Ifilọlẹ Layer Atomic (ALD) jẹ imọ-ẹrọ ifisilẹ oru kẹmika kan ti o ndagba Layer fiimu tinrin nipasẹ Layer nipa gbigbe miiran meji tabi diẹ ẹ sii awọn ohun ti o ṣaju. ALD ni awọn anfani ti iṣakoso giga ati iṣọkan, ati pe o le ṣee lo ni lilo pupọ ni awọn ẹrọ semikondokito, awọn ẹrọ optoelectronic, awọn ẹrọ ibi ipamọ agbara ati awọn aaye miiran. Awọn ilana ipilẹ ti ALD pẹlu adsorption iṣaaju, iṣesi dada ati yiyọkuro ọja-ọja, ati awọn ohun elo Layer-pupọ ni a le ṣẹda nipasẹ atunwi awọn igbesẹ wọnyi ni iyipo kan. ALD ni awọn abuda ati awọn anfani ti iṣakoso giga, isokan, ati eto ti kii ṣe la kọja, ati pe o le ṣee lo fun ifisilẹ ti ọpọlọpọ awọn ohun elo sobusitireti ati awọn ohun elo lọpọlọpọ.
ALD ni awọn abuda wọnyi ati awọn anfani:
1. Agbara iṣakoso giga:Niwọn bi ALD jẹ ilana idagbasoke Layer-nipasẹ-Layer, sisanra ati akopọ ti ipele ohun elo kọọkan le jẹ iṣakoso ni deede.
2. Ìṣọ̀kan:ALD le fi awọn ohun elo silẹ ni iṣọkan lori gbogbo dada sobusitireti, yago fun aidogba ti o le waye ni awọn imọ-ẹrọ ifisilẹ miiran.
3. Ilana ti kii ṣe la kọja:Niwọn igba ti ALD ti wa ni ifipamọ sinu awọn iwọn ti awọn ọta ẹyọkan tabi awọn moleku ẹyọkan, fiimu ti o yọrisi nigbagbogbo ni ipon, igbekalẹ ti ko ni la kọja.
4. Iṣẹ agbegbe to dara:ALD le ni imunadoko bo awọn ẹya ipin ipin ti o ga, gẹgẹbi awọn ohun elo nanopore, awọn ohun elo porosity giga, ati bẹbẹ lọ.
5. Iwọnwọn:ALD le ṣee lo fun ọpọlọpọ awọn ohun elo sobusitireti, pẹlu awọn irin, semikondokito, gilasi, ati bẹbẹ lọ.
6. Iwapọ:Nipa yiyan awọn ohun elo ti o yatọ, awọn oriṣiriṣi awọn ohun elo ti o yatọ le wa ni ifipamọ sinu ilana ALD, gẹgẹbi awọn oxides irin, sulfide, nitrides, ati bẹbẹ lọ.
