Semicera's 4 ", 6", ati 8" N-type SiC Ingots ṣe aṣoju aṣeyọri ni awọn ohun elo semikondokito, ti a ṣe apẹrẹ lati pade awọn ibeere ti npo si ti itanna igbalode ati awọn ọna ṣiṣe agbara. Awọn ingots wọnyi n pese ipilẹ to lagbara ati iduroṣinṣin fun ọpọlọpọ awọn ohun elo semikondokito, ni idaniloju pe o dara julọ. išẹ ati longevity.
Awọn ingots SiC Iru N-iru wa ni a ṣe ni lilo awọn ilana iṣelọpọ ilọsiwaju ti o mu imudara itanna wọn pọ si ati iduroṣinṣin gbona. Eyi jẹ ki wọn jẹ apẹrẹ fun agbara-giga ati awọn ohun elo igbohunsafẹfẹ giga, gẹgẹbi awọn inverters, transistors, ati awọn ẹrọ itanna agbara miiran nibiti ṣiṣe ati igbẹkẹle jẹ pataki julọ.
Doping kongẹ ti awọn ingots wọnyi ṣe idaniloju pe wọn funni ni iṣẹ deede ati atunṣe. Aitasera yii ṣe pataki fun awọn olupilẹṣẹ ati awọn aṣelọpọ ti n titari awọn aala ti imọ-ẹrọ ni awọn aaye bii afẹfẹ, ọkọ ayọkẹlẹ, ati awọn ibaraẹnisọrọ. Semicera's SiC ingots jẹ ki iṣelọpọ awọn ẹrọ ti o ṣiṣẹ daradara labẹ awọn ipo to gaju.
Yiyan Semicera's N-type SiC Ingots tumọ si sisọpọ awọn ohun elo ti o le mu awọn iwọn otutu giga ati awọn ẹru itanna giga pẹlu irọrun. Awọn ingots wọnyi ni ibamu ni pataki fun ṣiṣẹda awọn paati ti o nilo iṣakoso igbona to dara julọ ati iṣẹ-igbohunsafẹfẹ giga, gẹgẹbi awọn amplifiers RF ati awọn modulu agbara.
Nipa jijade fun Semicera's 4", 6”, ati 8” N-type SiC Ingots, o n ṣe idoko-owo ni ọja kan ti o ṣajọpọ awọn ohun-ini ohun elo alailẹgbẹ pẹlu konge ati igbẹkẹle ti a beere nipasẹ awọn imọ-ẹrọ semikondokito gige-eti. Semicera tẹsiwaju lati dari ile-iṣẹ naa nipasẹ pese awọn solusan imotuntun ti o wakọ ilọsiwaju ti iṣelọpọ ẹrọ itanna.
Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
Crystal paramita | |||
Polytype | 4H | ||
Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
Itanna paramita | |||
Dopant | n-iru Nitrogen | ||
Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
Awọn paramita ẹrọ | |||
Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
Sisanra | 350± 25 μm | ||
Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
Atẹle alapin | Ko si | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Ogun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Ilana | |||
iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Didara iwaju | |||
Iwaju | Si | ||
Ipari dada | Si-oju CMP | ||
Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
Peeli osan / pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
Awọn eerun eti / indents / ṣẹ egungun / hex farahan | Ko si | ||
Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akopọ≤30% |
Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
Didara Pada | |||
Pada pari | C-oju CMP | ||
Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
Eti | |||
Eti | Chamfer | ||
Iṣakojọpọ | |||
Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
* Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. |