41 ege 4 inch lẹẹdi mimọ MOCVD ẹrọ awọn ẹya ara

Apejuwe kukuru:

Ifihan ọja ati lilo: Ti gbe awọn ege 41 ti sobusitireti wakati mẹrin, ti a lo fun LED dagba pẹlu fiimu epitaxial alawọ-bulu

Ipo ẹrọ ti ọja: ni iyẹwu ifaseyin, ni olubasọrọ taara pẹlu wafer

Main ibosile awọn ọja: LED eerun

Main opin oja: LED


Alaye ọja

ọja Tags

Apejuwe

Ile-iṣẹ wa peseSiC ti a boawọn iṣẹ ilana nipasẹ ọna CVD lori dada ti graphite, awọn ohun elo amọ ati awọn ohun elo miiran, nitorinaa awọn gaasi pataki ti o ni erogba ati ohun alumọni fesi ni iwọn otutu giga lati gba awọn ohun elo SiC mimọ ti o ga, awọn ohun elo ti a gbe sori oju ti awọn ohun elo ti a bo, ti o ṣẹda kanSiC aabo Layer.

41 ege 4 inch lẹẹdi mimọ MOCVD ẹrọ awọn ẹya ara

Akọkọ Awọn ẹya ara ẹrọ

1. Idaabobo ifoyina otutu otutu:
resistance ifoyina tun dara pupọ nigbati iwọn otutu ba ga bi 1600 ℃.
2. Iwa mimọ to gaju: ti a ṣe nipasẹ ifasilẹ ọru kemikali labẹ ipo chlorination otutu otutu.
3. Ogbara resistance: ga líle, iwapọ dada, itanran patikulu.
4. Ipata resistance: acid, alkali, iyo ati Organic reagents.

 

Awọn pato akọkọ ti CVD-SIC Coating

Awọn ohun-ini SiC-CVD
Crystal Be FCC β ipele
iwuwo g/cm³ 3.21
Lile Vickers líle 2500
Iwọn Ọkà μm 2 ~ 10
Kẹmika Mimọ % 99.99995
Agbara Ooru J·k-1 · K-1 640
Sublimation otutu 2700
Agbara Felexural MPa (RT 4-ojuami) 415
Modulu ọdọ Gpa (4pt tẹ, 1300℃) 430
Imugboroosi Gbona (CTE) 10-6K-1 4.5
Gbona elekitiriki (W/mK) 300
Semicera Work ibi
Ibi iṣẹ Semicera 2
Ẹrọ ẹrọ
CNN processing, kemikali ninu, CVD bo
Semicera Ware Ile
Iṣẹ wa

  • Ti tẹlẹ:
  • Itele: