Kini Epi Pan ti ngbe?

Ile-iṣẹ semikondokito da lori ohun elo amọja ti o ga julọ lati ṣe agbejade awọn ẹrọ itanna to gaju. Ọkan ninu iru paati pataki ninu ilana idagbasoke epitaxial jẹ ti ngbe pan. Ohun elo yii ṣe ipa pataki ninu ifisilẹ ti awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial lori awọn wafers semikondokito, ni idaniloju iṣọkan ati didara ọja ikẹhin.

Ti ngbe pan ti epitaxy, ti a tun mọ si ti ngbe pan ti epitaxy, jẹ apẹrẹ ti a ṣe apẹrẹ pataki ti a lo ninu ilana idagbasoke epitaxial. O dimu ati atilẹyin awọn wafers semikondokito lakoko ifisilẹ ti awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial. Awọn ọkọ ayọkẹlẹ wọnyi ni a ṣe atunṣe lati koju awọn iwọn otutu ti o ga ati awọn agbegbe ibajẹ ti o jẹ aṣoju ti awọn ilana epitaxial, pese ipilẹ iduro fun idagba ti awọn fẹlẹfẹlẹ-okuta-ẹyọkan.

Awọn ohun elo ati Ikọle:

Awọn gbigbe Epi pan ni igbagbogbo ṣe lati awọn ohun elo ti o le farada awọn iwọn otutu to gaju ati pe o ni sooro si awọn aati kemikali. Awọn ohun elo ti o wọpọ pẹlu:

•Silikoni Carbide (SiC): Ti a mọ fun imudara igbona giga giga ati resistance lati wọ ati ifoyina, SiC jẹ yiyan ti o gbajumọ fun awọn ti ngbe pan pan.

• Graphite: Nigbagbogbo lo nitori awọn ohun-ini igbona ti o dara julọ ati agbara lati ṣetọju iduroṣinṣin igbekalẹ ni awọn iwọn otutu giga. Awọn gbigbe ayaworan ni a maa n bo pẹlu SiC lati jẹki agbara wọn ati resistance si ipata.

Ipa ninu Ilana Idagbasoke Epitaxial:

Ilana idagbasoke epitaxial jẹ pẹlu fifisilẹ tinrin Layer ti ohun elo kirisita lori sobusitireti tabi wafer. Ilana yii ṣe pataki ni ṣiṣẹda awọn ẹrọ semikondokito pẹlu awọn ohun-ini itanna deede. Ti ngbe pan pan ṣe atilẹyin wafer ni iyẹwu ifura ati rii daju pe o wa ni iduroṣinṣin lakoko ilana fifisilẹ.

Awọn iṣẹ pataki ti awọn ti ngbe epi pan pẹlu:

• Pinpin Ooru Aṣọ: Awọn ti ngbe ni idaniloju paapaa pinpin ooru kọja wafer, eyiti o ṣe pataki fun iyọrisi sisanra Layer epitaxial dédé ati didara.

• Ipinya Kemikali: Nipa ipese iduro ati inert dada, ti ngbe ṣe idilọwọ awọn aati kemikali aifẹ ti o le dinku didara Layer epitaxial.

Awọn anfani ti Didara-gigaEpi Pan Carriers:

• Imudara Ẹrọ Imudara: Awọn ipele epitaxial ti aṣọ ṣe alabapin si iṣẹ ti o ga julọ ti awọn ẹrọ semikondokito, ti o mu ki o ṣiṣẹ daradara ati igbẹkẹle.

Ikore ti o pọ sii: Nipa didinku awọn abawọn ati idaniloju ifisilẹ Layer aṣọ, awọn gbigbe didara ga mu ikore ti awọn wafers semikondokito to ṣee lo.

• Awọn idiyele Itọju Dinku: Awọn ohun elo ti o tọ ati imọ-ẹrọ deede dinku iwulo fun rirọpo ati itọju loorekoore, idinku awọn idiyele iṣelọpọ gbogbogbo.

Ti ngbe pan pan jẹ paati pataki ninu ilana idagbasoke epitaxial, taara ni ipa lori didara ati aitasera ti awọn ẹrọ semikondokito. Nipa yiyan awọn ohun elo ti o tọ ati apẹrẹ, awọn aṣelọpọ le mu ilana ilana epitaxial pọ si, ti o yori si ilọsiwaju ẹrọ ati idinku awọn idiyele iṣelọpọ. Bi ibeere fun awọn ẹrọ itanna to ti ni ilọsiwaju ti n dagba, pataki ti didara-gigaepi pan ẹjẹninu awọn semikondokito ile ise tẹsiwaju lati mu.