Idagbasoke Epitaxial jẹ imọ-ẹrọ ti o dagba ipele kristali kan kan lori sobusitireti gara kan (sobusitireti) pẹlu iṣalaye gara kanna bi sobusitireti, bi ẹnipe kristali atilẹba ti gbooro si ita. Layer kirisita kan ti o ṣẹṣẹ dagba le yatọ si sobusitireti ni awọn ofin ti iru ifọkasi, resistivity, ati bẹbẹ lọ, ati pe o le dagba awọn kirisita ẹyọkan-pupọ pẹlu awọn sisanra oriṣiriṣi ati awọn ibeere oriṣiriṣi, nitorinaa imudarasi irọrun ti apẹrẹ ẹrọ ati iṣẹ ẹrọ. Ni afikun, ilana epitaxial tun jẹ lilo pupọ ni imọ-ẹrọ ipinya ipinya PN ni awọn iyika iṣọpọ ati ni imudarasi didara ohun elo ni awọn iyika iṣọpọ titobi nla.
Ipinsi ti epitaxy jẹ pataki da lori awọn akojọpọ kemikali oriṣiriṣi ti sobusitireti ati Layer epitaxial ati awọn ọna idagbasoke oriṣiriṣi.
Gẹgẹbi awọn akojọpọ kemikali oriṣiriṣi, idagba epitaxial le pin si awọn oriṣi meji:
1. Homoepitaxial:
Ni ọran yii, Layer epitaxial ni akopọ kemikali kanna bi sobusitireti. Fun apẹẹrẹ, awọn fẹlẹfẹlẹ silikoni epitaxial ti dagba taara lori awọn sobusitireti ohun alumọni.
2. Heteroepitaxy:
Nibi, akojọpọ kemikali ti Layer epitaxial yatọ si ti sobusitireti. Fun apẹẹrẹ, gallium nitride epitaxial Layer ti dagba lori sobusitireti sapphire kan.
Gẹgẹbi awọn ọna idagbasoke ti o yatọ, imọ-ẹrọ idagbasoke epitaxial tun le pin si awọn oriṣi pupọ:
1. Epitaxy tan ina molikula (MBE):
Eyi jẹ imọ-ẹrọ fun idagbasoke awọn fiimu tinrin gara ẹyọkan lori awọn sobusitireti gara-ẹyọkan, eyiti o jẹ aṣeyọri nipasẹ ṣiṣakoso ni deede iwọn ṣiṣan tan ina molikula ati iwuwo tan ina ni igbale giga-giga.
2. Ìfisípò òfuurufú kẹ́míkà onírin-Organic (MOCVD):
Imọ-ẹrọ yii nlo awọn agbo ogun ara-irin ati awọn reagents gaasi-ipele lati ṣe awọn aati kemikali ni awọn iwọn otutu giga lati ṣe ina awọn ohun elo fiimu tinrin ti o nilo. O ni awọn ohun elo jakejado ni igbaradi ti awọn ohun elo semikondokito agbo ati awọn ẹrọ.
3. Epitaxy alakoso olomi (LPE):
Nipa fifi ohun elo olomi kun si sobusitireti gara kan kan ati ṣiṣe itọju ooru ni iwọn otutu kan, ohun elo omi naa kilọ lati dagba fiimu gara kan kan. Awọn fiimu ti a pese sile nipasẹ imọ-ẹrọ yii jẹ lattice-baramu si sobusitireti ati pe a lo nigbagbogbo lati mura awọn ohun elo semikondokito agbo ati awọn ẹrọ.
4. Oru alakoso epitaxy (VPE):
Nlo awọn ifaseyin gaseous lati ṣe awọn aati kemikali ni awọn iwọn otutu giga lati ṣe ina awọn ohun elo fiimu tinrin ti o nilo. Imọ-ẹrọ yii dara fun murasilẹ agbegbe-nla, awọn fiimu gara-didara ti o ga julọ, ati pe o ṣe pataki julọ ni igbaradi ti awọn ohun elo semikondokito agbo ati awọn ẹrọ.
5. Kemikali tan ina epitaxy (CBE):
Imọ-ẹrọ yii nlo awọn ina kemikali lati dagba awọn fiimu gara-ẹyọkan lori awọn sobusitireti gara-ẹyọkan, eyiti o jẹ aṣeyọri nipasẹ ṣiṣakoso ni deede iwọn ṣiṣan tan ina kemikali ati iwuwo tan ina. O ni awọn ohun elo jakejado ni igbaradi ti awọn fiimu tinrin gara ẹyọkan ti o ga julọ.
6. Atomic Layer epitaxy (ALE):
Lilo imọ-ẹrọ ifisilẹ Layer atomiki, awọn ohun elo fiimu tinrin ti a beere ti wa ni ipamọ Layer nipasẹ Layer lori sobusitireti gara kan. Imọ-ẹrọ yii le mura agbegbe-nla, awọn fiimu kristali ti o ni agbara giga ati nigbagbogbo lo lati mura awọn ohun elo semikondokito agbo ati awọn ẹrọ.
7. Epitaxy ogiri ti o gbona (HWE):
Nipasẹ alapapo iwọn otutu giga, awọn reactants gaseous ti wa ni ipamọ lori sobusitireti gara kan lati ṣe fiimu kan gara. Imọ-ẹrọ yii tun dara fun igbaradi agbegbe-nla, awọn fiimu gara-didara ti o ga julọ, ati pe a lo ni pataki ni igbaradi ti awọn ohun elo semikondokito agbo ati awọn ẹrọ.
Akoko ifiweranṣẹ: May-06-2024