Awọn idi akọkọ ti o kan isokan ti resistivity radial ti awọn kirisita ẹyọkan jẹ fifẹ ti wiwo olomi-lile ati ipa ọkọ ofurufu kekere lakoko idagbasoke gara.
Awọn ipa ti awọn flatness ti awọn ri to-omi ni wiwo Nigba gara idagbasoke, ti o ba ti yo ti wa ni rú boṣeyẹ, awọn dogba resistance dada ni ri to-omi ni wiwo (awọn aimọ ifọkansi ni yo ti o yatọ si lati awọn aimọkan fojusi ninu awọn gara, ki. awọn resistivity ti o yatọ si, ati awọn resistance jẹ dogba nikan ni ri to-omi ni wiwo). Nigbati aimọ K<1, iṣiro wiwo si yo yoo fa ki resistivity radial ga ni aarin ati kekere ni eti, lakoko ti wiwo concave si yo jẹ idakeji. Isokan resistivity radial ti alapin-olomi ni wiwo jẹ dara. Apẹrẹ ti wiwo olomi-lile lakoko fifa kirisita jẹ ipinnu nipasẹ awọn ifosiwewe bii pinpin aaye gbona ati awọn aye ṣiṣe idagbasoke gara. Ninu kirisita kan ti a fa ni taara, apẹrẹ ti dada-omi ti o lagbara jẹ abajade ti ipa apapọ ti awọn okunfa bii pinpin iwọn otutu ileru ati itusilẹ ooru gara.
Nigbati o ba nfa awọn kirisita, awọn oriṣi akọkọ mẹrin wa ti paṣipaarọ ooru ni wiwo olomi-lile:
Ooru wiwaba ti iyipada alakoso tu silẹ nipasẹ imudara ohun alumọni didà
Ooru ifọnọhan ti yo
Gbigbe igbona si oke nipasẹ gara
Ìtọjú ooru ita nipasẹ awọn gara
Ooru wiwaba jẹ aṣọ fun gbogbo wiwo, ati iwọn rẹ ko yipada nigbati oṣuwọn idagba jẹ igbagbogbo. (Itọsọna ooru ti o yara, itutu agbaiye yara, ati iwọn imuduro ti o pọ si)
Nigbati ori okuta kristali ti ndagba ba sunmọ ọpá irugbin gara ti omi tutu ti ileru ileru garadi kan, iwọn otutu iwọn otutu ninu okuta momọ jẹ nla, eyiti o jẹ ki itọsi ooru gigun gigun ti okuta gara tobi ju ooru itọda dada, nitorinaa ri to-omi ni wiwo rubutu ti si yo.
Nigbati kirisita naa ba dagba si aarin, itọsi ooru gigun jẹ dogba si ooru itankalẹ oju, nitorinaa wiwo naa jẹ taara.
Ni iru ti kristali, itọsi igbona gigun gigun kere ju ooru itankalẹ dada, ti o jẹ ki wiwo olomi to lagbara concave si yo.
Lati le gba kirisita ẹyọkan pẹlu atako radial aṣọ, wiwo omi-lile gbọdọ wa ni ipele.
Awọn ọna ti a lo ni: ① Ṣatunṣe eto igbona idagbasoke gara lati dinku iwọn otutu radial ti aaye igbona.
② Ṣatunṣe awọn paramita iṣẹ fifa kirisita. Fun apẹẹrẹ, fun ohun ni wiwo rubutu ti si yo, mu awọn nfa iyara lati mu awọn gara solidification oṣuwọn. Ni akoko yii, nitori ilosoke ninu ooru wiwaba crystallization ti a tu silẹ lori wiwo, iwọn otutu ti o yo nitosi wiwo n pọ si, ti o mu abajade yo apakan kan ti gara ni wiwo, ṣiṣe ni wiwo alapin. Ni ilodi si, ti wiwo idagbasoke ba jẹ concave si yo, oṣuwọn idagba le dinku, ati yo yoo jẹ ki iwọn didun ti o baamu mulẹ, ti o jẹ ki wiwo idagbasoke ni alapin.
③ Ṣatunṣe iyara yiyi ti gara tabi crucible. Alekun iyara yiyi gara yoo mu ṣiṣan omi otutu-giga ti n lọ lati isalẹ si oke ni wiwo olomi-lile, ṣiṣe ni wiwo yipada lati convex si concave. Itọsọna ti ṣiṣan omi ti o ṣẹlẹ nipasẹ yiyi ti crucible jẹ kanna bi ti convection adayeba, ati pe ipa naa jẹ idakeji patapata si ti iyipo gara.
④ Alekun ipin ti iwọn ila opin ti inu ti crucible si iwọn ila opin ti okuta momọ gara yoo ṣe itọsi wiwo omi-lile, ati pe o tun le dinku iwuwo dislocation ati akoonu atẹgun ninu gara. Ni gbogbogbo, iwọn ila opin crucible: iwọn ila opin gara = 3 ~ 2.5: 1.
Ipa ti ipa ọkọ ofurufu kekere
Ni wiwo ri to-omi ti idagbasoke gara ti wa ni igba te nitori awọn aropin ti awọn yo isotherm ni crucible. Ti o ba ti gbe gara ni kiakia nigba idagbasoke gara, kekere kan alapin ofurufu yoo han ni ri to-omi ni wiwo ti awọn (111) germanium ati silikoni nikan kirisita. O jẹ (111) ọkọ ofurufu atomu ti o sunmọ, ti a npe ni ọkọ ofurufu kekere.
Idojukọ aimọ ni agbegbe ọkọ ofurufu kekere yatọ si ti agbegbe ti kii ṣe kekere. Iyalenu ti pinpin ajeji ti awọn idoti ni agbegbe ọkọ ofurufu kekere ni a pe ni ipa ọkọ ofurufu kekere.
Nitori ipa ọkọ ofurufu kekere, resistivity ti agbegbe ọkọ ofurufu kekere yoo dinku, ati ni awọn ọran ti o nira, awọn ohun kohun paipu aimọ yoo han. Lati le yọkuro inhomogeneity resistivity radial ti o ṣẹlẹ nipasẹ ipa ọkọ ofurufu kekere, wiwo-itumọ omi-lile nilo lati ni ipele.
Kaabọ si awọn alabara eyikeyi lati gbogbo agbala aye lati ṣabẹwo si wa fun ijiroro siwaju!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-24-2024