SEMICERA isostatic PECVD graphite ọkọ jẹ mimọ-giga, ọjà graphite iwuwo giga ti a ṣe apẹrẹ fun atilẹyin wafer ni ilana PECVD (pilẹṣẹ pilasima ti imudara ikemi oru). SEMICERA nlo imọ-ẹrọ titẹ isostatic to ti ni ilọsiwaju lati rii daju pe ọkọ oju-omi graphite ni resistance otutu giga ti o dara julọ, resistance ipata, iduroṣinṣin iwọn ati adaṣe igbona to dara, eyiti o jẹ ohun elo ti ko ṣe pataki ninu ilana iṣelọpọ semikondokito.
SEMICERA isostatic PECVD graphite ọkọ ni awọn anfani wọnyi:
▪ Dimimọ giga: Awọn ohun elo graphite jẹ mimọ ga ati akoonu alaimọ kekere lati yago fun idoti ti dada wafer.
▪ Iwọn giga: Iwọn giga, agbara ẹrọ ti o ga, le duro ni iwọn otutu giga ati agbegbe igbale giga.
▪ Iduroṣinṣin iwọn to dara: Iyipada iwọn kekere ni iwọn otutu giga lati rii daju iduroṣinṣin ilana.
▪ Imudara ooru ti o dara julọ: Gbigbe ooru lọna ti o munadoko lati ṣe idiwọ igbona ti wafer.
▪ Agbára ìbànújẹ́ tó lágbára: Ó lágbára láti dènà ìbàjẹ́ látọ̀dọ̀ oríṣiríṣi àwọn gáàsì tó ń bàjẹ́ àti pilasima.
| paramita išẹ | semicera | SGL R6510 | paramita išẹ |
| Ìwọ̀n ńlá (g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
| Agbara atunse (MPa) | 63 | 60 | 49 |
| Agbara fisinu (MPa) | 135 | 130 | 103 |
| Lile okun (HS) | 70 | 64 | 60 |
| Olusọdipúpọ ti imugboroosi gbona (10-6/K) | 85 | 105 | 130 |
| Olusọdipúpọ ti imugboroosi gbona (10-6/K) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
| Resistivity (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
Awọn anfani ti yiyan wa:
▪ Yiyan ohun elo: Awọn ohun elo graphite mimọ-giga ni a lo lati rii daju didara ọja.
▪ Imọ ọna ẹrọ ṣiṣe: Titẹ isostatic ni a lo lati rii daju iwuwo ọja ati isokan.
▪ Iṣatunṣe iwọn: Awọn ọkọ oju-omi ayaworan ti awọn titobi oriṣiriṣi ati awọn apẹrẹ le jẹ adani ni ibamu si awọn iwulo alabara.
▪ Itọju oju: Orisirisi awọn ọna itọju oju-aye ni a pese, gẹgẹbi awọn ohun elo siliki carbide, boron nitride, ati bẹbẹ lọ, lati pade awọn ibeere ilana oriṣiriṣi.
