Ilana alaye ti iṣelọpọ semikondokito ohun alumọni wafer

640

Ni akọkọ, fi silikoni polycrystalline ati awọn dopants sinu erupẹ quartz ninu ileru okuta gara kan, gbe iwọn otutu soke si diẹ sii ju awọn iwọn 1000, ati gba silikoni polycrystalline ni ipo didà.

640 (1)

Idagba ingot Silicon jẹ ilana ti ṣiṣe ohun alumọni polycrystalline sinu ohun alumọni gara ẹyọkan. Lẹhin ti ohun alumọni polycrystalline ti wa ni kikan sinu omi, agbegbe igbona ni iṣakoso ni deede lati dagba sinu awọn kirisita ẹyọkan ti o ni agbara giga.

Awọn imọran ti o jọmọ:
Idagba kristali ẹyọkan:Lẹhin iwọn otutu ti ojutu ohun alumọni polycrystalline jẹ iduroṣinṣin, kristali irugbin ti lọ silẹ laiyara sinu yo ohun alumọni (irugbin gara yoo tun yo ninu yo ohun alumọni), ati lẹhinna a gbe gara irugbin soke ni iyara kan fun irugbin na. ilana. Lẹhinna, awọn iyọkuro ti o waye lakoko ilana irugbin ni a yọkuro nipasẹ iṣẹ-ọrun. Nigbati ọrun ba dinku si ipari ti o to, iwọn ila opin ti ohun alumọni mọto kan ti pọ si iye ibi-afẹde nipa ṣiṣatunṣe iyara fifa ati iwọn otutu, ati lẹhinna iwọn ila opin dogba jẹ itọju lati dagba si ipari ibi-afẹde. Nikẹhin, lati le ṣe idiwọ yiyọ kuro lati fa sẹhin, ingot crystal kan ti pari lati gba ingot kristali kan ti o ti pari, lẹhinna a mu jade lẹhin iwọn otutu ti tutu.

Awọn ọna fun igbaradi ohun alumọni kirisita ẹyọkan:CZ ọna ati FZ ọna. Ọna CZ jẹ abbreviated bi ọna CZ. Iwa ti ọna CZ ni pe o ṣe akopọ ni eto igbona silinda taara, ni lilo alapapo graphite resistance lati yo ohun alumọni polycrystalline ni ibi-mimọ quartz ti o ga-mimọ, ati lẹhinna fifi gara irugbin sinu yo dada fun alurinmorin, lakoko yiyi irugbin kristali, ati ki o yiyipada awọn crucible. Kirisita irugbin ti gbe soke laiyara, ati lẹhin awọn ilana ti irugbin, gbooro, yiyi ejika, idagba iwọn ila opin dogba, ati iru, ohun alumọni gara kan ṣoṣo ni a gba.

Ọna yo agbegbe jẹ ọna ti lilo awọn ingots polycrystalline lati yo ati ki o ṣe kirisita awọn kirisita semikondokito ni awọn agbegbe oriṣiriṣi. Agbara gbigbona ni a lo lati ṣe ina agbegbe yo ni opin kan ti ọpá semikondokito, ati lẹhinna a ṣe welded irugbin gara kan ṣoṣo. Awọn iwọn otutu ti wa ni titunse lati ṣe awọn yo agbegbe laiyara gbe si awọn miiran opin ti awọn ọpá, ati nipasẹ gbogbo ọpá, kan nikan gara ti wa ni dagba, ati awọn kirisita Iṣalaye jẹ kanna bi ti awọn irugbin crystal. Ọna yo agbegbe ti pin si awọn oriṣi meji: ọna yo agbegbe petele ati ọna yo agbegbe idadoro inaro. Ti iṣaaju jẹ lilo ni pataki fun isọdi-mimọ ati idagbasoke kristali ẹyọkan ti awọn ohun elo bii germanium ati GaAs. Igbẹhin ni lati lo okun igbohunsafẹfẹ giga-giga ni oju-aye tabi ileru igbale lati ṣe agbejade agbegbe didà ni olubasọrọ laarin kristali irugbin kan ṣoṣo ati ọpa silikoni polycrystalline ti o daduro loke rẹ, ati lẹhinna gbe agbegbe didà si oke lati dagba ẹyọkan. kirisita.

O fẹrẹ to 85% ti awọn ohun alumọni ohun alumọni ni a ṣe nipasẹ ọna Czochralski, ati 15% ti awọn ohun alumọni silikoni jẹ iṣelọpọ nipasẹ ọna yo agbegbe. Gẹgẹbi ohun elo naa, ohun alumọni mọto kan ti o dagba nipasẹ ọna Czochralski ni a lo ni akọkọ lati ṣe agbejade awọn paati iyika iṣọpọ, lakoko ti ohun alumọni mọto ti o dagba nipasẹ ọna yo agbegbe jẹ lilo akọkọ fun awọn semikondokito agbara. Ọna Czochralski ni ilana ti ogbo ati pe o rọrun lati dagba ohun alumọni gara-iwọn ila opin nla; ọna yo agbegbe agbegbe yo ko kan si eiyan, ko rọrun lati wa ni idoti, ni mimọ ti o ga julọ, ati pe o dara fun iṣelọpọ awọn ẹrọ itanna ti o ni agbara giga, ṣugbọn o nira sii lati dagba ohun alumọni okuta-iwọn ila opin nla kan, ati pe a lo fun 8 inches nikan tabi kere si ni iwọn ila opin. Fidio naa fihan ọna Czochralski.

640 (2)

Nitori iṣoro ni ṣiṣakoso iwọn ila opin ti ọpa ohun alumọni kristal kan ni ilana ti nfa kirisita kan ṣoṣo, lati le gba awọn ọpa silikoni ti awọn iwọn ila opin, bii 6 inches, 8 inches, 12 inches, bbl Lẹhin ti nfa ẹyọkan naa. kirisita, iwọn ila opin ti ingot silikoni yoo yiyi ati ilẹ. Ilẹ ti ọpa ohun alumọni lẹhin sẹsẹ jẹ dan ati pe aṣiṣe iwọn jẹ kere.

640 (3)

Lilo imọ-ẹrọ gige waya to ti ni ilọsiwaju, ingot kirisita ẹyọkan ni a ge sinu awọn wafer silikoni ti sisanra ti o dara nipasẹ ohun elo slicing.

640 (4)

Nitori sisanra kekere ti ohun alumọni silikoni, eti ti silikoni wafer lẹhin gige jẹ didasilẹ pupọ. Idi ti lilọ eti ni lati ṣẹda eti didan ati pe ko rọrun lati fọ ni iṣelọpọ chirún ọjọ iwaju.

640 (6)

LAPPING ni lati ṣafikun wafer laarin awo yiyan wuwo ati awo kristali isalẹ, ki o lo titẹ ati yiyi pẹlu abrasive lati jẹ ki wafer jẹ alapin.

640 (5)

Etching jẹ ilana lati yọkuro ibajẹ oju ti wafer, ati pe Layer ti o bajẹ nipasẹ sisẹ ti ara jẹ tituka nipasẹ ojutu kemikali.

640 (8)

Lilọ-apa-meji jẹ ilana kan lati jẹ ki wafer fifẹ ati yọ awọn itọka kekere kuro lori ilẹ.

640 (7)

RTP jẹ ilana kan ti nyara alapapo wafer ni iṣẹju diẹ, nitorinaa awọn abawọn inu ti wafer jẹ aṣọ, awọn idoti irin ti wa ni titẹ, ati pe iṣẹ ajeji ti semikondokito ti ni idiwọ.

640 (11)

Polishing jẹ ilana kan ti o ṣe idaniloju didan dada nipasẹ ẹrọ titọ dada. Lilo slurry didan ati asọ didan, ni idapo pẹlu iwọn otutu ti o yẹ, titẹ ati iyara yiyi, le ṣe imukuro Layer ibajẹ ẹrọ ti o fi silẹ nipasẹ ilana iṣaaju ati gba awọn alumọni siliki pẹlu fifẹ dada ti o dara julọ.

640 (9)

Idi ti mimọ ni lati yọ ọrọ Organic kuro, awọn patikulu, awọn irin, bbl ti o ku lori dada ti wafer ohun alumọni lẹhin didan, nitorinaa lati rii daju mimọ ti dada wafer ohun alumọni ati pade awọn ibeere didara ti ilana atẹle.

640 (10)

Ayẹwo fifẹ & resistivity ṣe iwari wafer silikoni lẹhin didan ati mimọ lati rii daju pe sisanra, fifẹ, fifẹ agbegbe, ìsépo, oju-iwe ogun, resistivity, bbl ti wafer silikoni didan pade awọn iwulo alabara.

640 (12)

KỌRỌ PARTICLE jẹ ilana fun ṣiṣe ayẹwo ni deede oju ti wafer, ati awọn abawọn oju ati opoiye jẹ ipinnu nipasẹ pipinka laser.

640 (14)

EPI GROWING jẹ ilana fun idagbasoke awọn fiimu ohun alumọni ẹyọkan ti o ni agbara giga lori awọn wafer ohun alumọni didan nipasẹ ifisilẹ kemikali akoko oru.

Awọn imọran ti o jọmọ:Idagba Epitaxial: tọka si idagba ti Layer kristali kan pẹlu awọn ibeere kan ati iṣalaye kirisita kanna gẹgẹbi sobusitireti lori sobusitireti gara kan (sobusitireti), gẹgẹ bi gara atilẹba ti n jade si ita fun apakan kan. Imọ-ẹrọ idagbasoke Epitaxial jẹ idagbasoke ni ipari awọn ọdun 1950 ati ibẹrẹ awọn ọdun 1960. Ni akoko yẹn, lati ṣe iṣelọpọ igbohunsafẹfẹ giga-giga ati awọn ẹrọ agbara giga, o jẹ dandan lati dinku resistance jara olugba, ati pe ohun elo naa nilo lati koju foliteji giga ati lọwọlọwọ giga, nitorinaa o jẹ dandan lati dagba giga tinrin kan- resistance epitaxial Layer lori kekere-resistance sobusitireti. Layer kristali titun kan ti o dagba ni epitaxially le yatọ si sobusitireti ni awọn ofin ti iru ifọkasi, resistivity, ati bẹbẹ lọ, ati awọn kirisita pupọ-Layer nikan ti awọn sisanra oriṣiriṣi ati awọn ibeere tun le dagba, nitorinaa imudarasi irọrun ti apẹrẹ ẹrọ ati awọn iṣẹ ti ẹrọ.

640 (13)

Iṣakojọpọ jẹ iṣakojọpọ ti awọn ọja ti o ni oye ikẹhin.


Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-05-2024