Semicera ṣafihan semikondokito didara to gajusilikoni carbide cantilever paddles, ti a ṣe lati pade awọn ibeere lile ti iṣelọpọ semikondokito ode oni.
Awọnohun alumọni carbide paddleṣe ẹya apẹrẹ to ti ni ilọsiwaju ti o dinku imugboroja igbona ati ija, ṣiṣe ni igbẹkẹle gaan ni awọn ipo to gaju. Itumọ agbara rẹ nfunni ni imudara agbara, idinku eewu fifọ tabi wọ, eyiti o ṣe pataki ni mimu awọn eso giga ati didara iṣelọpọ deede. Awọnwafer ọkọapẹrẹ tun ṣepọ lainidi pẹlu ohun elo iṣelọpọ semikondokito boṣewa, ni idaniloju ibamu ati irọrun lilo.
Ọkan ninu awọn ẹya iduro ti SemiceraSiC paddleni awọn oniwe-kemikali resistance, eyi ti o faye gba o lati ṣe Iyatọ daradara ni awọn agbegbe ti o farahan si awọn gaasi ipata ati awọn kemikali. Idojukọ Semicera lori isọdi gba laaye fun awọn ojutu ti a ṣe deede.
Awọn ohun-ini ti ara ti Silicon Carbide Recrystallized | |
Ohun ini | Iye Aṣoju |
Iwọn otutu iṣẹ (°C) | 1600°C (pẹlu atẹgun), 1700°C (idinku ayika) |
SiC akoonu | > 99.96% |
Si akoonu ọfẹ | <0.1% |
Olopobobo iwuwo | 2,60-2,70 g / cm3 |
Porosity ti o han gbangba | <16% |
Agbara funmorawon | > 600 MPa |
Agbara atunse tutu | 80-90 MPa (20°C) |
Gbona atunse agbara | 90-100 MPa (1400°C) |
Gbona imugboroosi @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Gbona elekitiriki @1200°C | 23 W/m•K |
Iwọn rirọ | 240 GPA |
Gbona mọnamọna resistance | O dara pupọ |