Awọn iroyin - Iwaju Ipari Laini (FEOL): Fi ipilẹ silẹ

Ipari iwaju ti laini iṣelọpọ dabi fifi ipilẹ ati kikọ awọn odi ile kan. Ni iṣelọpọ semikondokito, ipele yii pẹlu ṣiṣẹda awọn ẹya ipilẹ ati awọn transistors lori wafer ohun alumọni.

Awọn Igbesẹ pataki ti FEOL:

1. Ninu:Bẹrẹ pẹlu wafer ohun alumọni tinrin ki o sọ di mimọ lati yọkuro awọn aimọ.
2. Oxidiation:Dagba Layer ti silicon dioxide lori wafer lati ya sọtọ awọn ẹya oriṣiriṣi ti chirún naa.
3. Aworan aworan:Lo fọtolithography lati tẹ awọn ilana sori wafer, ni ibamu si yiya awọn aworan alaworan pẹlu ina.
4. Etching:Etch kuro ti aifẹ silikoni oloro lati ṣafihan awọn ilana ti o fẹ.
5. Doping:Ṣe afihan awọn aimọ sinu ohun alumọni lati yi awọn ohun-ini itanna rẹ pada, ṣiṣẹda awọn transistors, awọn bulọọki ile ipilẹ ti chirún eyikeyi.

Aarin Ipari Laini (MEOL): Nsopọ awọn aami

Aarin opin laini iṣelọpọ dabi fifi sori ẹrọ onirin ati fifi ọpa sinu ile kan. Ipele yii fojusi lori idasile awọn asopọ laarin awọn transistors ti a ṣẹda ni ipele FEOL.

Awọn Igbesẹ pataki ti MEOL:

1. Ipilẹṣẹ Dielectric:Fi awọn ipele idabobo idogo (ti a npe ni dielectrics) lati daabobo awọn transistors.
2. Ipilẹṣẹ Olubasọrọ:Fọọmu awọn olubasọrọ lati so awọn transistors pọ si ara wọn ati agbaye ita.
3. Asopọmọra:Ṣafikun awọn ipele irin lati ṣẹda awọn ipa ọna fun awọn ifihan agbara itanna, iru si sisọ ile kan lati rii daju agbara ailopin ati ṣiṣan data.

Pada Ipari Laini (BEOL): Awọn Ipari Ipari

Ipari ẹhin ti laini iṣelọpọ dabi fifi awọn fọwọkan ipari si ile kan-fifi awọn imuduro, kikun, ati rii daju pe ohun gbogbo ṣiṣẹ. Ni iṣelọpọ semikondokito, ipele yii pẹlu fifi awọn ipele ikẹhin kun ati ngbaradi ërún fun apoti.

Awọn Igbesẹ pataki ti BEOL:

1. Afikun Irin Layer:Ṣafikun awọn ipele irin lọpọlọpọ lati mu ibaraenisepo pọ si, ni idaniloju pe chirún le mu awọn iṣẹ ṣiṣe eka ati awọn iyara giga mu.

2. Ifá pé:Waye awọn ipele aabo lati daabobo chirún lati ibajẹ ayika.

3. Idanwo:Koko-ọrọ ërún si idanwo lile lati rii daju pe o pade gbogbo awọn pato.

4. Dicing:Ge wafer sinu awọn eerun kọọkan, ọkọọkan ṣetan fun apoti ati lilo ninu awọn ẹrọ itanna.