Semikondokito Aṣa ICP Atẹ (Etching)

Apejuwe kukuru:

Semicera Energy Technology Co., Ltd jẹ olutaja oludari ti o amọja ni wafer ati awọn ohun elo semikondokito ilọsiwaju.A ṣe iyasọtọ lati pese didara giga, igbẹkẹle, ati awọn ọja imotuntun si iṣelọpọ semikondokito,photovoltaic ile iseati awọn aaye miiran ti o jọmọ.

Laini ọja wa pẹlu awọn ọja graphite ti SiC/TaC ti a bo ati awọn ọja seramiki, ti o ni ọpọlọpọ awọn ohun elo bii silikoni carbide, silikoni nitride, ati oxide aluminiomu ati be be lo.

Gẹgẹbi olupese ti o ni igbẹkẹle, a loye pataki ti awọn ohun elo ni ilana iṣelọpọ, ati pe a pinnu lati jiṣẹ awọn ọja ti o ni ibamu pẹlu awọn iṣedede didara ti o ga julọ lati mu awọn aini awọn alabara wa ṣẹ.

 

Alaye ọja

ọja Tags

ọja Apejuwe

Ile-iṣẹ wa pese awọn iṣẹ ilana ibora SiC nipasẹ ọna CVD lori oju ti graphite, awọn ohun elo amọ ati awọn ohun elo miiran, nitorinaa awọn gaasi pataki ti o ni erogba ati ohun alumọni fesi ni iwọn otutu giga lati gba awọn ohun elo SiC mimọ giga, awọn ohun elo ti a fi silẹ lori oju awọn ohun elo ti a bo, lara SIC aabo Layer.

Awọn ẹya akọkọ:

1. Idaabobo ifoyina otutu otutu:

resistance ifoyina tun dara pupọ nigbati iwọn otutu ba ga to 1600 C.

2. Iwa mimọ ti o ga julọ: ti a ṣe nipasẹ ifasilẹ oru kemikali labẹ ipo chlorination otutu otutu.

3. Ogbara resistance: ga líle, iwapọ dada, itanran patikulu.

4. Ipata resistance: acid, alkali, iyo ati Organic reagents.

3

Awọn pato akọkọ ti CVD-SIC Coating

Awọn ohun-ini SiC-CVD

Crystal Be

FCC β ipele

iwuwo

g/cm³

3.21

Lile

Vickers líle

2500

Iwọn Ọkà

μm

2 ~ 10

Kẹmika Mimọ

%

99.99995

Agbara Ooru

J·k-1 · K-1

640

Sublimation otutu

2700

Agbara Felexural

MPa (RT 4-ojuami)

415

Modulu ọdọ

Gpa (4pt tẹ, 1300℃)

430

Imugboroosi Gbona (CTE)

10-6K-1

4.5

Gbona elekitiriki

(W/mK)

300


  • Ti tẹlẹ:
  • Itele: