Ohun elo ti Silicon Carbide Ceramics ni aaye Semikondokito

Semiconductors:

Ile-iṣẹ semikondokito tẹle ofin ile-iṣẹ ti “iran ti imọ-ẹrọ kan, iran ti ilana, ati iran kan ti ohun elo”, ati igbesoke ati aṣetunṣe ti ohun elo semikondokito da lori pataki aṣeyọri imọ-ẹrọ ti awọn ẹya pipe. Lara wọn, awọn ẹya seramiki konge jẹ aṣoju julọ awọn ohun elo awọn ohun elo pipe awọn ohun elo semikondokito, eyiti o ni awọn ohun elo pataki ni lẹsẹsẹ awọn ọna asopọ iṣelọpọ semikondokito pataki gẹgẹbi ifasilẹ oru eefin kemikali, ifisilẹ eefin ti ara, ion gbin, ati etching. Gẹgẹ bi awọn bearings, awọn irin-itọnisọna, awọn awọ, awọn chucks electrostatic, awọn apa mimu ẹrọ, bbl Paapa inu iho ohun elo, o ṣe ipa ti atilẹyin, aabo, ati iyipada.

640

Lati ọdun 2023, Fiorino ati Japan tun ti gbejade awọn ilana tuntun ni aṣeyọri tabi awọn aṣẹ iṣowo ajeji lori iṣakoso, fifi awọn ilana iwe-aṣẹ si okeere fun ohun elo semikondokito pẹlu awọn ẹrọ lithography, ati aṣa ti semikondokito anti-globalization ti jade laiyara. Pataki ti iṣakoso ominira ti pq ipese ti di olokiki siwaju sii. Ni idojukọ pẹlu ibeere fun isọdibilẹ ti awọn ẹya ohun elo semikondokito, awọn ile-iṣẹ inu ile n ṣe igbega idagbasoke idagbasoke ile-iṣẹ ni itara. Zhongci Electronics ti ṣe akiyesi isọdi agbegbe ti awọn ẹya pipe ti imọ-ẹrọ giga gẹgẹbi awọn awo alapapo ati awọn chucks elekitiroti, yanju iṣoro “bottleneck” ti ile-iṣẹ ohun elo semikondokito inu ile; Awọn ohun elo Dezhi Tuntun, olutaja ile ti o jẹ oludari ti awọn ipilẹ graphite ti a bo SiC ati awọn oruka etching SiC, ti ṣaṣeyọri ṣiṣe inawo ti 100 milionu yuan, ati bẹbẹ lọ…..
Awọn sobusitireti seramiki silikoni nitride ti o ni agbara-giga:

Awọn sobusitireti seramiki ohun alumọni nitride ni a lo ni akọkọ ninu awọn iwọn agbara, awọn ẹrọ semikondokito ati awọn oluyipada ti awọn ọkọ ina mọnamọna mimọ (EVs) ati awọn ọkọ ina mọnamọna arabara (HEVs), ati ni agbara ọja nla ati awọn ireti ohun elo.

640 (1)

Ni bayi, awọn ga gbona elekitiriki silikoni nitride seramiki sobusitireti ohun elo fun owo awọn ohun elo nilo gbona elekitiriki ≥85 W / (m · K), atunse agbara ≥650MPa, ati ṣẹ egungun toughness 5 ~ 7MPa·m1 / 2. Awọn ile-iṣẹ ti o ni agbara nitootọ lati gbejade iṣelọpọ giga ti o gbona silikoni nitride seramiki sobsitireti jẹ pataki Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Kemikali, Japan Maruwa ati Japan Fine Ceramics.

Iwadi inu ile lori awọn ohun elo sobusitireti seramiki nitride silikoni ti tun ni ilọsiwaju diẹ. Imudara igbona ti ohun alumọni nitride seramiki sobusitireti ti a pese sile nipasẹ ilana simẹnti teepu ti Ẹka Beijing ti Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd. jẹ 100 W / (m · K); Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. ti pese ni ifijišẹ ni sobusitireti seramiki ohun alumọni nitride pẹlu agbara atunse ti 700-800MPa, lile lile fifọ ≥8MPa·m1 / 2, ati adaṣe igbona ≥80W/(m·K) nipa jijẹ ọna sintering ati ilana.


Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹwa-29-2024