Awọn ẹya CARBIDE ti o lagbara ti CVD SILICON ni a mọ bi yiyan akọkọ fun awọn oruka RTP / EPI ati awọn ipilẹ ati awọn ẹya iho aetch plasm ti o ṣiṣẹ ni eto giga ti o nilo awọn iwọn otutu iṣẹ (> 1500 ℃), awọn ibeere fun mimọ jẹ giga julọ (> 99.9995%) ati iṣẹ naa dara paapaa nigbati resistance si awọn kemikali jẹ giga julọ. Awọn ohun elo wọnyi ko ni awọn ipele keji ni eti ọkà, nitorinaa awọn paati wọn ṣe agbejade awọn patikulu diẹ ju awọn ohun elo miiran lọ. Ni afikun, awọn paati wọnyi le di mimọ nipasẹ lilo HF/HCl ti o gbona pẹlu ibajẹ kekere, ti o fa awọn patikulu diẹ ati igbesi aye iṣẹ to gun.
