Ile-iṣẹ semikondokito n jẹri idagbasoke airotẹlẹ, paapaa ni agbegbe tiohun alumọni carbide (SiC)itanna agbara.Pẹlu ọpọlọpọ awọn iwọn nlawaferfabs ti o ngba ikole tabi imugboroosi lati pade ibeere ibeere fun awọn ẹrọ SiC ninu awọn ọkọ ayọkẹlẹ ina, ariwo yii ṣafihan awọn aye iyalẹnu fun idagbasoke ere.Bibẹẹkọ, o tun mu awọn italaya alailẹgbẹ jade ti o beere awọn solusan imotuntun.
Ni ọkan ti jijẹ iṣelọpọ chirún SiC agbaye ni iṣelọpọ ti awọn kirisita SiC didara giga, awọn wafers, ati awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial.Nibi,semikondokito-ite lẹẹdiawọn ohun elo ṣe ipa pataki kan, irọrun idagbasoke SiC gara ati ifisilẹ ti awọn fẹlẹfẹlẹ SiC epitaxial.Idabobo gbigbona Graphite ati inertness jẹ ki o jẹ ohun elo ti o fẹ, ti a lo lọpọlọpọ ni awọn ohun-ọṣọ, awọn pedestals, awọn disiki aye, ati awọn satẹlaiti laarin idagbasoke gara ati awọn eto epitaxy.Bibẹẹkọ, awọn ipo ilana lile jẹ ipenija pataki kan, ti o yori si ibajẹ iyara ti awọn paati graphite ati ni atẹle idilọwọ iṣelọpọ ti awọn kirisita SiC didara giga ati awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial.
Iṣelọpọ ti awọn kirisita carbide ohun alumọni kan pẹlu awọn ipo ilana simi pupọ, pẹlu awọn iwọn otutu ti o kọja 2000 ° C ati awọn nkan gaasi ipata pupọ.Eyi nigbagbogbo ṣe abajade ni ipata pipe ti awọn crucibles lẹẹdi lẹhin ọpọlọpọ awọn ilana ilana, nitorinaa awọn idiyele iṣelọpọ pọ si.Ni afikun, awọn ipo lile paarọ awọn ohun-ini dada ti awọn paati lẹẹdi, ni ilodisi atunwi ati iduroṣinṣin ti ilana iṣelọpọ.
Lati koju awọn italaya wọnyi ni imunadoko, imọ-ẹrọ ibora aabo ti farahan bi oluyipada ere.Awọn ideri aabo ti o da loritantalum carbide (TaC)ti ṣe agbekalẹ lati koju awọn ọran ti ibajẹ paati graphite ati awọn aito ipese graphite.Awọn ohun elo TaC ṣe afihan iwọn otutu ti o yo ju 3800 ° C ati resistance kemikali alailẹgbẹ.Imudara imọ-ẹrọ isọkusọ kẹmika (CVD),Awọn ideri TaCpẹlu sisanra ti o to awọn milimita 35 ni a le fi sii laisiyonu lori awọn paati graphite.Layer aabo yii kii ṣe imudara iduroṣinṣin ohun elo nikan ṣugbọn tun fa igbesi aye igbesi aye ti awọn paati graphite pọ si, nitorinaa idinku awọn idiyele iṣelọpọ ati imudara ṣiṣe ṣiṣe.
Semicera, a asiwaju olupese tiAwọn ideri TaC, ti jẹ ohun elo ni iyipada ile-iṣẹ semikondokito.Pẹlu imọ-ẹrọ gige-eti rẹ ati ifaramo ailopin si didara, Semicera ti jẹ ki awọn aṣelọpọ semikondokito lati bori awọn italaya to ṣe pataki ati ṣaṣeyọri awọn giga ti aṣeyọri tuntun.Nipa fifunni awọn aṣọ-ikele TaC pẹlu iṣẹ ti ko ni iyasọtọ ati igbẹkẹle, Semicera ti ṣe iṣeduro ipo rẹ gẹgẹbi alabaṣepọ ti o gbẹkẹle fun awọn ile-iṣẹ semikondokito ni agbaye.
Ni ipari, imọ-ẹrọ ti a bo aabo, agbara nipasẹ awọn imotuntun biiAwọn ideri TaClati Semicera, n ṣe atunṣe ala-ilẹ semikondokito ati paving awọn ọna fun daradara siwaju sii ati alagbero ojo iwaju.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-16-2024