Awọn ọgọọgọrun awọn ilana ni a nilo lati tan awafersinu kan semikondokito. Ọkan ninu awọn ilana pataki julọ nietching- ti o ni, gbígbẹ itanran Circuit ilana lori awọnwafer. Awọn aseyori ti awọnetchingilana da lori ṣiṣakoso ọpọlọpọ awọn oniyipada laarin sakani pinpin ṣeto, ati ohun elo etching kọọkan gbọdọ wa ni imurasilẹ lati ṣiṣẹ labẹ awọn ipo to dara julọ. Awọn ẹlẹrọ ilana etching wa lo imọ-ẹrọ iṣelọpọ to dara julọ lati pari ilana alaye yii.
Ile-iṣẹ Awọn iroyin SK Hynix ṣe ifọrọwanilẹnuwo awọn ọmọ ẹgbẹ ti Icheon DRAM Front Etch, Middle Etch, ati awọn ẹgbẹ imọ-ẹrọ End Etch lati ni imọ siwaju sii nipa iṣẹ wọn.
Etch: Irin-ajo si Ilọsiwaju Iṣelọpọ
Ni iṣelọpọ semikondokito, etching tọka si awọn ilana gbigbe lori awọn fiimu tinrin. Awọn ilana ni a fun sokiri ni lilo pilasima lati ṣe agbekalẹ ipari ipari ti igbesẹ ilana kọọkan. Idi akọkọ rẹ ni lati ṣafihan awọn ilana pipe ni ibamu si ifilelẹ ati ṣetọju awọn abajade aṣọ labẹ gbogbo awọn ipo.
Ti awọn iṣoro ba waye ninu fifisilẹ tabi ilana fọtolithography, wọn le yanju nipasẹ imọ-ẹrọ etching yiyan (Etch). Sibẹsibẹ, ti nkan kan ba jẹ aṣiṣe lakoko ilana etching, ipo naa ko le yi pada. Eyi jẹ nitori pe ohun elo kanna ko le kun ni agbegbe ti a fiweranṣẹ. Nitorinaa, ninu ilana iṣelọpọ semikondokito, etching jẹ pataki lati pinnu ikore gbogbogbo ati didara ọja.
Ilana etching pẹlu awọn igbesẹ mẹjọ: ISO, BG, BLC, GBL, SNC, M0, SN ati MLM.
Ni akọkọ, ISO (Iya sọtọ) ipele etches (Etch) silikoni (Si) lori wafer lati ṣẹda agbegbe sẹẹli ti nṣiṣe lọwọ. Ipele BG (Buried Gate) ṣe agbekalẹ laini adirẹsi ila (Laini Ọrọ) 1 ati ẹnu-ọna lati ṣẹda ikanni itanna kan. Nigbamii ti, ipele BLC (Bit Line Contact) ṣẹda asopọ laarin ISO ati laini adirẹsi iwe (Bit Line) 2 ni agbegbe sẹẹli. Ipele GBL (Peri Gate+Cell Bit Line) yoo ṣẹda laini adirẹsi ọwọn sẹẹli ati ẹnu-ọna ni ẹba 3.
Ipele SNC (Ibi ipamọ Node Adehun) tẹsiwaju lati ṣẹda asopọ laarin agbegbe ti nṣiṣe lọwọ ati aaye ibi ipamọ 4. Lẹhinna, ipele M0 (Metal0) ṣe awọn aaye asopọ ti S / D agbeegbe (Ibi ipamọ) 5 ati awọn aaye asopọ. laarin awọn iwe adirẹsi ila ati ibi ipamọ ipade. Ipele SN (Node Ibi ipamọ) jẹrisi agbara ẹyọkan, ati ipele MLM ti o tẹle (Multi Layer Metal) n ṣẹda ipese agbara itagbangba ati wiwu inu, ati pe gbogbo ilana imọ-ẹrọ etching (Etch) ti pari.
Fun wipe etching (Etch) technicians wa ni o kun lodidi fun awọn patterning ti semikondokito, awọn DRAM Eka ti pin si meta egbe: Front Etch (ISO, BG, BLC); Aarin Etch (GBL, SNC, M0); Ipari Etch (SN, MLM). Awọn ẹgbẹ wọnyi tun pin ni ibamu si awọn ipo iṣelọpọ ati awọn ipo ẹrọ.
Awọn ipo iṣelọpọ jẹ iduro fun iṣakoso ati ilọsiwaju awọn ilana iṣelọpọ ẹyọkan. Awọn ipo iṣelọpọ ṣe ipa pataki pupọ ni imudarasi ikore ati didara ọja nipasẹ iṣakoso oniyipada ati awọn igbese iṣapeye iṣelọpọ miiran.
Awọn ipo ohun elo jẹ iduro fun iṣakoso ati okun awọn ohun elo iṣelọpọ lati yago fun awọn iṣoro ti o le waye lakoko ilana etching. Ojuse pataki ti awọn ipo ohun elo ni lati rii daju iṣẹ ṣiṣe to dara julọ ti ẹrọ.
Botilẹjẹpe awọn ojuse jẹ kedere, gbogbo awọn ẹgbẹ ṣiṣẹ si ibi-afẹde ti o wọpọ - iyẹn ni, lati ṣakoso ati mu awọn ilana iṣelọpọ ṣiṣẹ ati awọn ohun elo ti o jọmọ lati mu ilọsiwaju ṣiṣẹ. Ni ipari yii, ẹgbẹ kọọkan n pin awọn aṣeyọri tiwọn ati awọn agbegbe fun ilọsiwaju, ati ṣe ifowosowopo lati mu ilọsiwaju iṣowo ṣiṣẹ.
Bii o ṣe le koju awọn italaya ti imọ-ẹrọ miniaturization
SK Hynix bẹrẹ iṣelọpọ pipọ ti awọn ọja 8Gb LPDDR4 DRAM fun ilana kilasi 10nm (1a) ni Oṣu Keje ọdun 2021.
Awọn ilana iyika iranti semikondokito ti wọ akoko 10nm, ati lẹhin awọn ilọsiwaju, DRAM kan le gba awọn sẹẹli 10,000. Nitorinaa, paapaa ninu ilana etching, ala ilana ko to.
Ti o ba ti akoso iho (Iho) 6 jẹ ju kekere, o le han "unopened" ati ki o dènà isalẹ apa ti awọn ërún. Ni afikun, ti iho ti a ṣẹda ba tobi ju, “afaramọ” le waye. Nigbati aafo laarin awọn iho meji ko to, “asopọ” waye, ti o yorisi awọn iṣoro ifaramọ laarin awọn igbesẹ ti o tẹle. Bi awọn semikondokito ti di isọdọtun ti o pọ si, iwọn awọn iye iwọn iho ti dinku ni kutukutu, ati pe awọn eewu wọnyi yoo yọkuro diẹdiẹ.
Lati yanju awọn iṣoro ti o wa loke, awọn amoye imọ-ẹrọ etching tẹsiwaju lati mu ilana naa dara, pẹlu iyipada ilana ilana ati APC7 algorithm, ati ṣafihan awọn imọ-ẹrọ etching titun gẹgẹbi ADCC8 ati LSR9.
Bi awọn iwulo alabara ṣe di iyatọ diẹ sii, ipenija miiran ti farahan - aṣa ti iṣelọpọ ọja pupọ. Lati pade iru awọn iwulo alabara, awọn ipo ilana iṣapeye fun ọja kọọkan nilo lati ṣeto lọtọ. Eyi jẹ ipenija pataki pupọ fun awọn onimọ-ẹrọ nitori wọn nilo lati ṣe imọ-ẹrọ iṣelọpọ ibi-pupọ pade awọn iwulo ti awọn ipo iṣeto mejeeji ati awọn ipo oniruuru.
Ni ipari yii, awọn onimọ-ẹrọ Etch ṣafihan “aiṣedeede APC” imọ-ẹrọ 10 lati ṣakoso ọpọlọpọ awọn itọsẹ ti o da lori awọn ọja pataki (Awọn ọja Koko), ati iṣeto ati lo “eto T-index” lati ṣakoso awọn ọja lọpọlọpọ. Nipasẹ awọn akitiyan wọnyi, eto naa ti ni ilọsiwaju nigbagbogbo lati pade awọn iwulo ti iṣelọpọ ọja lọpọlọpọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Keje-16-2024