Awọn ọna ti a bo ti photoresist ni gbogbogbo pin si ibora alayipo, ibora fibọ ati ibora yipo, laarin eyiti ibora alayipo jẹ eyiti a lo julọ. Nipa wiwa iyipo, photoresist ti wa ni ṣiṣan lori sobusitireti, ati pe sobusitireti le yiyi ni iyara giga lati gba fiimu fọtoresisist kan. Lẹhin iyẹn, fiimu ti o lagbara le ṣee gba nipasẹ alapapo rẹ lori awo ti o gbona. Ideri iyipo jẹ o dara fun ibora lati awọn fiimu ultra-tinrin (nipa 20nm) si awọn fiimu ti o nipọn ti iwọn 100um. Awọn abuda rẹ jẹ iṣọkan ti o dara, sisanra fiimu aṣọ laarin awọn wafers, awọn abawọn diẹ, bbl, ati fiimu ti o ni iṣẹ ti o ga julọ le ṣee gba.
Yiyi bo ilana
Lakoko ibora iyipo, iyara yiyi akọkọ ti sobusitireti pinnu sisanra fiimu ti photoresisist. Ibasepo laarin iyara yiyi ati sisanra fiimu jẹ bi atẹle:
Spin=kTn
Ninu agbekalẹ, Spin ni iyara yiyi; T jẹ sisanra fiimu; k ati n jẹ awọn iduro.
Awọn okunfa ti o ni ipa lori ilana ti a bo iyipo
Botilẹjẹpe sisanra fiimu jẹ ipinnu nipasẹ iyara yiyi akọkọ, o tun ni ibatan si iwọn otutu yara, ọriniinitutu, viscosity photoresist ati iru photoresist. Ifiwera ti awọn oriṣiriṣi oriṣi ti awọn igun didan ibora fọtoyiya han ni Nọmba 1.
Ṣe nọmba 1: Ifiwera ti awọn oriṣiriṣi oriṣi ti awọn iyipo ti a bo photoresist
Awọn ipa ti akọkọ yiyi akoko
Awọn kukuru akoko yiyi akọkọ, sisanra fiimu naa nipọn. Nigbati akoko yiyi akọkọ ba pọ si, tinrin fiimu naa yoo di. Nigbati o ba kọja 20s, sisanra fiimu naa fẹrẹ yipada. Nitorinaa, akoko yiyi akọkọ ni a maa n yan lati jẹ diẹ sii ju awọn aaya 20 lọ. Ibasepo laarin akoko yiyi akọkọ ati sisanra fiimu ti han ni Nọmba 2.
Ṣe nọmba 2: Ibasepo laarin akoko yiyi akọkọ ati sisanra fiimu
Nigbati photoresist ti wa ni ṣan silẹ sori sobusitireti, paapaa ti iyara yiyi akọkọ ti o tẹle jẹ kanna, iyara yiyi ti sobusitireti lakoko ṣiṣan yoo ni ipa lori sisanra fiimu ikẹhin. Awọn sisanra ti fiimu fọtoresist pọ si pẹlu ilosoke ti iyara yiyi sobusitireti lakoko ṣiṣan, eyiti o jẹ nitori ipa ti evaporation epo nigbati photoresist ti ṣii lẹhin sisọ. Nọmba 3 ṣe afihan ibatan laarin sisanra fiimu ati iyara yiyi akọkọ ni awọn iyara yiyi sobusitireti ti o yatọ lakoko ṣiṣan photoresist. O le rii lati inu nọmba naa pe pẹlu ilosoke iyara yiyi ti sobusitireti ṣiṣan, sisanra fiimu naa yipada ni iyara, ati iyatọ jẹ diẹ sii han ni agbegbe pẹlu iyara yiyi akọkọ kekere.
Ṣe nọmba 3: Ibasepo laarin sisanra fiimu ati iyara yiyi akọkọ ni awọn iyara yiyi sobusitireti oriṣiriṣi lakoko pinpin fọtoresis
Ipa ti ọriniinitutu nigba ti a bo
Nigbati ọriniinitutu ba dinku, sisanra fiimu naa pọ si, nitori idinku ninu ọriniinitutu ṣe igbega evaporation ti epo. Sibẹsibẹ, pinpin sisanra fiimu ko yipada ni pataki. Nọmba 4 fihan ibatan laarin ọriniinitutu ati pinpin fiimu sisanra lakoko ti a bo.
Ṣe nọmba 4: Ibasepo laarin ọriniinitutu ati pinpin fiimu sisanra lakoko ti a bo
Ipa ti iwọn otutu nigba ti a bo
Nigbati iwọn otutu inu ile ba dide, sisanra fiimu naa pọ si. O le wa ni ri lati Figure 5 wipe photoresist film sisanra pinpin ayipada lati rubutu ti to concave. Iwọn ti o wa ninu eeya naa tun fihan pe iṣọkan ti o ga julọ ni a gba nigbati iwọn otutu inu ile jẹ 26°C ati iwọn otutu photoresist jẹ 21°C.
Ṣe nọmba 5: Ibasepo laarin iwọn otutu ati pinpin sisanra fiimu lakoko ti a bo
Ipa ti eefi iyara nigba ti a bo
Nọmba 6 fihan ibatan laarin iyara eefi ati pinpin sisanra fiimu. Ni aini ti eefi, o fihan pe aarin wafer duro lati nipọn. Alekun iyara eefi yoo mu iṣọkan pọ si, ṣugbọn ti o ba pọ si pupọ, iṣọkan yoo dinku. O le rii pe iye to dara julọ wa fun iyara eefi.
Ṣe nọmba 6: Ibasepo laarin iyara eefi ati pinpin sisanra fiimu
HMDS itọju
Lati le jẹ ki photoresist diẹ sii coatable, wafer nilo lati ṣe itọju pẹlu hexamethyldisilazane (HMDS). Paapa nigbati ọrinrin ba so pọ si oju ti fiimu Si oxide, silanol ti ṣẹda, eyiti o dinku ifaramọ ti photoresist. Lati le yọ ọrinrin kuro ki o si decompose silanol, wafer ti wa ni nigbagbogbo kikan si 100-120 ° C, ati owusu HMDS ti wa ni a ṣe lati fa a kemikali lenu. Ilana ifarabalẹ ti han ni Nọmba 7. Nipasẹ itọju HMDS, oju omi hydrophilic pẹlu igun olubasọrọ kekere kan di aaye hydrophobic pẹlu igun olubasọrọ nla kan. Alapapo awọn wafer le gba ti o ga photoresist alemora.
olusin 7: HMDS lenu siseto
Ipa ti itọju HMDS le ṣe akiyesi nipasẹ wiwọn igun olubasọrọ. Nọmba 8 fihan ibasepọ laarin akoko itọju HMDS ati igun olubasọrọ (iwọn itọju 110 ° C). Sobusitireti jẹ Si, akoko itọju HMDS tobi ju 1min, igun olubasọrọ jẹ tobi ju 80 °, ati pe ipa itọju jẹ iduroṣinṣin. Nọmba 9 fihan ibatan laarin iwọn otutu itọju HMDS ati igun olubasọrọ (akoko itọju 60s). Nigbati iwọn otutu ba kọja 120℃, igun olubasọrọ yoo dinku, nfihan pe HMDS decomposes nitori ooru. Nitorina, itọju HMDS ni a maa n ṣe ni 100-110 ℃.
Nọmba 8: Ibasepo laarin akoko itọju HMDS
ati igun olubasọrọ (iwọn itọju 110 ℃)
Nọmba 9: Ibasepo laarin iwọn otutu itọju HMDS ati igun olubasọrọ (akoko itọju 60s)
Itọju HMDS ni a ṣe lori sobusitireti ohun alumọni pẹlu fiimu oxide lati ṣe apẹrẹ photoresist kan. Fiimu oxide ti wa ni fifẹ pẹlu hydrofluoric acid pẹlu ifipamọ kan ti a fi kun, ati pe o rii pe lẹhin itọju HMDS, ilana fọtoresist ni a le tọju lati ṣubu kuro. Nọmba 10 fihan ipa ti itọju HMDS (iwọn apẹrẹ jẹ 1um).
Nọmba 10: Ipa itọju HMDS (iwọn apẹrẹ jẹ 1um)
Ṣẹṣẹlẹ
Ni iyara yiyi kanna, iwọn otutu prebaking ti o ga julọ, sisanra fiimu naa kere si, eyiti o tọka si pe iwọn otutu ti iṣaju ti o ga julọ, iyọkuro diẹ sii yoo yọ kuro, ti o mu ki sisanra fiimu tinrin. Nọmba 11 ṣe afihan ibatan laarin iwọn otutu iṣaaju ati paramita Dill's A. Awọn paramita A tọkasi ifọkansi ti awọn photosensitive oluranlowo. Gẹgẹbi a ti le rii lati eeya naa, nigbati iwọn otutu iṣaaju ba dide si oke 140 ° C, paramita A dinku, ti o nfihan pe oluranlowo fọtosensi decomposes ni iwọn otutu ti o ga ju eyi lọ. Nọmba 12 n ṣe afihan gbigbe kaakiri ni oriṣiriṣi awọn iwọn otutu iṣaaju-yan. Ni 160°C ati 180°C, ilosoke ninu gbigbe ni a le ṣe akiyesi ni iwọn gigun ti 300-500nm. Eyi jẹri pe oluranlowo fọto ti wa ni ndin ati dibajẹ ni awọn iwọn otutu giga. Iwọn otutu ti o ṣaju ṣaaju ni iye to dara julọ, eyiti o jẹ ipinnu nipasẹ awọn abuda ina ati ifamọ.
Nọmba 11: Ibasepo laarin iwọn otutu ti o ṣaju ati Dill's A paramita
(iye wọn ti OFPR-800/2)
Ṣe nọmba 12: Gbigbọn Spectral ni oriṣiriṣi awọn iwọn otutu ṣaaju ki o to yan
(OFPR-800, sisanra fiimu 1um)
Ni kukuru, ọna ẹrọ iyipo ni awọn anfani alailẹgbẹ gẹgẹbi iṣakoso kongẹ ti sisanra fiimu, iṣẹ ṣiṣe idiyele giga, awọn ipo ilana kekere, ati iṣẹ ti o rọrun, nitorinaa o ni awọn ipa pataki ni idinku idoti, fifipamọ agbara, ati imudarasi iṣẹ idiyele. Ni awọn ọdun aipẹ, ibora alayipo ti n ni akiyesi pọ si, ati pe ohun elo rẹ ti tan kaakiri si awọn aaye pupọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-27-2024