Kini epitaxy?

Ọpọ Enginners ni o wa unfamiliar pẹluapọju, eyi ti o ṣe ipa pataki ninu iṣelọpọ ẹrọ semikondokito.Apọjule ṣee lo ni orisirisi awọn ọja ni ërún, ati ki o yatọ si awọn ọja ni o yatọ si orisi ti epitaxy, pẹluNipa epitaxy, SiC apọju, GaN epitaxy, ati be be lo.

Kini epitaxy?
Epitaxy ni a maa n pe ni “Epitaxy” ni Gẹẹsi. Ọrọ naa wa lati awọn ọrọ Giriki “epi” (itumọ “loke”) ati “takisi” (itumọ “eto”). Gẹgẹbi orukọ naa ṣe daba, o tumọ si siseto daradara lori oke ohun kan. Ilana epitaxy ni lati beebe kan tinrin kirisita Layer lori kan nikan gara sobusitireti. Layer kristali ẹyọkan ti a ṣẹṣẹ fi silẹ ni a npe ni Layer epitaxial.

Awọn oriṣi akọkọ meji ti epitaxy lo wa: homoepitaxial ati heteroepitaxial. Homoepitaxial tọka si dida ohun elo kanna lori iru sobusitireti kanna. Layer epitaxial ati sobusitireti naa ni eto lattice kanna. Heteroepitaxy jẹ idagbasoke ohun elo miiran lori sobusitireti ti ohun elo kan. Ni ọran yii, ọna latitice ti Layer kristal ti o dagba epitaxially ati sobusitireti le yatọ. Kini awọn kirisita ẹyọkan ati polycrystalline?
Ni awọn semikondokito, a nigbagbogbo gbọ awọn ofin ohun alumọni gara ẹyọkan ati ohun alumọni polycrystalline. Kilode ti awọn ohun alumọni ti a npe ni awọn kirisita ẹyọkan ati diẹ ninu awọn ohun alumọni ti a npe ni polycrystalline?

Kirisita ẹyọkan: Eto lattice jẹ ilọsiwaju ati ko yipada, laisi awọn aala ọkà, iyẹn ni, gbogbo okuta momọ kristali kan pẹlu iṣalaye gara deede. Polycrystalline: Polycrystalline jẹ ti ọpọlọpọ awọn oka kekere, ọkọọkan eyiti o jẹ kirisita kan, ati awọn iṣalaye wọn jẹ laileto pẹlu ọwọ si ara wọn. Awọn irugbin wọnyi ti yapa nipasẹ awọn aala ọkà. Iye owo iṣelọpọ ti awọn ohun elo polycrystalline jẹ kekere ju ti awọn kirisita ẹyọkan, nitorinaa wọn tun wulo ni diẹ ninu awọn ohun elo. Nibo ni ilana epitaxial yoo wa?
Ni iṣelọpọ ti awọn iyika ti o da lori ohun alumọni, ilana epitaxial jẹ lilo pupọ. Fun apẹẹrẹ, ohun alumọni epitaxy ti wa ni lo lati dagba kan funfun ati ki o finely dari ohun alumọni Layer lori ohun alumọni sobusitireti, eyi ti o jẹ lalailopinpin pataki fun awọn iṣelọpọ ti to ti ni ilọsiwaju ese iyika. Ni afikun, ninu awọn ẹrọ agbara, SiC ati GaN jẹ meji ti o wọpọ julọ lo awọn ohun elo bandgap semikondokito pẹlu awọn agbara mimu agbara to dara julọ. Awọn ohun elo wọnyi nigbagbogbo dagba lori ohun alumọni tabi awọn sobusitireti miiran nipasẹ epitaxy. Ni ibaraẹnisọrọ kuatomu, awọn kuatomu ti o da lori semikondokito nigbagbogbo lo awọn ẹya epitaxial silikoni germanium. Ati bẹbẹ lọ.

Awọn ọna ti idagbasoke epitaxial?

Awọn ọna epitaxy semikondokito mẹta ti a lo nigbagbogbo:

Molecular beam epitaxy (MBE): Molecular beam epitaxy) jẹ imọ-ẹrọ idagbasoke epitaxial semikondokito ti a ṣe labẹ awọn ipo igbale giga-giga. Ninu imọ-ẹrọ yii, awọn ohun elo orisun jẹ evaporated ni irisi awọn ọta tabi awọn opo molikula ati lẹhinna gbe silẹ sori sobusitireti crystalline kan. MBE jẹ kongẹ pupọ ati iṣakoso semikondokito tinrin imọ-ẹrọ idagbasoke fiimu ti o le ṣakoso ni deede sisanra ti ohun elo ti o fipamọ ni ipele atomiki.

CVD Organic Organic (MOCVD): Ninu ilana MOCVD, awọn irin Organic ati awọn gaasi hydride ti o ni awọn eroja ti o nilo ni a pese si sobusitireti ni iwọn otutu ti o yẹ, ati awọn ohun elo semikondokito ti o nilo jẹ ipilẹṣẹ nipasẹ awọn aati kemikali ati fi silẹ lori sobusitireti, lakoko ti o ku agbo ati awọn ọja ifaseyin ti wa ni idasilẹ.

Vapor Phase epitaxy (VPE): Vapor Phase epitaxy jẹ imọ-ẹrọ pataki ti a lo ni iṣelọpọ ti awọn ẹrọ semikondokito. Ilana ipilẹ rẹ ni lati gbe oru ti nkan kan tabi agbopọ ninu gaasi ti ngbe ati awọn kirisita idogo lori sobusitireti nipasẹ awọn aati kemikali.