Photoresist ti wa ni lilo pupọ lọwọlọwọ ni sisẹ ati iṣelọpọ ti awọn iyika ayaworan itanran ni ile-iṣẹ alaye optoelectronic. Iye idiyele ilana ilana fọtolithography jẹ nipa 35% ti gbogbo ilana iṣelọpọ chirún, ati awọn iroyin lilo akoko fun 40% si 60% ti gbogbo ilana chirún. O jẹ ilana mojuto ni iṣelọpọ semikondokito. Awọn ohun elo Photoresist ṣe iroyin fun bii 4% ti idiyele lapapọ ti awọn ohun elo iṣelọpọ chirún ati pe o jẹ awọn ohun elo mojuto fun iṣelọpọ iṣọpọ iṣọpọ semikondokito.
Oṣuwọn idagba ti ọja photoresist China ga ju ipele kariaye lọ. Gẹgẹbi data lati Ile-iṣẹ Iwadi Ile-iṣẹ Ifojusọna, ipese agbegbe ti photoresisist ti orilẹ-ede mi ni ọdun 2019 jẹ nipa yuan bilionu 7, ati pe oṣuwọn idagbasoke agbo lati ọdun 2010 ti de 11%, eyiti o ga pupọ ju oṣuwọn idagbasoke agbaye lọ. Bibẹẹkọ, awọn iroyin ipese agbegbe jẹ iwọn 10% ti ipin agbaye, ati fidipo inu ile ti ṣaṣeyọri ni pataki fun awọn olutọpa PCB kekere. Oṣuwọn iyẹfun ti ara ẹni ti photoresists ni LCD ati awọn aaye semikondokito jẹ kekere pupọ.
Photoresist jẹ alabọde gbigbe ayaworan ti o lo oriṣiriṣi solubility lẹhin ifura ina lati gbe apẹrẹ iboju-boju si sobusitireti. O ti wa ni akọkọ kq ti photosensitive oluranlowo (photoinitiator), polymerizer (photosensitive resini), epo ati aropo.
Awọn ohun elo aise ti photoresist jẹ resini akọkọ, epo ati awọn afikun miiran. Lara wọn, awọn iroyin epo fun ipin ti o tobi julọ, ni gbogbogbo diẹ sii ju 80%. Botilẹjẹpe awọn afikun miiran ṣe akọọlẹ fun o kere ju 5% ti ibi-ipamọ, wọn jẹ awọn ohun elo pataki ti o pinnu awọn ohun-ini alailẹgbẹ ti photoresist, pẹlu awọn fọtosensitizers, awọn surfactants ati awọn ohun elo miiran. Ninu ilana fọtolithography, photoresist ti wa ni boṣeyẹ lori awọn sobusitireti oriṣiriṣi bii awọn wafer silikoni, gilasi ati irin. Lẹhin ifihan, idagbasoke ati etching, apẹrẹ lori iboju-boju ti gbe lọ si fiimu lati ṣe apẹrẹ jiometirika ti o baamu patapata si iboju-boju naa.
Photoresist le ti wa ni pin si meta isori gẹgẹ bi awọn oniwe-isalẹ elo aaye: semikondokito photoresist, nronu photoresist ati PCB photoresist.
Semikondokito photoresist
Ni lọwọlọwọ, KrF/ArF tun jẹ ohun elo iṣelọpọ akọkọ. Pẹlu idagbasoke ti awọn iyika iṣọpọ, imọ-ẹrọ fọtolithography ti lọ nipasẹ idagbasoke lati G-line (436nm) lithography, H-line (405nm) lithography, I-line (365nm) lithography, si ultraviolet DUV lithography jin (KrF248nm ati ArF193nm), 193nm immersion pẹlu ọpọ imọ-ẹrọ aworan (32nm-7nm), ati lẹhinna si ultraviolet ti o ga julọ (EUV, <13.5nm) lithography, ati paapaa lithography ti kii-opitika (ifihan itanna tan ina ina, ifihan ion tan ina), ati awọn oriṣi ti photoresists pẹlu awọn iwọn gigun ti o baamu bi awọn iwọn gigun fọto ti tun ti lo.
Ọja photoresist ni iwọn giga ti ifọkansi ile-iṣẹ. Awọn ile-iṣẹ Japanese ni anfani pipe ni aaye ti semikondokito photoresists. Awọn aṣelọpọ photoresist semikondokito akọkọ pẹlu Tokyo Ohka, JSR, Kemikali Sumitomo, Kemikali Shin-Etsu ni Japan; Dongjin Semikondokito ni South Korea; ati DowDuPont ni Amẹrika, laarin eyiti awọn ile-iṣẹ Japanese gba nipa 70% ti ipin ọja naa. Ni awọn ofin ti awọn ọja, Tokyo Ohka ṣe itọsọna ni awọn aaye ti g-line/i-line ati Krf photoresists, pẹlu awọn ipin ọja ti 27.5% ati 32.7% lẹsẹsẹ. JSR ni ipin ọja ti o ga julọ ni aaye ti Arf photoresist, ni 25.6%.
Gẹgẹbi awọn asọtẹlẹ Fuji Economic, ArF agbaye ati agbara iṣelọpọ lẹ pọ KrF ni a nireti lati de 1,870 ati awọn toonu 3,650 ni ọdun 2023, pẹlu iwọn ọja ti o fẹrẹ to 4.9 bilionu ati 2.8 bilionu yuan. Ipin èrè ti o pọju ti awọn oludari photoresist Japanese JSR ati TOK, pẹlu photoresist, jẹ nipa 40%, eyiti iye owo awọn ohun elo aise photoresist jẹ nipa 90%.
Awọn aṣelọpọ photoresist semikondokito inu ile pẹlu Shanghai Xinyang, Nanjing Optoelectronics, Jingrui Co., Ltd., Beijing Kehua, ati Hengkun Co., Ltd. Ni lọwọlọwọ, Beijing Kehua ati Jingrui Co., Ltd. , ati awọn ọja Beijing Kehua ti pese si SMIC. Awọn toonu 19,000 / ọdun ArF (ilana gbigbẹ) iṣẹ akanṣe photoresist labẹ ikole ni Shanghai Xinyang ni a nireti lati de iṣelọpọ ni kikun ni ọdun 2022.
Photoresist nronu
Photoresist jẹ ohun elo bọtini fun iṣelọpọ nronu LCD. Gẹgẹbi awọn olumulo oriṣiriṣi, o le pin si lẹ pọ si RGB, lẹ pọ BM, lẹ pọ OC, lẹ pọ PS, lẹ pọ TFT, ati bẹbẹ lọ.
Panel photoresists o kun pẹlu mẹrin isori: TFT onirin photoresists, LCD/TP spacer photoresists, awọ photoresists ati dudu photoresists. Lara wọn, TFT onirin photoresists ti wa ni lilo fun ITO onirin, ati LCD/TP ojoriro photoresists ti wa ni lo lati tọju awọn sisanra ti awọn omi gara ohun elo laarin awọn meji gilasi sobsitireti ti awọn LCD ibakan. Awọ photoresists ati dudu photoresists le fun awọ Ajọ awọ awọn iṣẹ.
Ọja photoresist nronu nilo lati wa ni iduroṣinṣin, ati ibeere fun awọn photoresists awọ ti n ṣakoso. O nireti pe awọn tita agbaye yoo de awọn toonu 22,900 ati pe awọn tita yoo de US $ 877 million ni ọdun 2022.
Awọn tita ti TFT panel photoresists, LCD/TP spacer photoresists, ati dudu photoresists ti wa ni o ti ṣe yẹ lati de ọdọ US $321 million, US $251 million, ati US $199 million lẹsẹsẹ ni 2022. Ni ibamu si Zhiyan Consulting ká nkan, awọn agbaye nronu photoresist oja iwọn yoo de ọdọ. RMB 16.7 bilionu ni ọdun 2020, pẹlu iwọn idagba ti o to 4%. Gẹgẹbi awọn iṣiro wa, ọja photoresist yoo de RMB 20.3 bilionu nipasẹ 2025. Lara wọn, pẹlu gbigbe ti ile-iṣẹ ile-iṣẹ LCD, iwọn ọja ati iwọn agbegbe ti LCD photoresisist ni orilẹ-ede mi ni a nireti lati pọ si ni ilọsiwaju.
PCB photoresist
PCB photoresist le ti wa ni pin si UV curing inki ati UV sokiri inki ni ibamu si awọn ti a bo ọna. Ni lọwọlọwọ, awọn olupese PCB inki ti ile ti ṣaṣeyọri diẹdiẹ aropo ile, ati awọn ile-iṣẹ bii Rongda Photosensitive ati Awọn ohun elo Guangxin ti ni oye awọn imọ-ẹrọ bọtini ti inki PCB.
Photoresist TFT ti ile ati semikondokito photoresist tun wa ni ipele iṣawakiri akọkọ. Jingrui Co., Ltd., Yak Technology, Yongtai Technology, Rongda Photosensitive, Xinyihua, China Electronics Rainbow, ati Feikai Materials gbogbo ni awọn ipilẹ ni aaye ti TFT photoresist. Lara wọn, Awọn ohun elo Feikai ati Beixu Electronics ti gbero agbara iṣelọpọ ti o to 5,000 toonu / ọdun. Yak Technology ti wọ ọja yii nipa gbigba pipin photoresist awọ ti LG Chem, ati pe o ni awọn anfani ni awọn ikanni ati imọ-ẹrọ.
Fun awọn ile-iṣẹ pẹlu awọn idena imọ-ẹrọ giga ti o ga julọ gẹgẹbi photoresist, iyọrisi awọn aṣeyọri ni ipele imọ-ẹrọ jẹ ipilẹ, ati ni ẹẹkeji, ilọsiwaju ilọsiwaju ti awọn ilana ni a nilo lati pade awọn iwulo idagbasoke iyara ti ile-iṣẹ semikondokito.
Kaabọ si oju opo wẹẹbu wa fun alaye ọja ati ijumọsọrọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-27-2024