Kini MOCVD Susceptor?

AwọnMOCVDỌna jẹ ọkan ninu awọn ilana iduroṣinṣin julọ ti a lo lọwọlọwọ ni ile-iṣẹ lati dagba didara awọn fiimu tinrin kirisita kan ṣoṣo, gẹgẹbi apakan apakan InGaN epilayers, awọn ohun elo III-N, ati awọn fiimu semikondokito pẹlu awọn ẹya daradara kuatomu pupọ, ati pe o jẹ pataki pupọ ninu iṣelọpọ ti semikondokito ati awọn ẹrọ optoelectronic.

AwọnSiC ti a bo MOCVD susceptorni a specialized wafer dimu ti a bo pẹlu ohun alumọni carbide (SiC) funepitaxial idagba ninu ilana itusilẹ kẹmika kẹmika ti irin (MOCVD).

Iboju SiC ni o ni aabo kemikali ti o dara julọ ati iduroṣinṣin gbona, ṣiṣe ni yiyan ti o dara julọ fun awọn alamọja MOCVD ti a lo ninu wiwa awọn ilana idagbasoke epitaxial.

Ẹya bọtini kan ti ilana MOCVD jẹ alailagbara, eyiti o jẹ eroja pataki lati rii daju iṣọkan ati didara awọn fiimu tinrin ti a ṣejade.

Kini olufun? Alailagbara jẹ paati amọja ti a lo ninu ilana MOCVD lati ṣe atilẹyin ati ki o gbona sobusitireti lori eyiti fiimu tinrin ti wa ni ipamọ. O ni awọn iṣẹ lọpọlọpọ, pẹlu gbigba agbara itanna, yi pada sinu ooru, ati paapaa pinpin ooru lori sobusitireti. Alapapo aṣọ yii jẹ pataki fun idagbasoke ti awọn fiimu tinrin aṣọ pẹlu sisanra deede ati akopọ.

Awọn oriṣi awọn alailagbara:
1. Awọn ifarasi ayaworan: Awọn ifaramọ ayaworan nigbagbogbo ni a bo pẹlu ipele aabo biiohun alumọni carbide (SiC), eyi ti a mọ fun imudara igbona giga ati iduroṣinṣin. AwọnSiC ti a bopese aaye lile, aabo aabo ti o koju ibajẹ ati ibajẹ ni awọn iwọn otutu giga.

2. Silicon carbide (SiC) susceptors: Awọn ifarapa wọnyi ni a ṣe patapata ti SiC ati pe o ni iduroṣinṣin igbona ti o dara julọ ati wọ resistance. Awọn alailagbara SiC dara ni pataki fun awọn ilana iwọn otutu ati awọn agbegbe ibajẹ.

Bii awọn alailagbara ṣe n ṣiṣẹ ni MOCVD:

Ninu ilana MOCVD, awọn iṣaju ni a ṣe afihan sinu iyẹwu ifura nibiti wọn ti bajẹ ati fesi lati ṣe fiimu tinrin lori sobusitireti. Alailagbara naa ṣe ipa pataki nipa ṣiṣe idaniloju pe sobusitireti naa ni igbona ni deede, eyiti o ṣe pataki lati ṣaṣeyọri awọn ohun-ini fiimu deede ni gbogbo dada sobusitireti. Awọn ohun elo ati apẹrẹ ti alakan ni a ti yan ni pẹkipẹki lati pade awọn ibeere pataki ti ilana ifisilẹ, gẹgẹbi iwọn otutu ati ibaramu kemikali.

Awọn anfani ti lilo awọn alailagbara didara:
• Didara fiimu ti o ni ilọsiwaju: Nipa ipese pinpin ooru aṣọ, alamọran ṣe iranlọwọ lati ṣaṣeyọri awọn fiimu pẹlu sisanra ti o ni ibamu ati akopọ, eyiti o ṣe pataki si iṣẹ awọn ẹrọ semikondokito.
• Imudara ilana imudara: Awọn oludaniloju to gaju ti o ga julọ mu iṣẹ-ṣiṣe ti o pọju ti ilana MOCVD pọ si nipa idinku awọn abawọn ti awọn abawọn ati jijẹ ikore ti awọn fiimu ti o wulo.
• Igbesi aye ati igbẹkẹle: Awọn oludaniloju ti a ṣe ti awọn ohun elo ti o tọ gẹgẹbi SiC ṣe idaniloju igba pipẹ ati dinku awọn idiyele itọju.

Alailagbara jẹ ẹya paati ninu ilana MOCVD ati taara ni ipa lori didara ati ṣiṣe ti ifisilẹ fiimu tinrin. Fun alaye diẹ sii lori awọn iwọn ti o wa, awọn ifura MOCVD ati awọn idiyele, jọwọ ma ṣe ṣiyemeji lati kan si wa. Inu awọn ẹlẹrọ wa yoo dun lati gba ọ ni imọran lori awọn ohun elo to dara ati dahun gbogbo awọn ibeere rẹ.

foonu: + 86-13373889683
WhatsAPP: + 86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com