Ga ti nw SiC ngbe / Susceptor

Apejuwe kukuru:

Silikoni carbide ti nso disiki ni a tun mo bi SIC atẹ, silikoni carbide etching disiki, ICP etching disiki. Silikoni carbide atẹ fun LED etching (SiC atẹ) φ600mm jẹ pataki kan ẹya ẹrọ fun jin ohun alumọni etching (ICP etching ẹrọ).


Alaye ọja

ọja Tags

Apejuwe

Awọn ohun elo ohun alumọni carbide ni awọn ohun-ini ẹrọ ti o dara julọ ni iwọn otutu yara, gẹgẹ bi agbara giga, líle giga, modulus rirọ giga, ati bẹbẹ lọ, o tun ni iduroṣinṣin iwọn otutu giga ti o dara julọ bi adaṣe igbona giga, olùsọdipúpọ igbona kekere, ati lile pato ti o dara ati opitika. processing iṣẹ.
Wọn dara ni pataki fun iṣelọpọ awọn ẹya seramiki deede fun awọn ohun elo iyika ti a ṣepọ gẹgẹbi awọn ẹrọ lithography, ni akọkọ ti a lo lati ṣe iṣelọpọ SiC ti ngbe / alamọ, ọkọ oju omi SiC wafer, disiki mimu, awo itutu omi, olufihan wiwọn deede, grating ati awọn ẹya igbekalẹ seramiki miiran

onigbese2

onigbese3

ti ngbe4

Awọn anfani

Idaabobo otutu giga: lilo deede ni 1800 ℃
Imudara igbona giga: deede si ohun elo graphite
Lile giga: lile keji nikan si diamond, boron nitride
Idaabobo ipata: acid to lagbara ati alkali ko ni ipata si rẹ, ipata ipata dara ju tungsten carbide ati alumina
Iwọn ina: iwuwo kekere, sunmo aluminiomu
Ko si abuku: kekere olùsọdipúpọ ti gbona imugboroosi
Atako mọnamọna gbona: o le koju awọn iyipada iwọn otutu didasilẹ, koju ijaya igbona, ati pe o ni iṣẹ iduroṣinṣin
Silicon carbide carrier bi sic etching carrier, ICP etching susceptor, ti wa ni lilo pupọ ni semikondokito CVD, vacuum sputtering bbl A le pese awọn onibara pẹlu awọn ọkọ ayọkẹlẹ wafer ti adani ti ohun alumọni ati awọn ohun elo carbide siliki lati pade awọn ohun elo ọtọtọ.

Awọn anfani

Ohun ini Iye Ọna
iwuwo 3,21 g/cc Rin-leefofo ati apa miran
Ooru pato 0,66 J/g °K Pulsed lesa filasi
Agbara Flexural 450 MPa560 MPa 4 ojuami tẹ, RT4 ojuami tẹ, 1300 °
Egugun lile 2,94 MPa m1/2 Microindentation
Lile 2800 Vicker ká, 500g fifuye
Rirọ ModulusYoung ká Modul 450 GPa430 GPA 4 pt tẹ, RT4 pt tẹ, 1300 °C
Iwọn ọkà 2 - 10 µm SEM

Ifihan ile ibi ise

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. jẹ olutaja oludari ti awọn ohun elo semikondokito to ti ni ilọsiwaju ati olupese nikan ni Ilu China ti o le pese nigbakanna seramiki ohun alumọni ohun alumọni mimọ (paapaa SiC Recrystallized) ati ibora CVD SiC. Ni afikun, ile-iṣẹ wa tun ṣe adehun si awọn aaye seramiki gẹgẹbi alumina, nitride aluminiomu, zirconia, ati silikoni nitride, ati bẹbẹ lọ.

Awọn ọja akọkọ wa pẹlu: ohun alumọni carbide etching disiki, ohun alumọni carbide ọkọ gbigbe, silikoni carbide wafer ọkọ (Photovoltaic&Semiconductor), silikoni carbide ileru tube, silikoni carbide cantilever paddle, silikoni carbide chucks, silicon carbide beam, bi daradara bi awọn CVD SiC bota ati TaC ti a bo. Awọn ọja ti a lo ni akọkọ ni semikondokito ati awọn ile-iṣẹ fọtovoltaic, gẹgẹbi ohun elo fun idagbasoke gara, epitaxy, etching, apoti, ibora ati awọn ileru itankale, ati bẹbẹ lọ.
nipa (2)

Gbigbe

nipa (2)


  • Ti tẹlẹ:
  • Itele: