Semicera's 4”6” Ologbemi-Idabobo SiC Ingots ti o ga julọ jẹ apẹrẹ lati pade awọn iṣedede deede ti ile-iṣẹ semikondokito. Awọn ingots wọnyi ni a ṣe pẹlu idojukọ lori mimọ ati aitasera, ṣiṣe wọn ni yiyan pipe fun agbara-giga ati awọn ohun elo igbohunsafẹfẹ giga nibiti iṣẹ ṣiṣe jẹ pataki julọ.
Awọn ohun-ini alailẹgbẹ ti awọn ingots SiC wọnyi, pẹlu adaṣe igbona giga ati resistivity itanna to dara julọ, jẹ ki wọn baamu ni pataki fun lilo ninu ẹrọ itanna ati awọn ẹrọ makirowefu. Iseda idabobo ologbele wọn ngbanilaaye fun itusilẹ ooru ti o munadoko ati kikọlu itanna kekere, ti o yori si awọn paati ti o munadoko ati igbẹkẹle diẹ sii.
Semicera nlo awọn ilana iṣelọpọ ti-ti-aworan lati ṣe agbejade awọn ingots pẹlu didara gara ti iyasọtọ ati isokan. Itọkasi yii ṣe idaniloju pe ingot kọọkan le ṣee lo ni igbẹkẹle ninu awọn ohun elo ifura, gẹgẹbi awọn ampilifaya igbohunsafẹfẹ giga-giga, diodes laser, ati awọn ẹrọ optoelectronic miiran.
Wa ni awọn iwọn 4-inch ati 6-inch, awọn ingots Semicera's SiC pese irọrun ti o nilo fun ọpọlọpọ awọn iwọn iṣelọpọ ati awọn ibeere imọ-ẹrọ. Boya fun iwadii ati idagbasoke tabi iṣelọpọ pupọ, awọn ingots wọnyi ṣe ifijiṣẹ iṣẹ ati agbara ti awọn eto itanna ode oni beere.
Nipa yiyan Semicera's High Purity Semi-Insulating SiC Ingots, o n ṣe idoko-owo sinu ọja kan ti o ṣajọpọ imọ-jinlẹ ohun elo to ti ni ilọsiwaju pẹlu imọ-ẹrọ iṣelọpọ ailopin. Semicera ti wa ni igbẹhin si atilẹyin ĭdàsĭlẹ ati idagbasoke ti awọn semikondokito ile ise, laimu ohun elo ti o jeki awọn idagbasoke ti gige-eti ẹrọ itanna.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ijagun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli Orange / Pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / fifọ / awọn awo hex | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akojọpọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
