Awọn italaya ni Ilana Iṣakojọpọ Semiconductor

Awọn imuposi lọwọlọwọ fun iṣakojọpọ semikondokito n ni ilọsiwaju ni ilọsiwaju, ṣugbọn iwọn eyiti ohun elo adaṣe ati awọn imọ-ẹrọ ti gba ni iṣakojọpọ semikondokito taara pinnu riri ti awọn abajade ti a nireti. Awọn ilana iṣakojọpọ semikondokito ti o wa tẹlẹ tun jiya lati awọn abawọn aisun, ati awọn onimọ-ẹrọ ile-iṣẹ ko ti lo awọn eto ohun elo iṣakojọpọ adaṣe ni kikun. Nitoribẹẹ, awọn ilana iṣakojọpọ semikondokito ti ko ni atilẹyin lati awọn imọ-ẹrọ iṣakoso adaṣe yoo fa iṣẹ ti o ga julọ ati awọn idiyele akoko, ti o jẹ ki o nira fun awọn onimọ-ẹrọ lati ṣakoso didara ti iṣakojọpọ semikondokito.

Ọkan ninu awọn agbegbe pataki lati ṣe itupalẹ ni ipa ti awọn ilana iṣakojọpọ lori igbẹkẹle ti awọn ọja kekere-k. Iduroṣinṣin ti wiwo okun waya aluminiomu goolu-aluminiomu ni ipa nipasẹ awọn ifosiwewe bii akoko ati iwọn otutu, nfa igbẹkẹle rẹ lati kọ lori akoko ati abajade awọn iyipada si ipele kemikali rẹ, eyiti o le ja si delamination ninu ilana naa. Nitorinaa, o ṣe pataki lati san ifojusi si iṣakoso didara ni gbogbo ipele ti ilana naa. Ṣiṣẹda awọn ẹgbẹ amọja fun iṣẹ-ṣiṣe kọọkan le ṣe iranlọwọ lati ṣakoso awọn ọran wọnyi daradara. Loye awọn idi root ti awọn iṣoro ti o wọpọ ati idagbasoke awọn ibi-afẹde, awọn solusan igbẹkẹle jẹ pataki fun mimu didara ilana gbogbogbo. Ni pataki, awọn ipo ibẹrẹ ti awọn okun onirin, pẹlu awọn paadi imora ati awọn ohun elo ti o wa labẹ ati awọn ẹya, gbọdọ wa ni itupale daradara. Ilẹ paadi ifaramọ gbọdọ wa ni mimọ, ati yiyan ati ohun elo ti awọn ohun elo okun waya, awọn irinṣẹ ifunmọ, ati awọn aye ifunmọ gbọdọ pade awọn ibeere ilana si iwọn ti o pọju. O ti wa ni niyanju lati darapo k Ejò ilana ọna ẹrọ pẹlu itanran-pitch imora lati rii daju wipe awọn ikolu ti goolu-aluminiomu IMC lori apoti igbekele ti wa ni pataki afihan. Fun awọn onirin isunmọ-pitch, eyikeyi abuku le ni ipa lori iwọn awọn boolu imora ati ni ihamọ agbegbe IMC. Nitorinaa, iṣakoso didara ti o muna lakoko ipele iṣe jẹ pataki, pẹlu awọn ẹgbẹ ati oṣiṣẹ ti n ṣawari awọn iṣẹ ṣiṣe ati awọn iṣẹ wọn pato, tẹle awọn ibeere ilana ati awọn ilana lati yanju awọn ọran diẹ sii.

Imuse okeerẹ ti apoti semikondokito ni iseda alamọdaju. Awọn onimọ-ẹrọ ile-iṣẹ gbọdọ tẹle ni muna awọn igbesẹ iṣiṣẹ ti apoti semikondokito lati mu awọn paati daradara. Bibẹẹkọ, diẹ ninu awọn oṣiṣẹ ile-iṣẹ ko lo awọn imuposi idiwọn lati pari ilana iṣakojọpọ semikondokito ati paapaa gbagbe lati rii daju awọn pato ati awọn awoṣe ti awọn paati semikondokito. Bi abajade, diẹ ninu awọn paati semikondokito ti wa ni akopọ ti ko tọ, ni idilọwọ semikondokito lati ṣiṣe awọn iṣẹ ipilẹ rẹ ati ni ipa awọn anfani eto-aje ti ile-iṣẹ.

Lapapọ, ipele imọ-ẹrọ ti iṣakojọpọ semikondokito tun nilo lati ni ilọsiwaju ni eto. Awọn onimọ-ẹrọ ni awọn ile-iṣẹ iṣelọpọ semikondokito yẹ ki o lo awọn ọna ẹrọ iṣakojọpọ adaṣe adaṣe lati rii daju apejọ deede ti gbogbo awọn paati semikondokito. Awọn oluyẹwo didara yẹ ki o ṣe awọn atunyẹwo okeerẹ ati ti o muna lati ṣe idanimọ deede awọn ẹrọ semikondokito ti ko tọ ati rọ awọn onimọ-ẹrọ ni iyara lati ṣe awọn atunṣe to munadoko.

Pẹlupẹlu, ni ipo ti iṣakoso didara ilana ilana isọpọ waya, ibaraenisepo laarin Layer irin ati Layer ILD ni agbegbe asopọ okun waya le ja si delamination, paapaa nigbati paadi ti o ni okun waya ati apẹrẹ ti o wa labẹ irin / ILD Layer sinu apẹrẹ ife. . Eyi jẹ nipataki nitori titẹ ati agbara ultrasonic ti a lo nipasẹ ẹrọ isunmọ okun waya, eyiti o dinku diẹdiẹ agbara ultrasonic ati gbejade si agbegbe isunmọ okun waya, ni idiwọ itọpa ibaramu ti wura ati awọn ọta aluminiomu. Ni ipele ibẹrẹ, awọn igbelewọn ti isọpọ okun waya kekere-k fi han pe awọn aye ilana imora jẹ ifura gaan. Ti o ba ṣeto awọn paramita imora ju kekere, awọn ọran bii awọn fifọ waya ati awọn iwe adehun alailagbara le dide. Alekun agbara ultrasonic lati sanpada fun eyi le ja si ipadanu agbara ati ki o buru si ibajẹ ti o ni apẹrẹ ago. Ni afikun, ifaramọ alailagbara laarin Layer ILD ati Layer irin, pẹlu brittleness ti awọn ohun elo kekere-k, jẹ awọn idi akọkọ fun delamination ti irin Layer lati Layer ILD. Awọn ifosiwewe wọnyi wa laarin awọn italaya akọkọ ni iṣakoso didara iṣakojọpọ semikondokito lọwọlọwọ ati isọdọtun.