Idagbasoke Epitaxial jẹ imọ-ẹrọ ti o dagba ipele kristali kan kan lori sobusitireti gara kan (sobusitireti) pẹlu iṣalaye gara kanna bi sobusitireti, bi ẹnipe kristali atilẹba ti gbooro si ita.Layer kirisita kan ti o ṣẹṣẹ dagba le yatọ si sobusitireti ni awọn ofin ti iru ifọkasi, resistivity, ati bẹbẹ lọ, ati pe o le dagba awọn kirisita ẹyọkan-pupọ pẹlu awọn sisanra oriṣiriṣi ati awọn ibeere oriṣiriṣi, nitorinaa imudarasi irọrun ti apẹrẹ ẹrọ ati iṣẹ ẹrọ.Ni afikun, ilana epitaxial tun jẹ lilo pupọ ni imọ-ẹrọ ipinya ipinya PN ni awọn iyika iṣọpọ ati ni imudarasi didara ohun elo ni awọn iyika iṣọpọ titobi nla.
Ipinsi ti epitaxy jẹ pataki da lori awọn akojọpọ kemikali oriṣiriṣi ti sobusitireti ati Layer epitaxial ati awọn ọna idagbasoke oriṣiriṣi.
Gẹgẹbi awọn akojọpọ kemikali oriṣiriṣi, idagba epitaxial le pin si awọn oriṣi meji:
1. Homoepitaxial: Ni idi eyi, epitaxial Layer ni o ni kanna kemikali tiwqn bi awọn sobusitireti.Fun apẹẹrẹ, awọn fẹlẹfẹlẹ silikoni epitaxial ti dagba taara lori awọn sobusitireti ohun alumọni.
2. Heteroepitaxy: Nibi, akojọpọ kemikali ti Layer epitaxial yatọ si ti sobusitireti.Fun apẹẹrẹ, gallium nitride epitaxial Layer ti dagba lori sobusitireti sapphire kan.
Gẹgẹbi awọn ọna idagbasoke ti o yatọ, imọ-ẹrọ idagbasoke epitaxial tun le pin si awọn oriṣi pupọ:
1. Molecular beam epitaxy (MBE): Eyi jẹ imọ-ẹrọ fun idagbasoke awọn fiimu tinrin kirisita kan lori awọn sobusitireti gara-ẹyọkan, eyiti o waye nipasẹ ṣiṣe ni deede ṣiṣakoso iwọn ṣiṣan tan ina molikula ati iwuwo tan ina ni igbale giga-giga.
2. Irin-Organic kemikali vapor deposition (MOCVD): Imọ-ẹrọ yii nlo awọn agbo-ara-irin-irin-irin ati awọn reagents-ipele gaasi lati ṣe awọn aati kemikali ni awọn iwọn otutu ti o ga lati ṣe ina awọn ohun elo fiimu tinrin ti a beere.O ni awọn ohun elo jakejado ni igbaradi ti awọn ohun elo semikondokito agbo ati awọn ẹrọ.
3. Epitaxy alakoso Liquid (LPE): Nipa fifi ohun elo omi kun si sobusitireti gara kan kan ati ṣiṣe itọju ooru ni iwọn otutu kan, ohun elo omi naa n ṣafẹri lati ṣẹda fiimu kan gara.Awọn fiimu ti a pese sile nipasẹ imọ-ẹrọ yii jẹ lattice-baramu si sobusitireti ati pe a lo nigbagbogbo lati mura awọn ohun elo semikondokito agbo ati awọn ẹrọ.
4. Vapor phase epitaxy (VPE): Nlo awọn reactants gaseous lati ṣe awọn aati kemikali ni awọn iwọn otutu giga lati ṣe ina awọn ohun elo fiimu tinrin ti o nilo.Imọ-ẹrọ yii dara fun murasilẹ agbegbe-nla, awọn fiimu gara-didara ti o ga julọ, ati pe o ṣe pataki julọ ni igbaradi ti awọn ohun elo semikondokito agbo ati awọn ẹrọ.
5. Kemikali beam epitaxy (CBE): Imọ-ẹrọ yii nlo awọn opo ti kemikali lati dagba awọn fiimu garawa kan lori awọn sobusitireti gara-ẹyọkan, eyiti o waye nipasẹ ṣiṣe iṣakoso ni deede iwọn ṣiṣan ṣiṣan kemikali ati iwuwo ina.O ni awọn ohun elo jakejado ni igbaradi ti awọn fiimu tinrin gara ẹyọkan ti o ga julọ.
6. Atomic Layer epitaxy (ALE): Lilo atomiki Layer imo ero, awọn ohun elo tinrin fiimu ti a beere ti wa ni ipamọ Layer nipa Layer lori kan nikan gara sobusitireti.Imọ-ẹrọ yii le mura agbegbe-nla, awọn fiimu kristali ti o ni agbara giga ati nigbagbogbo lo lati mura awọn ohun elo semikondokito agbo ati awọn ẹrọ.
7. Hot Wall epitaxy (HWE): Nipasẹ ga-otutu alapapo, gaseous reactants ti wa ni nile lori kan nikan gara sobusitireti lati dagba kan nikan gara fiimu.Imọ-ẹrọ yii tun dara fun igbaradi agbegbe-nla, awọn fiimu gara-didara ti o ga julọ, ati pe a lo ni pataki ni igbaradi ti awọn ohun elo semikondokito agbo ati awọn ẹrọ.
Akoko ifiweranṣẹ: May-06-2024