SiC Paddle ni iṣelọpọ Semikondokito

Ni awọn ibugbe ti semikondokito ẹrọ, awọnSiC Paddleṣe ipa pataki, ni pataki ninu ilana idagbasoke epitaxial. Bi paati bọtini ti a lo ninuMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) awọn ọna ṣiṣe,SiC Paddlesti wa ni ẹrọ lati farada awọn iwọn otutu giga ati awọn agbegbe ti o ni kemikali, ti o jẹ ki wọn ṣe pataki fun iṣelọpọ ilọsiwaju. Ni Semicera, a ṣe amọja ni iṣelọpọ iṣẹ-gigaSiC Paddlesapẹrẹ fun awọn mejeejiNipa EpitaxyatiSiC apọju, nfunni ni agbara iyasọtọ ati iduroṣinṣin gbona.

Lilo SiC Paddles jẹ pataki ni pataki ni awọn ilana bii idagba epitaxial, nibiti sobusitireti nilo iwọn otutu ati awọn ipo kemikali deede. Awọn ọja Semicera wa ṣe idaniloju iṣẹ ṣiṣe ti o dara julọ ni awọn agbegbe ti o nilo aMOCVD Susceptor, nibiti awọn ipele ohun alumọni carbide ti o ga julọ ti wa ni ipamọ lori awọn sobusitireti. Eyi ṣe alabapin si ilọsiwajuwaferdidara ati ṣiṣe ẹrọ ti o ga julọ ni iṣelọpọ semikondokito.

Semicera káSiC Paddlesti wa ni ko nikan apẹrẹ funNipa Epitaxyṣugbọn tun ṣe deede fun ọpọlọpọ awọn ohun elo pataki miiran. Fun apẹẹrẹ, wọn wa ni ibamu pẹlu PSS Etching Carriers, pataki ni iṣelọpọ ti awọn wafers LED, atiAwọn Olutọju ICP Etching, nibiti iṣakoso ion kongẹ jẹ pataki fun sisọ awọn wafers. Awọn paddles wọnyi jẹ pataki si awọn ọna ṣiṣe biiRTP ngbe(Ilona ti o ni kiakia), nibiti iwulo fun awọn iyipada iwọn otutu iyara ati adaṣe igbona giga jẹ pataki julọ.

Ni afikun, SiC Paddles ṣiṣẹ bi LED Epitaxial Susceptors, irọrun idagbasoke ti awọn wafers LED ti o ga julọ. Agbara lati mu awọn iwọn otutu ati awọn aapọn ayika jẹ ki wọn wapọ lọpọlọpọ kọja awọn ilana iṣelọpọ semikondokito oriṣiriṣi.

Lapapọ, Semicera ti pinnu lati jiṣẹ Awọn Paddle SiC ti o pade awọn ibeere deede ti iṣelọpọ semikondokito ode oni. Lati SiC Epitaxy si MOCVD Susceptors, awọn solusan wa ṣe idaniloju ilọsiwaju igbẹkẹle ati iṣẹ ṣiṣe, ṣiṣe ounjẹ si awọn ibeere gige-eti ti ile-iṣẹ naa.