Apejuwe
Awọn ohun elo ohun alumọni carbide ni awọn ohun-ini ẹrọ ti o dara julọ ni iwọn otutu yara, gẹgẹ bi agbara giga, líle giga, modulus rirọ giga, ati bẹbẹ lọ, o tun ni iduroṣinṣin iwọn otutu giga ti o dara julọ bi adaṣe igbona giga, olùsọdipúpọ igbona kekere, ati lile pato ti o dara ati opitika. processing iṣẹ.
Wọn dara julọ fun iṣelọpọ awọn ẹya seramiki konge fun awọn ohun elo iyika ti a ṣepọ gẹgẹbi awọn ẹrọ lithography, ni akọkọ ti a lo lati ṣe iṣelọpọ SiC ti ngbe / susceptor, ọkọ oju omi wafer SiC, disiki mimu, awo itutu omi, olufihan wiwọn deede, grating ati awọn ẹya igbekalẹ seramiki miiran
Awọn anfani
Idaabobo otutu giga: lilo deede ni 1800 ℃
Imudara igbona giga: deede si ohun elo graphite
Lile giga: lile keji nikan si diamond, boron nitride
Idaabobo ipata: acid to lagbara ati alkali ko ni ipata si rẹ, ipata ipata dara ju tungsten carbide ati alumina
Iwọn ina: iwuwo kekere, sunmo aluminiomu
Ko si abuku: kekere olùsọdipúpọ ti gbona imugboroosi
Atako mọnamọna gbona: o le koju awọn iyipada iwọn otutu didasilẹ, koju ijaya igbona, ati pe o ni iṣẹ iduroṣinṣin
Silicon carbide carrier bi sic etching carrier, ICP etching susceptor, ti wa ni lilo pupọ ni semikondokito CVD, vacuum sputtering bbl A le pese awọn onibara pẹlu awọn ọkọ ayọkẹlẹ wafer ti adani ti ohun alumọni ati awọn ohun elo carbide siliki lati pade awọn ohun elo ọtọtọ.
Awọn anfani
| Ohun ini | Iye | Ọna |
| iwuwo | 3,21 g/cc | Rin-leefofo ati apa miran |
| Ooru pato | 0,66 J/g °K | Pulsed lesa filasi |
| Agbara Flexural | 450 MPa560 MPa | 4 ojuami tẹ, RT4 ojuami tẹ, 1300 ° |
| Egugun lile | 2,94 MPa m1/2 | Microindentation |
| Lile | 2800 | Vicker ká, 500g fifuye |
| Rirọ ModulusYoung ká Modul | 450 GPa430 GPA | 4 pt tẹ, RT4 pt tẹ, 1300 °C |
| Iwọn ọkà | 2 - 10 µm | SEM |
Ifihan ile ibi ise
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. jẹ olutaja oludari ti awọn ohun elo semikondokito to ti ni ilọsiwaju ati olupese nikan ni Ilu China ti o le pese nigbakanna seramiki ohun alumọni ohun alumọni mimọ (paapaa SiC Recrystallized) ati ibora CVD SiC. Ni afikun, ile-iṣẹ wa tun ṣe adehun si awọn aaye seramiki bii alumina, nitride aluminiomu, zirconia, ati silikoni nitride, ati bẹbẹ lọ.
Awọn ọja akọkọ wa pẹlu: ohun alumọni carbide etching disiki, ohun alumọni carbide ọkọ gbigbe, silikoni carbide wafer ọkọ (Photovoltaic&Semiconductor), silikoni carbide ileru tube, silikoni carbide cantilever paddle, silikoni carbide chucks, silicon carbide beam, bi daradara bi awọn CVD SiC bota ati TaC ti a bo. Awọn ọja ti a lo ni akọkọ ni semikondokito ati awọn ile-iṣẹ fọtovoltaic, gẹgẹbi ohun elo fun idagbasoke gara, epitaxy, etching, apoti, ibora ati awọn ileru itankale, ati bẹbẹ lọ.
Gbigbe
