Semicera's 8 Inch N-type SiC Wafers wa ni iwaju iwaju ti imotuntun semikondokito, n pese ipilẹ to lagbara fun idagbasoke awọn ẹrọ itanna to gaju. Awọn wafer wọnyi jẹ apẹrẹ lati pade awọn ibeere lile ti awọn ohun elo itanna ode oni, lati ẹrọ itanna agbara si awọn iyika igbohunsafẹfẹ giga.
Iru doping N-iru ninu awọn wafers SiC wọnyi nmu iṣiṣẹ itanna eletiriki wọn pọ si, ṣiṣe wọn jẹ apẹrẹ fun ọpọlọpọ awọn ohun elo, pẹlu awọn diodes agbara, transistors, ati awọn amplifiers. Imudani ti o ga julọ ṣe idaniloju pipadanu agbara kekere ati iṣẹ ṣiṣe to munadoko, eyiti o ṣe pataki fun awọn ẹrọ ti n ṣiṣẹ ni awọn igbohunsafẹfẹ giga ati awọn ipele agbara.
Semicera nlo awọn imọ-ẹrọ iṣelọpọ ilọsiwaju lati ṣe agbejade awọn wafers SiC pẹlu isokan dada alailẹgbẹ ati awọn abawọn to kere. Ipele deede yii jẹ pataki fun awọn ohun elo ti o nilo iṣẹ ṣiṣe deede ati agbara, gẹgẹbi ni oju-ofurufu, ọkọ ayọkẹlẹ, ati awọn ile-iṣẹ ibaraẹnisọrọ.
Ṣiṣepọ Semicera's 8 Inch N-type SiC Wafers sinu laini iṣelọpọ rẹ pese ipilẹ kan fun ṣiṣẹda awọn paati ti o le koju awọn agbegbe lile ati awọn iwọn otutu giga. Awọn wafer wọnyi jẹ pipe fun awọn ohun elo ni iyipada agbara, imọ-ẹrọ RF, ati awọn aaye ibeere miiran.
Yiyan Semicera's 8 Inch N-type SiC Wafers tumọ si idoko-owo ni ọja kan ti o ṣajọpọ imọ-jinlẹ ohun elo ti o ni agbara pẹlu imọ-ẹrọ to peye. Semicera ti pinnu lati ni ilọsiwaju awọn agbara ti awọn imọ-ẹrọ semikondokito, nfunni awọn solusan ti o mu ṣiṣe ati igbẹkẹle ti awọn ẹrọ itanna rẹ pọ si.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ogun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli osan / pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / ṣẹ egungun / hex farahan | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akopọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
