Kini awọn igbesẹ akọkọ ni sisẹ awọn sobusitireti SiC?

 

Bii a ṣe gbejade awọn igbesẹ sisẹ fun awọn sobusitireti SiC jẹ atẹle yii:

 

1. Iṣalaye Crystal:

Lilo X-ray diffraction lati orient awọn gara ingot. Nigbati itanna X-ray ba ni itọsọna si oju kristali ti o fẹ, igun ti tan ina diffracted pinnu iṣalaye gara.

 

2. Lilọ Diamita Lode:

Awọn kirisita ẹyọkan ti o dagba ninu awọn crucibles graphite nigbagbogbo kọja awọn iwọn ila opin boṣewa. Lilọ iwọn ila opin ti ita n dinku wọn si awọn iwọn boṣewa.

 

 

3.Ipari Oju Lilọ:

Awọn sobusitireti 4-inch 4H-SiC ni igbagbogbo ni awọn egbegbe aye meji, akọkọ ati atẹle. Ipari oju lilọ ṣi awọn egbegbe ipo wọnyi.

 

4. Wire Wire:

Wiwa waya jẹ igbesẹ pataki ni sisẹ awọn sobusitireti 4H-SiC. Awọn dojuijako ati ibajẹ oju-ilẹ ti o ṣẹlẹ lakoko wiwa waya ni odi ni ipa awọn ilana ti o tẹle, fa akoko sisẹ ati nfa ipadanu ohun elo. Ọna ti o wọpọ julọ jẹ wiwu waya-pupọ pẹlu abrasive diamond. Iṣipopada atunṣe ti awọn onirin irin ti a so pọ pẹlu awọn abrasives diamond ni a lo lati ge ingot 4H-SiC.

 

5. Ṣíṣàn:

Lati yago fun chipping eti ati dinku awọn adanu agbara nigba awọn ilana ti o tẹle, awọn egbegbe didasilẹ ti awọn eerun waya-sawn ti wa ni chamfered si awọn nitobi pato.

 

6. Tinrin:

Waya sawing fi ọpọlọpọ awọn scratches ati iha-dada bibajẹ. Tinrin ni lilo awọn kẹkẹ diamond lati yọ awọn abawọn wọnyi kuro bi o ti ṣee ṣe.

 

7. Lilọ:

Ilana yii pẹlu lilọ ti o ni inira ati lilọ daradara nipa lilo boron carbide ti o kere tabi awọn abrasives diamond lati yọ awọn ibajẹ ti o ku ati awọn bibajẹ titun ti a ṣe lakoko tinrin.

 

8. didan:

Awọn igbesẹ ti o kẹhin jẹ didan didan ati didan ti o dara nipa lilo alumina tabi abrasives ohun elo afẹfẹ silikoni. Omi didan naa jẹ ki ilẹ rọ, eyiti a yọkuro ni iṣelọpọ nipasẹ awọn abrasives. Igbesẹ yii ṣe idaniloju didan ati oju ti ko bajẹ.

 

9. Ninu:

Yiyọ awọn patikulu, awọn irin, awọn fiimu oxide, awọn iṣẹku Organic, ati awọn contaminants miiran ti o fi silẹ lati awọn igbesẹ sisẹ.