Semicera 3C-SiC Wafer Substrates jẹ iṣẹ-ṣiṣe lati pese pẹpẹ ti o lagbara fun ẹrọ itanna agbara iran-tẹle ati awọn ẹrọ igbohunsafẹfẹ giga. Pẹlu awọn ohun-ini igbona giga ati awọn abuda itanna, awọn sobusitireti wọnyi jẹ apẹrẹ lati pade awọn ibeere ibeere ti imọ-ẹrọ ode oni.
Eto 3C-SiC (Cubic Silicon Carbide) ti Semicera Wafer Substrates nfunni ni awọn anfani alailẹgbẹ, pẹlu adaṣe igbona ti o ga julọ ati imugboroja igbona kekere kan ni akawe si awọn ohun elo semikondokito miiran. Eyi jẹ ki wọn jẹ yiyan ti o tayọ fun awọn ẹrọ ti n ṣiṣẹ labẹ awọn iwọn otutu ati awọn ipo agbara-giga.
Pẹlu foliteji didenukole itanna giga ati iduroṣinṣin kemikali giga, Semicera 3C-SiC Wafer Substrates ṣe idaniloju iṣẹ ṣiṣe pipẹ ati igbẹkẹle. Awọn ohun-ini wọnyi ṣe pataki fun awọn ohun elo bii radar-igbohunsafẹfẹ giga, ina-ipinle ti o lagbara, ati awọn oluyipada agbara, nibiti ṣiṣe ati agbara jẹ pataki julọ.
Ifaramo ti Semicera si didara jẹ afihan ninu ilana iṣelọpọ ti oye ti Awọn sobusitireti Wafer 3C-SiC wọn, ni idaniloju isokan ati aitasera kọja gbogbo ipele. Itọkasi yii ṣe alabapin si iṣẹ gbogbogbo ati igbesi aye gigun ti awọn ẹrọ itanna ti a ṣe sori wọn.
Nipa yiyan Semicera 3C-SiC Wafer Substrates, awọn aṣelọpọ ni iraye si ohun elo gige-eti ti o jẹ ki idagbasoke ti kere, yiyara, ati awọn paati itanna daradara diẹ sii. Semicera tẹsiwaju lati ṣe atilẹyin ĭdàsĭlẹ imọ-ẹrọ nipa ipese awọn iṣeduro ti o gbẹkẹle ti o pade awọn ibeere idagbasoke ti ile-iṣẹ semikondokito.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ogun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli osan / pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / ṣẹ egungun / hex farahan | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akopọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
