Semicera's 6 Inch Semi-Insulating HPSI SiC Wafers jẹ apẹrẹ lati pade awọn ibeere lile ti imọ-ẹrọ semikondokito ode oni. Pẹlu iyasọtọ iyasọtọ ati aitasera, awọn wafer wọnyi ṣiṣẹ bi ipilẹ ti o gbẹkẹle fun idagbasoke awọn paati itanna ti o ga julọ.
Awọn wafers HPSI SiC wọnyi ni a mọ fun adaṣe igbona ti o tayọ wọn ati idabobo itanna, eyiti o ṣe pataki fun mimuju iṣẹ awọn ẹrọ agbara ati awọn iyika igbohunsafẹfẹ giga-giga. Awọn ohun-ini idabobo ologbele ṣe iranlọwọ ni idinku kikọlu itanna ati mimu ẹrọ ṣiṣe pọ si.
Ilana iṣelọpọ didara ti o ga julọ ti Semicera ṣe idaniloju pe wafer kọọkan ni sisanra aṣọ ati awọn abawọn dada ti o kere ju. Itọkasi yii jẹ pataki fun awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju gẹgẹbi awọn ẹrọ igbohunsafẹfẹ redio, awọn oluyipada agbara, ati awọn ọna LED, nibiti iṣẹ ati agbara jẹ awọn ifosiwewe bọtini.
Nipa gbigbe awọn imọ-ẹrọ iṣelọpọ-ti-ti-aworan ṣiṣẹ, Semicera pese awọn wafers ti kii ṣe deede nikan ṣugbọn kọja awọn iṣedede ile-iṣẹ. Iwọn 6-inch nfunni ni irọrun ni igbejade iṣelọpọ, ṣiṣe ounjẹ si iwadii mejeeji ati awọn ohun elo iṣowo ni eka semikondokito.
Yiyan Semicera's 6 Inch Semi-Insulating HPSI SiC Wafers tumọ si idoko-owo ni ọja ti o pese didara ati iṣẹ ṣiṣe deede. Awọn wafer wọnyi jẹ apakan ti ifaramo Semicera si ilọsiwaju awọn agbara ti imọ-ẹrọ semikondokito nipasẹ awọn ohun elo imotuntun ati iṣẹ-ọnà to nipọn.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ijagun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli Orange / Pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / fifọ / awọn awo hex | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akojọpọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
