Iwadi abẹlẹ
Pataki ohun elo ti ohun alumọni carbide (SiC): Gẹgẹbi ohun elo semikondokito bandgap jakejado, ohun elo ohun alumọni ti fa akiyesi pupọ nitori awọn ohun-ini itanna ti o dara julọ (gẹgẹbi bandgap nla, iyara itẹlọrun elekitironi ti o ga ati imunadoko gbona). Awọn ohun-ini wọnyi jẹ ki o lo ni lilo pupọ ni igbohunsafẹfẹ giga-giga, iwọn otutu ati iṣelọpọ ẹrọ agbara giga, paapaa ni aaye ti ẹrọ itanna.
Ipa ti awọn abawọn gara: Pelu awọn anfani wọnyi ti SiC, awọn abawọn ninu awọn kirisita jẹ iṣoro pataki kan ti o dẹkun idagbasoke awọn ẹrọ ṣiṣe giga. Awọn abawọn wọnyi le fa ibajẹ iṣẹ ẹrọ ati ni ipa lori igbẹkẹle ẹrọ.
Imọ-ẹrọ aworan topological X-ray: Lati le mu idagbasoke gara ati loye ipa ti awọn abawọn lori iṣẹ ẹrọ, o jẹ dandan lati ṣe apejuwe ati itupalẹ iṣeto abawọn ni awọn kirisita SiC. Aworan topological X-ray (paapaa lilo awọn ina ina mọnamọna synchrotron) ti di ilana isọdi pataki ti o le gbe awọn aworan ti o ga julọ ti igbekalẹ inu ti gara.
Iwadi ero
Da lori imọ-ẹrọ kikopa wiwa ray: Nkan naa daba lilo lilo imọ-ẹrọ kikopa wiwapa ray ti o da lori ẹrọ itansan iṣalaye lati ṣe afiwe iyatọ abawọn ti a ṣe akiyesi ni awọn aworan topological X-ray gangan. Ọna yii ti fihan pe o jẹ ọna ti o munadoko lati ṣe iwadi awọn ohun-ini ti awọn abawọn gara ni ọpọlọpọ awọn semikondokito.
Ilọsiwaju ti imọ-ẹrọ simulation: Lati le dara simu awọn iyatọ ti o yatọ ti a ṣe akiyesi ni awọn kirisita 4H-SiC ati 6H-SiC, awọn oluwadi ṣe atunṣe imọ-ẹrọ simulation wiwapa ray ati ki o ṣafikun awọn ipa ti isinmi oju-aye ati gbigba fọtoelectric.
Iwadi akoonu
Itupalẹ iru dislocation: Nkan naa ṣe atunwo ni ọna ṣiṣe ihuwasi ti awọn oriṣiriṣi oriṣiriṣi awọn iṣipopada (gẹgẹbi awọn dislocations skru, dislocations eti dislocations, dislocations mix, basal ofurufu dislocations and Frank-type dislocations) ni awọn oriṣiriṣi oriṣiriṣi ti SiC (pẹlu 4H ati 6H) nipa lilo wiwa ray. ọna ẹrọ kikopa.
Ohun elo ti imọ-ẹrọ kikopa: Ohun elo ti imọ-ẹrọ simulation wiwapa ray labẹ awọn ipo ina oriṣiriṣi bii topology beam beam topology ati topology igbi ọkọ ofurufu, ati bii o ṣe le pinnu ijinle ilaluja ti o munadoko ti awọn dislocations nipasẹ imọ-ẹrọ simulation ti wa ni iwadi.
Apapọ awọn adanwo ati awọn iṣeṣiro: Nipa ifiwera awọn aworan topological X-ray ti o gba idanwo pẹlu awọn aworan ti a fiwe si, deede ti imọ-ẹrọ simulation ni ṣiṣe ipinnu iru dislocation, fekito Burgers ati pinpin aye ti awọn dislocations ni okuta moto ti jẹri.
Awọn ipinnu iwadi
Imudara ti imọ-ẹrọ kikopa: Iwadi na fihan pe imọ-ẹrọ simulation wiwapa ray jẹ ọna ti o rọrun, ti kii ṣe iparun ati aibikita lati ṣafihan awọn ohun-ini ti awọn oriṣiriṣi oriṣiriṣi ti dislocations ni SiC ati pe o le ṣe iṣiro imunadoko ijinle ilaluja ti awọn dislocations.
Itupalẹ iṣeto dislocation 3D: Nipasẹ imọ-ẹrọ kikopa, itupalẹ iṣeto dislocation 3D ati wiwọn iwuwo le ṣee ṣe, eyiti o ṣe pataki fun agbọye ihuwasi ati itankalẹ ti awọn dislocations lakoko idagbasoke gara.
Awọn ohun elo iwaju: Imọ-ẹrọ kikopa Ray wiwa ni a nireti lati lo siwaju si topology agbara-giga bi daradara bi topology X-ray ti o da lori yàrá. Ni afikun, imọ-ẹrọ yii tun le fa siwaju si simulation ti awọn abuda abawọn ti awọn polytypes miiran (bii 15R-SiC) tabi awọn ohun elo semikondokito miiran.
olusin Akopọ
Aworan 1: Aworan atọka ti synchrotron Ìtọjú X-ray topological aworan iṣeto, pẹlu gbigbe (Laue) geometry, yiyipada otito (Bragg) geometry, ati grazing isẹlẹ geometry. Awọn geometry wọnyi ni a lo ni pataki lati ṣe igbasilẹ awọn aworan topological X-ray.
Aworan 2: Aworan atọka ti X-ray diffraction ti agbegbe ti o daru ni ayika skru dislocation. Nọmba yii ṣe alaye ibatan laarin isẹlẹ isẹlẹ (s0) ati tan ina (sg) diffraction (sg) pẹlu ọkọ ofurufu diffraction agbegbe deede (n) ati igun Bragg agbegbe (θB).
Aworan 3: Awọn aworan oju-aye X-ray ti o ṣe afẹyinti ti awọn micropipes (MPs) lori wafer 6H-SiC ati iyatọ ti dislocation skru ti a ṣe apẹrẹ (b = 6c) labẹ awọn ipo iyatọ kanna.
Aworan 4: Awọn orisii micropipe ni aworan oju-aye ti o ni ẹhin-pada ti wafer 6H–SiC. Awọn aworan ti awọn ọmọ ile-igbimọ kanna pẹlu awọn aye oriṣiriṣi ati awọn MPS ni awọn ọna idakeji ni a fihan nipasẹ awọn iṣeṣiro wiwapa ray.
Aworan 5: Awọn aworan oju-aye X-ray iṣẹlẹ jijẹ ti awọn dislocations skru skru (TSDs) lori wafer 4H-SiC ti han. Awọn aworan ṣe afihan itansan eti imudara.
Aworan 6: Awọn iṣeṣiro wiwapa Ray ti isẹlẹ jijẹ awọn aworan topography X-ray ti ọwọ osi ati ọwọ ọtun 1c TSDs lori wafer 4H–SiC ti han.
Aworan 7: Awọn iṣeṣiro wiwapa Ray ti awọn TSDs ni 4H-SiC ati 6H-SiC ti han, ti n ṣafihan awọn iṣipopada pẹlu oriṣiriṣi Burgers vectors ati awọn oriṣiriṣi oriṣiriṣi.
Aworan 8: Ṣe afihan iṣẹlẹ jijẹ X-ray topological awọn aworan ti awọn oriṣiriṣi oriṣiriṣi awọn dislocations eti okun (TEDs) lori awọn wafers 4H-SiC, ati awọn aworan topological TED ti a ṣe simulated nipa lilo ọna wiwapa ray.
Aworan 9: Ṣe afihan awọn aworan topological back-ray X-ray ti ọpọlọpọ awọn oriṣi TED lori awọn wafers 4H-SiC, ati iyatọ TED ti a ṣe simulated.
Aworan 10: Ṣe afihan awọn aworan kikopa wiwa kakiri ray ti awọn dislocations threading ti o dapọ (TMDs) pẹlu awọn iṣọn Burgers kan pato, ati awọn aworan topological adanwo.
Aworan 11: Ṣe afihan awọn aworan topological ti ẹhin-pada ti awọn dislocations ọkọ ofurufu basal (BPDs) lori awọn wafers 4H-SiC, ati aworan atọka ti iṣeto isọdi-itumọ ifasilẹ eti simulated.
Aworan 12: Ṣe afihan awọn aworan simulation wiwapa ray ti awọn BPDs helical ti ọwọ ọtún ni awọn ijinle oriṣiriṣi ti o ṣe akiyesi isinmi dada ati awọn ipa gbigba fọtoelectric.
Aworan 13: Ṣe afihan awọn aworan kikopa wiwapa ray ti ọwọ ọtún helical BPDs ni awọn ijinle oriṣiriṣi, ati iṣẹlẹ jijẹ X-ray awọn aworan topological.
Aworan 14: Ṣe afihan aworan atọka ti awọn dislocations ọkọ ofurufu basal ni eyikeyi itọsọna lori awọn wafers 4H-SiC, ati bii o ṣe le pinnu ijinle ilaluja nipasẹ wiwọn gigun asọtẹlẹ.
Aworan 15: Iyatọ ti awọn BPDs pẹlu oriṣiriṣi Burgers vectors ati awọn itọnisọna laini ni iṣẹlẹ grazing X-ray topological images, ati awọn ti o baamu ray wiwa esi kikopa.
Aworan 16: Aworan kikopa wiwapa ray ti TSD ti o ni ọwọ ọtun lori wafer 4H-SiC, ati iṣẹlẹ jijẹ X-ray aworan topological ti han.
Aworan 17: Simulation wiwapa ray ati aworan esiperimenta ti TSD ti o ya lori 8° aiṣedeede 4H-SiC wafer ti han.
Aworan 18: Awọn aworan simulation wiwapa ray ti TSD ati TMDs ti o yapa pẹlu oriṣiriṣi Burgers vectors ṣugbọn itọsọna ila kanna ni a fihan.
Aworan 19: Aworan kikopa wiwapa ray ti awọn dislocations iru Frank, ati isẹlẹ grazing ti o baamu X-ray topological aworan ti han.
Aworan 20: Aworan topological X-ray funfun ti a tan kaakiri ti micropipe lori wafer 6H-SiC, ati aworan kikopa wiwa ray ti han.
Aworan 21: Awọn iṣẹlẹ grazing monochromatic X-ray topological image ti axially ge ayẹwo ti 6H-SiC, ati awọn ray wiwa aworan kikopa ti awọn BPD ti wa ni han.
Aworan 22: ṣe afihan awọn aworan simulation wiwapa ray ti awọn BPDs ni 6H-SiC axially ge awọn ayẹwo ni awọn igun iṣẹlẹ ti o yatọ.
Aworan 23: ṣe afihan awọn aworan kikopa wiwapa ray ti TED, TSD ati TMDs ni 6H-SiC axially ge awọn ayẹwo labẹ jiometiriji iṣẹlẹ grazing.
Aworan 24: n ṣe afihan awọn aworan topological X-ray ti awọn TSD ti o yapa ni awọn ẹgbẹ oriṣiriṣi ti laini isoclinic lori wafer 4H-SiC, ati awọn aworan kikopa wiwapa ray ti o baamu.
Nkan yii jẹ fun pinpin ẹkọ nikan. Ti irufin eyikeyi ba wa, jọwọ kan si wa lati pa a rẹ.
Akoko ifiweranṣẹ: Jun-18-2024