Bi ọkan ninu awọn mojuto irinše tiMOCVD ẹrọ, graphite mimọ jẹ awọn ti ngbe ati alapapo ara ti awọn sobusitireti, eyi ti taara ipinnu awọn uniformity ati ti nw ti awọn fiimu, ki awọn oniwe-didara taara ni ipa lori igbaradi ti awọn epitaxial dì, ati ni akoko kanna, pẹlu awọn ilosoke ti awọn nọmba ti. awọn lilo ati iyipada awọn ipo iṣẹ, o rọrun pupọ lati wọ, ti o jẹ ti awọn ohun elo.
Biotilejepe lẹẹdi ni o ni o tayọ gbona iba ina elekitiriki, o ni kan ti o dara anfani bi a mimọ paatiMOCVD ẹrọ, ṣugbọn ninu ilana iṣelọpọ, graphite yoo ba lulú jẹ nitori iyokuro ti awọn gaasi ibajẹ ati awọn ohun alumọni ti fadaka, ati pe igbesi aye iṣẹ ti ipilẹ graphite yoo dinku pupọ. Ni akoko kanna, lulú graphite ti o ṣubu yoo fa idoti si ërún.
Ifarahan ti imọ-ẹrọ ti a bo le pese imuduro iyẹfun dada, mu imudara igbona pọ si, ati iwọntunwọnsi pinpin ooru, eyiti o ti di imọ-ẹrọ akọkọ lati yanju iṣoro yii. Graphite mimọ niMOCVD ẹrọlilo ayika, graphite mimọ ti a bo dada yẹ ki o pade awọn abuda wọnyi:
(1) Awọn graphite mimọ le ti wa ni kikun ti a we, ati awọn iwuwo ti o dara, bibẹkọ ti awọn graphite mimọ jẹ rorun lati wa ni corroded ninu awọn ibajẹ gaasi.
(2) Agbara apapo pẹlu ipilẹ graphite jẹ giga lati rii daju pe ideri ko rọrun lati ṣubu lẹhin ọpọlọpọ awọn iwọn otutu giga ati awọn iwọn otutu kekere.
(3) O ni iduroṣinṣin kemikali to dara lati yago fun ikuna ti a bo ni iwọn otutu giga ati oju-aye ibajẹ.
SiC ni o ni awọn anfani ti ipata resistance, ga gbona elekitiriki, gbona mọnamọna resistance ati ki o ga kemikali iduroṣinṣin, ati ki o le ṣiṣẹ daradara ni GaN epitaxial bugbamu. Ni afikun, olùsọdipúpọ igbona igbona ti SiC yatọ pupọ diẹ si ti graphite, nitorinaa SiC jẹ ohun elo ti o fẹ julọ fun ibora dada ti ipilẹ graphite.
Ni lọwọlọwọ, SiC ti o wọpọ jẹ nipataki 3C, 4H ati iru 6H, ati awọn lilo SiC ti awọn oriṣiriṣi awọn oriṣi gara yatọ. Fun apẹẹrẹ, 4H-SiC le ṣe awọn ẹrọ agbara-giga; 6H-SiC jẹ iduroṣinṣin julọ ati pe o le ṣe awọn ẹrọ fọtoelectric; Nitori eto ti o jọra si GaN, 3C-SiC le ṣee lo lati ṣe agbejade Layer epitaxial GaN ati ṣe awọn ẹrọ SiC-GaN RF. 3C-SiC ni a tun mọ ni igbagbogbo biβ-SiC, ati awọn ẹya pataki lilo tiβ-SiC jẹ bi fiimu ati ohun elo ti a bo, rẹβ-SiC Lọwọlọwọ ohun elo akọkọ fun ibora.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-06-2023