Semicera's 6 Inch N-type SiC Wafer duro ni iwaju iwaju ti imọ-ẹrọ semikondokito. Ti a ṣe fun iṣẹ ṣiṣe ti o dara julọ, wafer yii ni agbara giga, igbohunsafẹfẹ giga, ati awọn ohun elo iwọn otutu, pataki fun awọn ẹrọ itanna to ti ni ilọsiwaju.
Wafer 6 inch N-type SiC wafer ṣe ẹya iṣipopada elekitironi giga ati kekere lori-resistance, eyiti o jẹ awọn aye pataki fun awọn ẹrọ agbara bii MOSFETs, diodes, ati awọn paati miiran. Awọn ohun-ini wọnyi ṣe idaniloju iyipada agbara daradara ati dinku iran ooru, imudara iṣẹ ati igbesi aye awọn ọna ẹrọ itanna.
Awọn ilana iṣakoso didara lile ti Semicera rii daju pe ọkọọkan SiC wafer n ṣetọju fifẹ dada ti o dara julọ ati awọn abawọn to kere julọ. Ifarabalẹ pataki yii si awọn alaye ni idaniloju pe awọn wafers wa pade awọn ibeere lile ti awọn ile-iṣẹ bii ọkọ ayọkẹlẹ, ọkọ ofurufu, ati awọn ibaraẹnisọrọ.
Ni afikun si awọn ohun-ini itanna ti o ga julọ, N-type SiC wafer nfunni ni iduroṣinṣin igbona ti o lagbara ati resistance si awọn iwọn otutu giga, ti o jẹ ki o jẹ apẹrẹ fun awọn agbegbe nibiti awọn ohun elo aṣa le kuna. Agbara yii jẹ pataki ni pataki ni awọn ohun elo ti o kan igbohunsafẹfẹ-giga ati awọn iṣẹ agbara-giga.
Nipa yiyan Semicera's 6 Inch N-type SiC Wafer, o n ṣe idoko-owo ni ọja kan ti o ṣojuuṣe ipin ti iṣelọpọ semikondokito. A ṣe ipinnu lati pese awọn ohun amorindun fun awọn ẹrọ gige-eti, ni idaniloju pe awọn alabaṣepọ wa ni awọn ile-iṣẹ orisirisi ni aaye si awọn ohun elo ti o dara julọ fun awọn ilọsiwaju imọ-ẹrọ wọn.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ijagun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli Orange / Pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / fifọ / awọn awo hex | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akojọpọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
