Ipari Iwaju Laini (FEOL): Fi ipilẹ silẹ

Iwaju, arin ati ẹhin pari ti awọn laini iṣelọpọ iṣelọpọ semikondokito

Ilana iṣelọpọ semikondokito le pin ni aijọju si awọn ipele mẹta:
1) Ipari iwaju ti ila
2) Aarin opin ti ila
3) Pada opin ti ila

Semikondokito iṣelọpọ laini iṣelọpọ

A le lo afiwe ti o rọrun bii kikọ ile kan lati ṣawari ilana eka ti iṣelọpọ chirún:

Ipari iwaju ti laini iṣelọpọ dabi fifi ipilẹ ati kikọ awọn odi ile kan. Ni iṣelọpọ semikondokito, ipele yii pẹlu ṣiṣẹda awọn ẹya ipilẹ ati awọn transistors lori wafer ohun alumọni.

 

Awọn Igbesẹ pataki ti FEOL:

1.Cleaning: Bẹrẹ pẹlu kan tinrin ohun alumọni wafer ati ki o nu o lati yọ eyikeyi impurities.
2.Oxidation: Dagba Layer ti silicon dioxide lori wafer lati ya sọtọ awọn ẹya oriṣiriṣi ti ërún.
3.Photolithography: Lo fọtolithography lati tẹ awọn ilana sori wafer, bakanna si yiya awọn awoṣe pẹlu ina.
4.Etching: Etch kuro ti aifẹ silikoni oloro lati fi han awọn ilana ti o fẹ.
5.Doping: Ṣe afihan awọn impurities sinu ohun alumọni lati paarọ awọn ohun-ini itanna rẹ, ṣiṣẹda awọn transistors, awọn bulọọki ile ipilẹ ti eyikeyi ërún.

 

Aarin Ipari Laini (MEOL): Nsopọ awọn aami

Aarin opin laini iṣelọpọ dabi fifi sori ẹrọ onirin ati fifi ọpa sinu ile kan. Ipele yii fojusi lori idasile awọn asopọ laarin awọn transistors ti a ṣẹda ni ipele FEOL.

 

Awọn Igbesẹ pataki ti MEOL:

1.Dielectric Deposition: Idogo insulating Layer (ti a npe ni dielectrics) lati dabobo awọn transistors.
2.Contact Formation: Fọọmu awọn olubasọrọ lati so awọn transistors si kọọkan miiran ati awọn ita aye.
3.Interconnect: Ṣafikun awọn ipele irin lati ṣẹda awọn ipa ọna fun awọn ifihan agbara itanna, iru si wiwọ ile kan lati rii daju pe agbara ailopin ati ṣiṣan data.

 

Pada Ipari Laini (BEOL): Awọn Ipari Ipari

Ipari ẹhin ti laini iṣelọpọ dabi fifi awọn fọwọkan ipari si ile kan-fifi awọn imuduro, kikun, ati rii daju pe ohun gbogbo ṣiṣẹ. Ni iṣelọpọ semikondokito, ipele yii pẹlu fifi awọn ipele ikẹhin kun ati ngbaradi ërún fun apoti.

 

Awọn Igbesẹ pataki ti BEOL:

1.Additional Metal Layers: Ṣafikun awọn ipele irin pupọ lati ṣe alekun interconnectivity, aridaju pe ërún le mu awọn iṣẹ-ṣiṣe ti o pọju ati awọn iyara giga.
2.Passivation: Waye awọn ipele aabo lati daabobo chirún lati ibajẹ ayika.
3.Testing: Koko-ọrọ ni ërún si idanwo lile lati rii daju pe o pade gbogbo awọn pato.
4.Dicing: Ge wafer sinu awọn eerun kọọkan, kọọkan ṣetan fun apoti ati lilo ninu awọn ẹrọ itanna.

Semicera jẹ asiwaju OEM olupese ni China, igbẹhin si pese exceptional iye si awọn onibara wa. A nfunni ni okeerẹ ti awọn ọja ati iṣẹ ti o ni agbara giga, pẹlu:

1.CVD SiC Aso(Epitaxy, awọn ẹya ti a bo CVD ti aṣa, awọn ohun elo iṣẹ ṣiṣe giga fun awọn ohun elo semikondokito, ati diẹ sii)
2.CVD SiC Bulk Parts(Awọn oruka Etch, awọn oruka idojukọ, awọn paati SiC aṣa fun ohun elo semikondokito, ati diẹ sii)
3.CVD TaC Ti a bo Parts(Epitaxy, SiC wafer idagbasoke, awọn ohun elo iwọn otutu giga, ati diẹ sii)
4.Lẹẹdi Awọn ẹya(Awọn ọkọ oju omi graphite, awọn paati graphite aṣa fun sisẹ iwọn otutu giga, ati diẹ sii)
5.Awọn ẹya SiC(Awọn ọkọ oju omi SiC, awọn tubes ileru SiC, awọn paati SiC aṣa fun sisẹ ohun elo ilọsiwaju, ati diẹ sii)
6.Quartz Awọn ẹya(Awọn ọkọ oju omi Quartz, awọn ẹya quartz aṣa fun semikondokito ati awọn ile-iṣẹ oorun, ati diẹ sii)

Ifaramo wa si didara julọ ni idaniloju pe a pese awọn solusan imotuntun ati igbẹkẹle fun ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ, pẹlu iṣelọpọ semikondokito, ṣiṣe awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju, ati awọn ohun elo imọ-ẹrọ giga. Pẹlu aifọwọyi lori konge ati didara, a ṣe igbẹhin si ipade awọn aini alailẹgbẹ ti alabara kọọkan.


Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kejila-09-2024