Kini MOCVD Susceptor?

Irin-Organic Kemikali Vapor Deposition (MOCVD) jẹ ilana pataki kan ninu ile-iṣẹ semikondokito, nibiti awọn fiimu tinrin ti o ni agbara giga ti wa ni ifipamọ sori awọn sobusitireti. Ẹya bọtini kan ti ilana MOCVD jẹ alailagbara, eroja pataki ti o ṣe ipa pataki ni idaniloju isokan ati didara awọn fiimu ti a ṣe.

Kí ni Susceptor? Afunra jẹ paati amọja ti a lo ninu ilana MOCVD lati ṣe atilẹyin ati ki o gbona sobusitireti ti a fi awọn fiimu tinrin silẹ. O ṣe iranṣẹ awọn iṣẹ lọpọlọpọ, pẹlu gbigba agbara itanna, yi pada si ooru, ati pinpin ni iṣọkan ooru yii kọja sobusitireti. Alapapo aṣọ yii jẹ pataki fun idagbasoke ti awọn fiimu isokan pẹlu sisanra deede ati akopọ.

Awọn oriṣi ti Susceptors:
1. Graphite Susceptors: Ojo melo ti a bo pẹlu kan aabo Layer, gẹgẹ bi awọnohun alumọni carbide (SiC), Awọn oludaniloju graphite ni a mọ fun imudara igbona giga wọn ati iduroṣinṣin. AwọnSiC ti a bopese aaye lile, aabo aabo ti o koju ibajẹ ati ibajẹ ni awọn iwọn otutu giga.

2. Silicon Carbide (SiC) Susceptors: Awọn wọnyi ni a ṣe patapata lati SiC, ti o funni ni iduroṣinṣin ti o dara julọ ati resistance lati wọ ati yiya.Awọn alailagbara SiCjẹ paapaa dara fun awọn ilana iwọn otutu giga ati awọn agbegbe ibajẹ.
BawoAwọn ifarapaṢiṣẹ ni MOCVD:

Ninu ilana MOCVD, awọn iṣaju ni a ṣe afihan sinu iyẹwu riakito, nibiti wọn ti bajẹ ati fesi lati ṣe fiimu tinrin lori sobusitireti. Alailagbara naa ṣe ipa pataki kan nipa aridaju pe sobusitireti ti gbona ni iṣọkan, eyiti o ṣe pataki fun iyọrisi awọn ohun-ini fiimu deede kọja gbogbo dada sobusitireti. Ohun elo susceptor ati apẹrẹ ni a yan ni pẹkipẹki lati baramu awọn ibeere kan pato ti ilana ifisilẹ, gẹgẹbi iwọn otutu ati ibaramu kemikali.
Awọn anfani ti LiloAwọn Susceptors Didara to gaju:
• Didara Fiimu Imudara: Nipa ipese pinpin ooru aṣọ ile, awọn oludaniloju ṣe iranlọwọ ni iyọrisi awọn fiimu pẹlu sisanra ti o ni ibamu ati akopọ, eyiti o ṣe pataki fun iṣẹ awọn ẹrọ semikondokito.
• Imudara Ilana Imudara: Awọn oludaniloju to gaju ti o dara julọ mu ilọsiwaju ti o pọju ti ilana MOCVD ṣiṣẹ nipa idinku awọn abawọn ti o ṣeeṣe ati jijẹ ikore ti awọn fiimu ti o wulo.
• Igba pipẹ ati Igbẹkẹle: Awọn oludaniloju ti a ṣe lati awọn ohun elo ti o tọ bi SiC ṣe idaniloju igba pipẹ ati awọn iye owo itọju ti o dinku.

Ipari: Alailagbara jẹ paati ti ko ṣe pataki ninu ilana MOCVD, ni ipa taara didara ati ṣiṣe ti ifisilẹ fiimu tinrin. Nipa yiyan ohun elo ifura to tọ ati apẹrẹ, awọn aṣelọpọ semikondokito le mu awọn ilana wọn pọ si, ti o mu ki iṣẹ ẹrọ ti o dara julọ ati awọn idiyele iṣelọpọ kekere. Bi ibeere fun awọn ẹrọ itanna iṣẹ ṣiṣe giga ti n tẹsiwaju lati dagba, pataki ti didara MOCVD susc didara ga