Semicera High ti nwSilikoni Carbide Paddleti ni adaṣe ni kikun lati pade awọn ibeere lile ti awọn ilana iṣelọpọ semikondokito ode oni. EyiSiC Cantilever Paddletayọ ni awọn agbegbe iwọn otutu ti o ga, ti o funni ni iduroṣinṣin igbona ti ko ni afiwe ati agbara ẹrọ. Eto SiC Cantilever jẹ itumọ ti lati koju awọn ipo to gaju, ni idaniloju mimu wafer ti o gbẹkẹle jakejado awọn ilana lọpọlọpọ.
Ọkan ninu awọn bọtini imotuntun ti awọnSiC Paddlejẹ iwuwo fẹẹrẹ rẹ sibẹsibẹ apẹrẹ ti o lagbara, eyiti ngbanilaaye fun iṣọpọ irọrun sinu awọn eto to wa tẹlẹ. Iṣeduro igbona giga rẹ ṣe iranlọwọ lati ṣetọju iduroṣinṣin wafer lakoko awọn ipele to ṣe pataki bii etching ati ifisilẹ, idinku eewu ti ibajẹ wafer ati idaniloju awọn eso iṣelọpọ ti o ga julọ. Lilo ohun alumọni ohun alumọni iwuwo giga ninu ikole paddle ṣe imudara resistance rẹ lati wọ ati yiya, pese igbesi aye iṣẹ ṣiṣe ati idinku iwulo fun awọn rirọpo loorekoore.
Semicera gbe kan to lagbara tcnu lori ĭdàsĭlẹ, jiṣẹ aSiC Cantilever Paddleti o ko nikan pade sugbon koja ile ise awọn ajohunše. Paddle yii jẹ iṣapeye fun lilo ni ọpọlọpọ awọn ohun elo semikondokito, lati ifisilẹ si etching, nibiti konge ati igbẹkẹle jẹ pataki. Nipa sisọpọ imọ-ẹrọ gige-eti yii, awọn aṣelọpọ le nireti imudara ilọsiwaju, awọn idiyele itọju idinku, ati didara ọja deede.
| Awọn ohun-ini ti ara ti Silicon Carbide Recrystallized | |
| Ohun ini | Iye Aṣoju |
| Iwọn otutu iṣẹ (°C) | 1600°C (pẹlu atẹgun), 1700°C (idinku ayika) |
| SiC akoonu | > 99.96% |
| Si akoonu ọfẹ | <0.1% |
| Olopobobo iwuwo | 2,60-2,70 g / cm3 |
| Porosity ti o han gbangba | <16% |
| Agbara funmorawon | > 600 MPa |
| Agbara atunse tutu | 80-90 MPa (20°C) |
| Gbona atunse agbara | 90-100 MPa (1400°C) |
| Gbona imugboroosi @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Gbona elekitiriki @1200°C | 23 W/m•K |
| Iwọn rirọ | 240 GPA |
| Gbona mọnamọna resistance | O dara pupọ |
