Ninu gbogbo awọn ilana lowo ninu a ṣiṣẹda kan ni ërún, ik ayanmọ ti awọnwaferni lati ge sinu awọn ku kọọkan ati idii ni awọn apoti kekere, ti paade pẹlu awọn pinni diẹ ti o han. Chirún naa yoo jẹ iṣiro da lori iloro rẹ, resistance, lọwọlọwọ, ati awọn iye foliteji, ṣugbọn ko si ẹnikan ti yoo gbero irisi rẹ. Lakoko ilana iṣelọpọ, a ṣe didan leralera wafer lati ṣaṣeyọri isọdọtun pataki, pataki fun igbesẹ fọtolithography kọọkan. Awọnwaferdada gbọdọ jẹ alapin pupọ nitori, bi ilana iṣelọpọ chirún ti n dinku, lẹnsi ti ẹrọ fọtolithography nilo lati ṣaṣeyọri ipinnu iwọn nanometer nipasẹ jijẹ iho nọmba (NA) ti lẹnsi naa. Sibẹsibẹ, eyi nigbakanna dinku ijinle idojukọ (DoF). Ijinle aifọwọyi tọka si ijinle laarin eyiti eto opiti le ṣetọju idojukọ. Lati rii daju wipe awọn photolithography aworan si maa wa ko o ati ni idojukọ, awọn dada awọn iyatọ ti awọnwafergbọdọ ṣubu laarin ijinle aifọwọyi.
Ni awọn ọrọ ti o rọrun, ẹrọ fọtolithography rubọ agbara idojukọ lati mu ilọsiwaju aworan dara si. Fun apẹẹrẹ, iran tuntun EUV awọn ẹrọ fọtolithography ni iho nọmba ti 0.55, ṣugbọn ijinle inaro ti idojukọ jẹ awọn nanometer 45 nikan, pẹlu iwọn aworan ti o dara julọ paapaa lakoko fọtolithography. Ti o ba tiwaferkii ṣe alapin, ni sisanra ti ko ni iwọn, tabi undulations dada, yoo fa awọn ọran lakoko fọtolithography ni awọn aaye giga ati kekere.
Photolithography kii ṣe ilana nikan ti o nilo didanwaferdada. Ọpọlọpọ awọn ilana iṣelọpọ ërún miiran tun nilo didan wafer. Fun apẹẹrẹ, lẹhin etching tutu, didan ni a nilo lati dan dada ti o ni inira fun ibora ti o tẹle ati fifisilẹ. Lẹhin ipinya yàrà aijinile (STI), didan ni a nilo lati dan ohun alumọni alumọni ti o pọ ju ati pari kikun yàrà. Lẹhin ifisilẹ irin, didan ni a nilo lati yọ awọn ipele irin ti o pọ ju ati ṣe idiwọ awọn iyika kukuru ẹrọ.
Nitorinaa, ibimọ ti chirún kan pẹlu ọpọlọpọ awọn igbesẹ didan lati dinku aibikita wafer ati awọn iyatọ dada ati lati yọ awọn ohun elo ti o pọ julọ kuro lori ilẹ. Ni afikun, awọn abawọn oju ti o ṣẹlẹ nipasẹ ọpọlọpọ awọn ọran ilana lori wafer nigbagbogbo yoo han gbangba lẹhin igbesẹ didan kọọkan. Nitorinaa, awọn onimọ-ẹrọ ti o ni iduro fun didan di ojuse pataki. Wọn jẹ awọn isiro aringbungbun ni ilana iṣelọpọ chirún ati nigbagbogbo jẹbi ẹbi ni awọn ipade iṣelọpọ. Wọn gbọdọ jẹ ọlọgbọn ni mejeeji etching tutu ati iṣelọpọ ti ara, gẹgẹbi awọn ilana didan akọkọ ni iṣelọpọ ërún.
Kini awọn ọna didan wafer?
Awọn ilana didan le jẹ ipin si awọn ẹka pataki mẹta ti o da lori awọn ipilẹ ibaraenisepo laarin omi didan ati dada wafer ohun alumọni:
1. Ọna didan ẹrọ:
Ṣiṣan didan ti ẹrọ n yọ awọn itọka dada didan kuro nipasẹ gige ati abuku ṣiṣu lati ṣaṣeyọri oju didan. Awọn irinṣẹ ti o wọpọ pẹlu awọn okuta epo, awọn kẹkẹ irun-agutan, ati iwe iyanrin, ti a ṣiṣẹ ni akọkọ nipasẹ ọwọ. Awọn ẹya pataki, gẹgẹbi awọn ipele ti awọn ara yiyi, le lo awọn tabili iyipo ati awọn irinṣẹ iranlọwọ miiran. Fun awọn ipele ti o ni awọn ibeere didara ga, awọn ọna didan ti o dara julọ le ṣee lo. Didan didan ti o dara julọ nlo awọn irinṣẹ abrasive ti a ṣe ni pataki, eyiti, ninu omi didan didan ti o ni abrasive, ti wa ni titẹ ni wiwọ si oju ti iṣẹ-ṣiṣe ati yiyi ni iyara giga. Ilana yii le ṣaṣeyọri aibikita dada ti Ra0.008μm, ti o ga julọ laarin gbogbo awọn ọna didan. Yi ọna ti wa ni commonly lo fun opitika lẹnsi molds.
2. Ọ̀nà dídán kẹ́míkà:
didan kẹmika jẹ pẹlu itusilẹ ayanfẹ ti awọn protrusions bulọọgi lori dada ohun elo ni alabọde kẹmika kan, ti n yọrisi dada didan. Awọn anfani akọkọ ti ọna yii ni aini iwulo fun ohun elo eka, agbara lati pólándì awọn iṣẹ ṣiṣe ti o ni irisi eka, ati agbara lati pólándì ọpọlọpọ awọn iṣẹ-ṣiṣe ni nigbakannaa pẹlu ṣiṣe giga. Ọrọ pataki ti didan kemikali jẹ agbekalẹ ti omi didan. Irora oju ti o waye nipasẹ didan kemikali jẹ igbagbogbo ọpọlọpọ awọn mewa ti micrometers.
3. Ọ̀nà Ṣíṣọ̀nà Kemikali (CMP):
Ọkọọkan awọn ọna didan meji akọkọ ni awọn anfani alailẹgbẹ rẹ. Apapọ awọn ọna meji wọnyi le ṣe aṣeyọri awọn ipa ibaramu ninu ilana naa. Kemikali darí polishing daapọ darí edekoyede ati kemikali ipata lakọkọ. Lakoko CMP, awọn reagents kemikali ninu omi didan ṣe oxidize ohun elo sobusitireti didan, ti o di Layer oxide rirọ. Layer oxide yii ni a yọ kuro nipasẹ ija-ija. Tun ṣe ifoyina yii ati ilana yiyọ ẹrọ ṣe aṣeyọri didan ti o munadoko.
Awọn Ipenija lọwọlọwọ ati Awọn ọran ni Ṣiṣatunṣe Mekanical Kemikali (CMP):
CMP dojukọ ọpọlọpọ awọn italaya ati awọn ọran ni awọn agbegbe ti imọ-ẹrọ, eto-ọrọ, ati iduroṣinṣin ayika:
1) Ilana Aitasera: Ṣiṣeyọri aitasera giga ninu ilana CMP si maa wa nija. Paapaa laarin laini iṣelọpọ kanna, awọn iyatọ kekere ninu awọn aye ilana laarin awọn ipele oriṣiriṣi tabi ohun elo le ni ipa aitasera ọja ikẹhin.
2) Imudara si Awọn ohun elo Tuntun: Bi awọn ohun elo titun ti n tẹsiwaju lati farahan, imọ-ẹrọ CMP gbọdọ ṣe deede si awọn abuda wọn. Diẹ ninu awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju le ma ni ibamu pẹlu awọn ilana CMP ti aṣa, to nilo idagbasoke ti awọn olomi didan didan ati abrasives diẹ sii ti o ni ibamu.
3) Awọn ipa Iwọn: Bi awọn iwọn ẹrọ semikondokito tẹsiwaju lati dinku, awọn ọran ti o fa nipasẹ awọn ipa iwọn di pataki diẹ sii. Awọn iwọn kekere nilo fifẹ dada ti o ga julọ, o nilo awọn ilana CMP to peye diẹ sii.
4) Iṣakoso Iwọn Yiyọ Ohun elo: Ni diẹ ninu awọn ohun elo, iṣakoso deede ti oṣuwọn yiyọ ohun elo fun awọn ohun elo oriṣiriṣi jẹ pataki. Aridaju awọn oṣuwọn yiyọkuro deede kọja awọn ipele oriṣiriṣi lakoko CMP ṣe pataki fun iṣelọpọ awọn ẹrọ ṣiṣe giga.
5) Ọrẹ Ayika: Awọn olomi didan ati abrasives ti a lo ninu CMP le ni awọn paati ipalara ayika. Iwadi ati idagbasoke ti ore ayika ati awọn ilana CMP alagbero ati awọn ohun elo jẹ awọn italaya pataki.
6) Imọye ati adaṣe: Lakoko ti oye ati ipele adaṣe ti awọn eto CMP ti n ni ilọsiwaju ni ilọsiwaju, wọn gbọdọ tun koju pẹlu eka ati awọn agbegbe iṣelọpọ iyipada. Iṣeyọri awọn ipele giga ti adaṣe ati ibojuwo oye lati mu ilọsiwaju iṣelọpọ ṣiṣẹ jẹ ipenija ti o nilo lati koju.
7) Iṣakoso idiyele: CMP jẹ ohun elo giga ati awọn idiyele ohun elo. Awọn aṣelọpọ nilo lati mu ilọsiwaju ilana ṣiṣẹ lakoko ti o n tiraka lati dinku awọn idiyele iṣelọpọ lati ṣetọju ifigagbaga ọja.
Akoko ifiweranṣẹ: Jun-05-2024