Semicera's 4 Inch High Purity Semi-Insulating (HPSI) SiC Awọn sobusitireti didan didan ti ẹgbẹ meji jẹ ti iṣelọpọ lati pade awọn ibeere deede ti ile-iṣẹ semikondokito. Awọn sobusitireti wọnyi jẹ apẹrẹ pẹlu fifẹ iyasọtọ ati mimọ, nfunni ni pẹpẹ ti o dara julọ fun awọn ẹrọ itanna gige-eti.
Awọn wafers HPSI SiC wọnyi jẹ iyatọ nipasẹ iṣesi igbona giga wọn ati awọn ohun-ini idabobo itanna, ṣiṣe wọn ni yiyan ti o dara julọ fun awọn ohun elo igbohunsafẹfẹ giga ati awọn ohun elo agbara giga. Ilana didan ti o ni ilọpo meji ṣe idaniloju aiṣan oju ti o kere ju, eyiti o ṣe pataki fun imudara iṣẹ ẹrọ ati igba pipẹ.
Iwa mimọ giga ti Semicera's SiC wafers dinku awọn abawọn ati awọn aimọ, ti o yori si awọn oṣuwọn ikore ti o ga julọ ati igbẹkẹle ẹrọ. Awọn sobusitireti wọnyi dara fun ọpọlọpọ awọn ohun elo, pẹlu awọn ẹrọ makirowefu, ẹrọ itanna agbara, ati awọn imọ-ẹrọ LED, nibiti pipe ati agbara jẹ pataki.
Pẹlu idojukọ lori ĭdàsĭlẹ ati didara, Semicera nlo awọn ilana iṣelọpọ ilọsiwaju lati ṣe awọn wafers ti o pade awọn ibeere ti o lagbara ti awọn ẹrọ itanna igbalode. Pipa didan ti o ni ilọpo meji kii ṣe ilọsiwaju agbara ẹrọ nikan ṣugbọn tun ṣe imudarapọ dara julọ pẹlu awọn ohun elo semikondokito miiran.
Nipa yiyan Semicera's 4 Inch High Purity Semi-Insulating HPSI SiC Double-side Polished Wafer Substrates, awọn aṣelọpọ le lo awọn anfani ti iṣakoso igbona imudara ati idabobo itanna, ni ṣiṣi ọna fun idagbasoke awọn ẹrọ itanna diẹ sii daradara ati agbara. Semicera tẹsiwaju lati ṣe itọsọna ile-iṣẹ pẹlu ifaramo rẹ si didara ati ilọsiwaju imọ-ẹrọ.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ogun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli osan / pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / ṣẹ egungun / hex farahan | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akopọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
