Awọn iroyin - idoti dada Wafer ati ọna wiwa rẹ

Awọn cleanliness ti awọnwafer dadayoo ni ipa pupọ ni iwọn iyege ti awọn ilana semikondokito atẹle ati awọn ọja. Titi di 50% ti gbogbo awọn adanu ikore ni o ṣẹlẹ nipasẹwafer dadaidoti.

Awọn nkan ti o le fa awọn ayipada ti ko ni iṣakoso ninu iṣẹ itanna ti ẹrọ tabi ilana iṣelọpọ ẹrọ ni a tọka si lapapọ bi awọn idoti. Awọn idoti le wa lati wafer funrararẹ, yara mimọ, awọn irinṣẹ ilana, awọn kemikali ilana tabi omi.Waferidoti le ṣee wa-ri ni gbogbogbo nipasẹ akiyesi wiwo, ayewo ilana, tabi lilo awọn ohun elo itupalẹ eka ni idanwo ẹrọ ikẹhin.

▲Contaminants lori dada ti ohun alumọni wafers | Nẹtiwọọki orisun aworan

Awọn abajade ti itupalẹ idoti le ṣee lo lati ṣe afihan iwọn ati iru ibajẹ ti o pade nipasẹ awọnwaferni igbesẹ ilana kan, ẹrọ kan pato tabi ilana gbogbogbo. Gẹgẹbi iyasọtọ ti awọn ọna wiwa,wafer dadaA le pin idoti si awọn iru atẹle.

Irin idoti

Ipalara ti o ṣẹlẹ nipasẹ awọn irin le fa awọn abawọn ẹrọ semikondokito ti awọn iwọn oriṣiriṣi.
Awọn irin alkali tabi awọn irin ilẹ ipilẹ (Li, Na, K, Ca, Mg, Ba, ati bẹbẹ lọ) le fa lọwọlọwọ jijo ninu eto pn, eyiti o yori si foliteji didenukole ti ohun elo afẹfẹ; irin iyipada ati irin ti o wuwo (Fe, Cr, Ni, Cu, Au, Mn, Pb, bbl) idoti le dinku igbesi aye ti ngbe, dinku igbesi aye iṣẹ ti paati tabi mu iwọn dudu pọ si nigbati paati n ṣiṣẹ.

Awọn ọna ti o wọpọ fun wiwa idoti irin jẹ ifasilẹ X-ray lapapọ, spectroscopy gbigba atomiki ati inductively pilasima mass spectrometry (ICP-MS).

▲ Wafer dada idoti | IwadiGate

Idoti irin le wa lati awọn reagents ti a lo ninu mimọ, etching, lithography, ifisilẹ, ati bẹbẹ lọ, tabi lati inu awọn ẹrọ ti a lo ninu ilana, gẹgẹbi awọn adiro, reactors, ion implantation, ati bẹbẹ lọ, tabi o le fa nipasẹ mimu wafer aibikita.

Idoti patiku

Awọn idogo ohun elo gangan ni a ṣe akiyesi nigbagbogbo nipasẹ wiwa ina ti o tuka lati awọn abawọn oju. Nitorinaa, orukọ imọ-jinlẹ deede diẹ sii fun idoti patiku jẹ abawọn aaye-ina. Idoti patiku le fa idinamọ tabi awọn ipa boju-boju ni etching ati awọn ilana lithography.

Lakoko idagbasoke fiimu tabi ifisilẹ, awọn pinholes ati awọn microvoids ti wa ni ipilẹṣẹ, ati pe ti awọn patikulu ba tobi ati adaṣe, wọn le paapaa fa awọn iyika kukuru.

▲ Ibiyi ti patiku kontaminesonu | Nẹtiwọọki orisun aworan

Idoti patiku kekere le fa awọn ojiji lori dada, gẹgẹbi lakoko fọtolithography. Ti awọn patikulu nla ba wa laarin fotomask ati Layer photoresist, wọn le dinku ipinnu ifihan olubasọrọ.

Ni afikun, wọn le dènà awọn ions onikiakia lakoko gbigbe ion tabi etching gbẹ. Awọn patikulu le tun ti wa ni paade nipasẹ awọn fiimu, ki nibẹ ni o wa bumps ati bumps. Awọn ipele ti o gbasilẹ atẹle le kiraki tabi koju ikojọpọ ni awọn ipo wọnyi, nfa awọn iṣoro lakoko ifihan.

Organic idoti

Awọn idoti ti o ni erogba ninu, bakanna bi awọn ẹya isunmọ ti o ni nkan ṣe pẹlu C, ni a pe ni idoti Organic. Organic contaminants le fa airotẹlẹ hydrophobic-ini lori awọnwafer dada, mu dada roughness, gbe awọn kan hazy dada, disrupt epitaxial Layer idagbasoke, ati ki o ni ipa ni ninu ipa ti irin kototi ti o ba ti awọn contaminants ti wa ni ko kuro akọkọ.

Iru idoti dada ni gbogbogbo ni a rii nipasẹ awọn ohun elo bii isọkufẹ gbona MS, X-ray photoelectron spectroscopy, ati Auger elekitironi spectroscopy.

▲ Aworan orisun nẹtiwọki

Gaseous kototi ati omi koto

Awọn ohun alumọni oju aye ati idoti omi pẹlu iwọn molikula nigbagbogbo kii ṣe yọkuro nipasẹ afẹfẹ iṣiṣẹ giga-giga deede (HEPA) tabi awọn asẹ afẹfẹ ilaluja kekere (ULPA). Iru idoti bẹ nigbagbogbo ni abojuto nipasẹ ion mass spectrometry ati electrophoresis capillary.

Diẹ ninu awọn contaminants le jẹ ti awọn ẹka lọpọlọpọ, fun apẹẹrẹ, awọn patikulu le jẹ ti Organic tabi awọn ohun elo ti fadaka, tabi mejeeji, nitorinaa iru idoti yii le tun jẹ ipin bi awọn iru miiran.

▲ Gaseous molikula contaminants | IONICON

Ni afikun, idoti wafer le tun jẹ ipin bi idoti molikula, idoti patiku, ati ilana idoti idoti ti a mu jade ni ibamu si iwọn orisun idoti. Ti o kere si iwọn patiku idoti, diẹ sii nira lati yọ kuro. Ninu iṣelọpọ paati itanna oni, awọn ilana mimọ wafer ṣe iroyin fun 30% - 40% ti gbogbo ilana iṣelọpọ.