rẹ pẹlu Semicera's30mm Aluminiomu Nitride Wafer Sobusitireti. Awọn sobusitireti wa jẹ apẹrẹ lati fi iṣẹ ṣiṣe ti o ga julọ ṣe, ni idaniloju pe itanna rẹ ati awọn ọna ẹrọ optoelectronic ṣiṣẹ ni dara julọ wọn. Gbekele Semicera fun awọn ohun elo gige-eti ti o yorisi ile-iṣẹ ni didara ati isọdọtun.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ogun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli osan / pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / ṣẹ egungun / hex farahan | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akopọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
