6 '' Wafer Carrier fun Aixtron G5 nipasẹ Semicera jẹ apẹrẹ lati pade awọn ibeere ibeere ti awọn ilana idagbasoke epitaxial ni awọn eto Aixtron G5. Ti a ṣe pẹlu graphite didara ga, eyiwafer ti ngbeidaniloju iduroṣinṣin ati uniformity nigba tiCVDatiMOCVD awọn ilana, muu ifisilẹ kongẹ ni riakito epi.
Pẹlu aohun alumọni carbide seramikiti a bo, awọn 6 '' Wafer Carrier fun Aixtron G5 nfunni ni imudara imudara ati imudara igbona, ti o jẹ ki o dara fun awọn ohun elo iwọn otutu ti o ga ni idagbasoke epitaxial. Ọja yii jẹ iṣelọpọ lati ṣe atilẹyin daradarawafermimu ati mu iṣẹ ṣiṣe pọ si ni iṣelọpọ semikondokito.
Ni Semicera, a dojukọ lori ipese awọn solusan ipele-oke fun ile-iṣẹ semikondokito. Awọn ọkọ ayọkẹlẹ wafer wa ni itumọ ti fun igbẹkẹle, aridaju iṣẹ ṣiṣe dan ni awọn eto Aixtron G5 ati awọn miiranCVD epitaxyreactors. Boya o n ṣiṣẹ pẹlu ohun alumọni carbide tabi awọn ohun elo miiran, ti ngbe wafer yii ṣe idaniloju deede ati aitasera ti o nilo fun iṣelọpọ semikondokito ilọsiwaju.
Awọn ẹya pataki:
• Iṣapeye fun Aixtron G5 awọn ọna šiše ati awọn miiran CVD MOCVD reactors.
• Susceptor graphite ti o ga julọ pẹlu ohun elo seramiki ohun alumọni carbide fun imudara imudara.
• Apẹrẹ fun awọn ilana idagbasoke epitaxial ti o nilo deede ati iduroṣinṣin gbona.
• Imudani wafer ti o gbẹkẹle ni awọn agbegbe semikondokito eka.
Semicera jẹ iyasọtọ lati pese awọn solusan gige-eti, ni idaniloju pe gbogbo 6 '' Wafer Carrier pade awọn iṣedede giga julọ fun awọn iwulo apọju rẹ.