Kini CVD SiC
Isọdi eeru ọru (CVD) jẹ ilana fifisilẹ igbale ti a lo lati ṣe awọn ohun elo to lagbara-mimọ giga. Ilana yii ni a lo nigbagbogbo ni aaye iṣelọpọ semikondokito lati ṣe awọn fiimu tinrin lori dada awọn wafers. Ninu ilana ti ngbaradi SiC nipasẹ CVD, sobusitireti ti farahan si ọkan tabi diẹ ẹ sii awọn ipilẹṣẹ iyipada, eyiti o fesi ni kemikali lori dada ti sobusitireti lati fi idogo SiC ti o fẹ silẹ. Lara awọn ọna pupọ fun igbaradi awọn ohun elo SiC, awọn ọja ti a pese sile nipasẹ ifasilẹ orule kemikali ni iṣọkan giga ati mimọ, ati pe ọna naa ni iṣakoso ilana to lagbara.
Awọn ohun elo CVD SiC dara pupọ fun lilo ninu ile-iṣẹ semikondokito ti o nilo awọn ohun elo ti o ga julọ nitori apapo alailẹgbẹ wọn ti o dara julọ ti gbona, itanna ati awọn ohun-ini kemikali. CVD SiC irinše ti wa ni o gbajumo ni lilo ninu etching ẹrọ, MOCVD ẹrọ, Si epitaxial itanna ati SiC epitaxial ẹrọ, dekun gbona processing itanna ati awọn miiran oko.
Lapapọ, apakan ọja ti o tobi julọ ti awọn paati CVD SiC jẹ awọn paati ohun elo etching. Nitori ifasẹyin kekere rẹ ati adaṣe si chlorine- ati fluorine-ti o ni awọn gaasi etching, CVD silikoni carbide jẹ ohun elo pipe fun awọn paati bii awọn oruka idojukọ ni ohun elo etching pilasima.
Awọn ohun elo carbide silikoni CVD ni awọn ohun elo etching pẹlu awọn oruka idojukọ, awọn ori iwẹ gaasi, awọn atẹ, awọn oruka eti, bbl Gbigba oruka idojukọ bi apẹẹrẹ, oruka idojukọ jẹ paati pataki ti a gbe ni ita wafer ati taara si olubasọrọ pẹlu wafer. Nipa lilo foliteji si iwọn lati dojukọ pilasima ti o kọja nipasẹ iwọn, pilasima ti dojukọ wafer lati mu isokan ti iṣelọpọ pọ si.
Awọn oruka idojukọ aṣa jẹ ti silikoni tabi quartz. Pẹlu ilosiwaju ti miniaturization Circuit iṣọpọ, ibeere ati pataki ti awọn ilana etching ni iṣelọpọ iyika iṣọpọ n pọ si, ati agbara ati agbara ti pilasima etching tẹsiwaju lati pọ si. Ni pataki, agbara pilasima ti o nilo ni awọn ohun elo etching plasma capacitively pọ (CCP) ti o ga julọ, nitorinaa iwọn lilo ti awọn oruka idojukọ ti awọn ohun elo carbide silikoni n pọ si. Aworan atọka ti CVD silikoni carbide oruka idojukọ jẹ afihan ni isalẹ:
Akoko ifiweranṣẹ: Jun-20-2024