Semicera n pese awọn aṣọ ibora tantalum carbide pataki (TaC) fun ọpọlọpọ awọn paati ati awọn gbigbe.Ilana idawọle Semicera jẹ ki awọn ohun elo tantalum carbide (TaC) ṣe aṣeyọri mimọ giga, iduroṣinṣin iwọn otutu ati ifarada kemikali giga, imudarasi didara ọja ti awọn kirisita SIC / GAN ati awọn fẹlẹfẹlẹ EPI.Afunrafiti ti a bo TaC), ati faagun igbesi aye awọn paati riakito bọtini. Lilo ti tantalum carbide TaC ti a bo ni lati yanju iṣoro eti ati ilọsiwaju didara idagbasoke gara, ati Semicera ti yanju imọ-ẹrọ ibora tantalum carbide (CVD), de ipele ilọsiwaju kariaye.
Pẹlu dide ti 8-inch silicon carbide (SiC) wafers, awọn ibeere fun ọpọlọpọ awọn ilana semikondokito ti di okun sii, pataki fun awọn ilana apọju nibiti awọn iwọn otutu le kọja iwọn 2000 Celsius. Awọn ohun elo ifaragba aṣa, gẹgẹbi awọn lẹẹdi ti a bo pẹlu ohun alumọni carbide, ṣọ lati tẹriba ni awọn iwọn otutu giga wọnyi, dabaru ilana apọju. Bibẹẹkọ, CVD tantalum carbide (TaC) koju ọran yii ni imunadoko, awọn iwọn otutu duro de iwọn 2300 Celsius ati fifun igbesi aye iṣẹ to gun. Kan si Semicera's CVD Tantalum Carbide Ti a bo Halfmoon Apálati ṣawari diẹ sii nipa awọn iṣeduro ilọsiwaju wa.
Lẹhin awọn ọdun ti idagbasoke, Semicera ti ṣẹgun imọ-ẹrọ tiCVD TaCpẹlu awọn apapọ akitiyan ti R&D Eka. Awọn abawọn jẹ rọrun lati waye ninu ilana idagbasoke ti awọn wafers SiC, ṣugbọn lẹhin liloTAC, iyatọ jẹ pataki. Ni isalẹ ni lafiwe ti awọn wafers pẹlu ati laisi TaC, bakanna bi awọn ẹya Simicera fun idagbasoke kristali ẹyọkan.
pẹlu ati laisi TaC
Lẹhin lilo TaC (ọtun)
Jubẹlọ, Semicera káTaC-ti a bo awọn ọjaṣe afihan igbesi aye iṣẹ to gun ati resistance iwọn otutu ti o ga julọ ni akawe siAwọn ideri SiC.Awọn wiwọn yàrá ti ṣe afihan pe waAwọn ideri TaCle ṣe deede ni awọn iwọn otutu to iwọn 2300 Celsius fun awọn akoko gigun. Ni isalẹ wa diẹ ninu awọn apẹẹrẹ ti awọn apẹẹrẹ wa:
TaC ti a bo susceptor
Lẹẹdi pẹlu riakito ti a bo TaC
