SiC Wafer Ọkọ
Silikoni carbide wafer ọkọjẹ ẹrọ ti o ni ẹru fun awọn wafers, ti a lo ni akọkọ ninu oorun ati awọn ilana itọka semikondokito. O ni awọn abuda bii resistance wiwọ, ipata ipata, ipadanu ipa iwọn otutu giga, resistance si bombardment pilasima, agbara iwọn otutu ti o ga, imudara igbona giga, itusilẹ ooru giga, ati lilo igba pipẹ ti ko rọrun lati tẹ ati dibajẹ. Ile-iṣẹ wa nlo ohun elo carbide silikoni mimọ-giga lati rii daju igbesi aye iṣẹ ati pese awọn aṣa ti adani, pẹlu. orisirisi inaro ati petelewafer ọkọ.
SiC Paddle
Awọnsilikoni carbide cantilever paddleTi lo ni akọkọ ninu ibora (itankale) ti awọn wafers ohun alumọni, eyiti o ṣe ipa pataki ninu ikojọpọ ati gbigbe ti awọn wafer ohun alumọni ni iwọn otutu giga. O ti wa ni a bọtini paati tisemikondokito waferawọn ọna ikojọpọ ati pe o ni awọn abuda akọkọ wọnyi:
1. Ko ṣe idibajẹ ni awọn agbegbe otutu ti o ga julọ ati pe o ni agbara ikojọpọ giga lori awọn wafers;
2. O jẹ sooro si otutu otutu ati ooru ti o yara, o si ni igbesi aye iṣẹ pipẹ;
3. Olusọdipúpọ imugboroja igbona jẹ kekere, ti o pọ si itọju ati ọna mimọ, ati dinku awọn idoti ni pataki.
SiC ileru Tube
Silikoni carbide ilana tube, Ti a ṣe ti SiC mimọ-giga laisi awọn idoti ti fadaka, ko ba wafer jẹ, ati pe o dara fun awọn ilana bii semikondokito ati itankale fọtovoltaic, annealing ati ilana oxidation.
SiC Robot Arm
SiC robot apa, ti a tun mọ ni opin ipa gbigbe wafer, jẹ apa roboti ti a lo lati gbe awọn wafers semikondokito ati pe o lo pupọ ni awọn ile-iṣẹ semikondokito, optoelectronic, ati awọn ile-iṣẹ agbara oorun. Lilo ohun alumọni ohun alumọni giga-mimọ, pẹlu lile lile, resistance resistance, resistance ile jigijigi, lilo igba pipẹ laisi abuku, igbesi aye iṣẹ gigun, ati bẹbẹ lọ, le pese awọn iṣẹ adani.
Lẹẹdi fun idagbasoke gara
Lẹẹdi ooru shield
Lẹẹdi elekiturodu tube
Deflector Graphite
Pipin lẹẹdi
Gbogbo awọn ilana ti a lo fun idagbasoke awọn crvstals semikondokito ṣiṣẹ ni iwọn otutu giga ati awọn agbegbe ibajẹ. Agbegbe gbigbona ti ileru idagba gara ni igbagbogbo jẹun pẹlu ooru-sooro ati mimọ ga ti o ni ipata. lẹẹdi irinše, gẹgẹ bi awọn graphite ti ngbona, crucibles, gbọrọ, deflector, chucks, tubes, oruka, holders, eso, ati be be lo ọja wa ti pari le se aseyori ohun eeru akoonu kere ju 5ppm.
Lẹẹdi fun Semidonductor epitaxy
MOCVD Graphite Parts
Semikondokito Graphite imuduro
Ilana Epitaxial n tọka si idagba ti ohun elo gara kan lori sobusitireti gara kan kan pẹlu eto latissi kanna bi sobusitireti. O nilo ọpọlọpọ awọn ẹya lẹẹdi mimọ ultra-giga ati ipilẹ lẹẹdi pẹlu ibora SIC. Lẹẹdi mimọ giga ti a lo fun epitaxy semikondokito ni ọpọlọpọ awọn ohun elo, eyiti o le baamu awọn ohun elo ti o wọpọ julọ ni ile-iṣẹ, Ni akoko kanna, o ni giga gaan. mimọ, aṣọ aṣọ, igbesi aye iṣẹ ti o dara julọ, ati resistance kemikali giga pupọ ati iduroṣinṣin gbona.
Ohun elo idabobo ati awọn miiran
Awọn ohun elo idabobo gbona ti a lo ninu iṣelọpọ semikondokito jẹ rilara lile graphite, rirọ rirọ, bankanje graphite, awọn ohun elo eroja erogba, bbl odidi. Awọn ohun elo eroja erogba ni a maa n lo bi gbigbe fun monocrystal oorun ati ilana iṣelọpọ sẹẹli polysilicon.