Olopobobo CVD SiC Oruka

Apejuwe kukuru:

Awọn oruka CVD SiC olopobobo lo gaasi orisun ohun alumọni (gẹgẹbi ohun alumọni hydride) ati gaasi orisun erogba (gẹgẹbi methane) bi awọn ohun elo aise, fesi ni iwọn otutu giga lati fi awọn ohun elo SiC ti o tobi si ori sobusitireti tabi m. Ilana yii ngbanilaaye SiC lati wa ni ipamọ ni iṣọkan lori agbegbe nla kan, ti o n ṣe ilana oruka ti o lagbara ati deede.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Alaye ọja

ọja Tags

Kini idi ti Silicon Carbide Etching Oruka?

RTPCVD SiC orukati wa ni lilo pupọ ni ile-iṣẹ ati awọn aaye imọ-jinlẹ ni iwọn otutu giga ati awọn agbegbe ibajẹ. O ṣe ipa pataki ni iṣelọpọ semikondokito, optoelectronics, ẹrọ konge ati ile-iṣẹ kemikali. Awọn ohun elo pato pẹlu:

1. Iṣẹ iṣelọpọ Semiconductor:RTP CVD SiC orukale ṣee lo fun alapapo ati itutu agbaiye ti ohun elo semikondokito, pese iṣakoso iwọn otutu iduroṣinṣin ati idaniloju deede ati aitasera ilana naa.

2. Optoelectronics: Nitori awọn oniwe-o tayọ gbona iba ina elekitiriki ati ki o ga otutu resistance, RTPCVD SiC orukale ṣee lo bi atilẹyin ati awọn ohun elo ifasilẹ ooru fun awọn lasers, awọn ohun elo ibaraẹnisọrọ fiber optic ati awọn paati opiti.

3. Awọn ẹrọ ti o ni imọran: RTP CVD SiC oruka le ṣee lo fun awọn ohun elo ati awọn ohun elo ni iwọn otutu giga ati awọn agbegbe ibajẹ, gẹgẹbi awọn ileru otutu ti o ga, awọn ẹrọ igbale ati awọn reactors kemikali.

4. Kemikali ile ise: Nitori awọn oniwe-ipata resistance ati kemikali iduroṣinṣin, RTP CVD SiC oruka le ṣee lo ninu awọn apoti, paipu ati reactors ni kemikali aati ati catalytic ilana.

Epi System

Eto RTP

CVD System

Iṣẹ ṣiṣe ọja:

1. Pade ilana ni isalẹ 28nm

2. Super ipata resistance

3. Super mọ išẹ

4. Super líle

5. Iwọn iwuwo giga

6. Iwọn otutu ti o ga julọ

7. Wọ resistance

Ohun elo ọja:

Awọn ohun elo carbide silikoni ni awọn abuda ti líle giga, resistance resistance, ipata ipata ati iduroṣinṣin iwọn otutu giga. Awọn ọja pẹlu iṣẹ ṣiṣe okeerẹ ti o dara julọ ni lilo pupọ ni etching gbẹ ati awọn ilana TF / Diffusion.