Ninu ohun elo etching pilasima, awọn paati seramiki ṣe ipa pataki, pẹlu awọnoruka idojukọ.Awọn oruka idojukọ, ti a gbe ni ayika wafer ati ni olubasọrọ taara pẹlu rẹ, jẹ pataki fun idojukọ pilasima pẹlẹpẹlẹ wafer nipasẹ fifi foliteji si oruka. Eleyi iyi awọn uniformity ti awọn etching ilana.
Ohun elo ti Awọn Iwọn Idojukọ SiC ni Awọn ẹrọ Etching
SiC CVD irinšeni etching ero, gẹgẹ bi awọnoruka idojukọ, gaasi showerheads, platens, ati awọn oruka eti, ti wa ni ojurere nitori ifaseyin kekere ti SiC pẹlu chlorine ati fluorine ti o da lori awọn gaasi etching ati adaṣe rẹ, ti o jẹ ki o jẹ ohun elo pipe fun ohun elo etching pilasima.
Awọn anfani ti SiC bi Ohun elo Oruka Idojukọ
Nitori ifihan taara si pilasima ni iyẹwu ifasilẹ igbale, awọn oruka idojukọ nilo lati ṣe lati awọn ohun elo sooro pilasima. Awọn oruka idojukọ ti aṣa, ti a ṣe lati ohun alumọni tabi quartz, jiya lati ailagbara etching ti ko dara ni awọn pilasima ti o da lori fluorine, ti o yori si ipata iyara ati dinku ṣiṣe.
Ifiwera Laarin Si ati CVD SiC Awọn Iwọn Idojukọ:
1. Ti o ga julọ:Din etching iwọn didun.
2. Ibadi nla: Pese o tayọ idabobo.
3. Imudara Gbona giga & Imugboroosi Imugboroosi Kekere: Sooro si mọnamọna gbona.
4. Rirọ giga:Ti o dara resistance to darí ikolu.
5. Lile giga: Wọ ati ipata-sooro.
SiC ṣe alabapin ifọkasi itanna ti ohun alumọni lakoko ti o funni ni resistance giga si ionic etching. Bii miniaturization iyika iṣọpọ ti nlọsiwaju, ibeere fun awọn ilana etching daradara diẹ sii pọ si. Ohun elo etching Plasma, paapaa awọn ti o nlo pilasima pọpọ capacitive (CCP), nilo agbara pilasima giga, ṣiṣeSiC idojukọ orukaincreasingly gbajumo.
Si ati CVD SiC Iwọn Iwọn Idojukọ:
| Paramita | Silikoni (Si) | CVD Silicon Carbide (SiC) |
| Ìwúwo (g/cm³) | 2.33 | 3.21 |
| Aafo Ẹgbẹ (eV) | 1.12 | 2.3 |
| Imudara Ooru (W/cm°C) | 1.5 | 5 |
| Imugboroosi Gbona (x10⁻⁶/°C) | 2.6 | 4 |
| Modulu Rirọ (GPa) | 150 | 440 |
| Lile | Isalẹ | Ti o ga julọ |
Ilana iṣelọpọ ti Awọn Iwọn Idojukọ SiC
Ninu ohun elo semikondokito, CVD (Deposition Vapor Vapor) ni a lo nigbagbogbo lati gbe awọn paati SiC jade. Awọn oruka idojukọ jẹ iṣelọpọ nipasẹ gbigbe SiC sinu awọn apẹrẹ kan pato nipasẹ ifisilẹ oru, atẹle nipasẹ sisẹ ẹrọ lati ṣe agbekalẹ ọja ikẹhin. Iwọn ohun elo fun ifisilẹ oru jẹ ti o wa titi lẹhin idanwo nla, ṣiṣe awọn aye bi resistivity ni ibamu. Bibẹẹkọ, ohun elo etching oriṣiriṣi le nilo awọn oruka idojukọ pẹlu awọn atako ti o yatọ, pataki awọn adanwo ipin ohun elo tuntun fun sipesifikesonu kọọkan, eyiti o jẹ akoko-n gba ati idiyele.
Nipa yiyanSiC idojukọ orukalatiSemicera Semikondokito, awọn onibara le ṣaṣeyọri awọn anfani ti awọn iyipo rirọpo gigun ati iṣẹ ṣiṣe ti o ga julọ laisi ilosoke pupọ ninu iye owo.
Awọn ohun elo Itọju Gbona Yiyara (RTP).
Awọn ohun-ini igbona alailẹgbẹ CVD SiC jẹ ki o jẹ apẹrẹ fun awọn ohun elo RTP. Awọn paati RTP, pẹlu awọn oruka eti ati awọn platen, ni anfani lati CVD SiC. Lakoko RTP, awọn iṣọn ooru gbigbona ni a lo si awọn wafers kọọkan fun awọn akoko kukuru, atẹle nipasẹ itutu agbaiye. Awọn oruka eti CVD SiC, ti o jẹ tinrin ati nini iwọn otutu kekere, ko ṣe idaduro ooru pataki, ṣiṣe wọn lainidi nipasẹ alapapo iyara ati awọn ilana itutu agbaiye.
Plasma Etching irinše
Idaabobo kẹmika giga ti CVD SiC jẹ ki o dara fun awọn ohun elo etching. Ọpọlọpọ awọn iyẹwu etching lo awọn awo pinpin gaasi CVD SiC lati kaakiri awọn gaasi etching, ti o ni awọn ẹgbẹẹgbẹrun awọn iho kekere fun pipinka pilasima. Ti a ṣe afiwe si awọn ohun elo yiyan, CVD SiC ni ifaseyin kekere pẹlu chlorine ati awọn gaasi fluorine. Ni etching gbigbẹ, awọn paati CVD SiC bii awọn oruka idojukọ, awọn platen ICP, awọn oruka aala, ati awọn ori iwẹ ni a lo nigbagbogbo.
Awọn oruka idojukọ SiC, pẹlu foliteji ti a lo wọn fun idojukọ pilasima, gbọdọ ni adaṣe to to. Ni deede ti ohun alumọni, awọn oruka idojukọ jẹ ifihan si awọn gaasi ti n ṣiṣẹ ti o ni fluorine ati chlorine, ti o yori si ipata ti ko ṣeeṣe. Awọn oruka idojukọ SiC, pẹlu ilodisi ipata giga wọn, funni ni awọn igbesi aye gigun ni akawe si awọn oruka ohun alumọni.
Ifiwera Igbesi aye:
Awọn Iwọn Idojukọ SiC:Rọpo gbogbo 15 si 20 ọjọ.
Awọn oruka Idojukọ Silikoni:Rọpo gbogbo 10 si 12 ọjọ.
Pelu awọn oruka SiC jẹ awọn akoko 2 si awọn akoko 3 diẹ gbowolori ju awọn ohun alumọni ohun alumọni, iyipo ti o gbooro sii dinku awọn idiyele rirọpo paati gbogbogbo, bi gbogbo awọn ẹya yiya ninu iyẹwu ti rọpo nigbakanna nigbati iyẹwu naa ṣii fun rirọpo oruka idojukọ.
Semicera Semikondokito ká SiC Idojukọ Oruka
Semicera Semiconductor nfunni ni awọn oruka idojukọ SiC ni awọn idiyele ti o sunmọ awọn ti awọn oruka ohun alumọni, pẹlu akoko idari ti isunmọ awọn ọjọ 30. Nipa iṣọpọ awọn oruka idojukọ Semicera's SiC sinu ohun elo etching pilasima, ṣiṣe ati gigun ni ilọsiwaju ni pataki, idinku awọn idiyele itọju gbogbogbo ati imudara iṣelọpọ iṣelọpọ. Ni afikun, Semicera le ṣe akanṣe resistivity ti awọn oruka idojukọ lati pade awọn ibeere alabara kan pato.
Nipa yiyan awọn oruka idojukọ SiC lati Semicera Semiconductor, awọn alabara le ṣaṣeyọri awọn anfani ti awọn akoko rirọpo gigun ati iṣẹ ṣiṣe ti o ga julọ laisi ilosoke pataki ni idiyele.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Keje-10-2024