Tantalum carbide (TaC)jẹ alakomeji alakomeji ti tantalum ati erogba pẹlu agbekalẹ kemikali TaC x, nibiti x maa n yatọ laarin 0.4 ati 1. Wọn jẹ lile pupọ, brittle, awọn ohun elo seramiki refractory pẹlu iṣelọpọ ti fadaka. Wọn ti wa ni brown-grẹy powders ati ki o ti wa ni deede ni ilọsiwaju nipasẹ sintering.
Tantalum carbidejẹ ohun elo seramiki irin pataki. Ọkan pataki pupọ lilo ti tantalum carbide ni tantalum carbide bo.
Awọn abuda ọja ti tantalum carbide bo
Ga yo ojuami: Awọn yo ojuami titantalum carbidejẹ ga bi3880°C, eyi ti o mu ki o duro ni awọn agbegbe otutu ti o ga julọ ati pe ko rọrun lati yo tabi dinku.
Awọn ipo iṣẹ:Ni gbogbogbo, ipo Ṣiṣẹ deede ti Tantalum carbide (TaC) jẹ 2200 ° C. Ṣiyesi aaye yo ti o ga julọ, TaC jẹ apẹrẹ lati koju iru awọn iwọn otutu giga laisi sisọnu iduroṣinṣin igbekalẹ rẹ.
Lile ati wọ resistance: O ni líle ti o ga pupọ (Mohs líle jẹ nipa 9-10) ati pe o le ni imunadoko lati koju yiya ati awọn idọti.
Iduroṣinṣin kemikali: O ni iduroṣinṣin kemikali to dara si ọpọlọpọ awọn acids ati alkalis ati pe o le koju ipata ati awọn aati kemikali.
Gbona elekitiriki: Imudara igbona ti o dara jẹ ki o pin kaakiri daradara ati ṣiṣe ooru, idinku ipa ti ikojọpọ ooru lori ohun elo naa.
Awọn oju iṣẹlẹ ati awọn anfani ni ile-iṣẹ semikondokito
MOCVD ẹrọ: Ninu ohun elo MOCVD (iṣiro orule kemikali),tantalum carbide asoti wa ni lo lati dabobo awọn lenu iyẹwu ati awọn miiran ga-otutu irinše, din ogbara ti awọn ẹrọ nipa idogo, ki o si fa awọn iṣẹ aye ti awọn ẹrọ.
Awọn anfani: Ṣe ilọsiwaju resistance iwọn otutu ti ohun elo, dinku igbohunsafẹfẹ itọju ati awọn idiyele, ati ilọsiwaju ṣiṣe iṣelọpọ.
Wafer processing: Ti a lo ninu sisẹ wafer ati awọn ọna gbigbe, awọn ohun elo ti tantalum carbide le mu ki awọn ohun elo ti o wọ ati ipalara ti awọn ohun elo ṣe.
Awọn anfani: Din awọn iṣoro didara ọja ti o ṣẹlẹ nipasẹ yiya tabi ibajẹ, ati rii daju iduroṣinṣin ati aitasera ti sisẹ wafer.
Semikondokito ilana irinṣẹ: Ninu awọn irinṣẹ ilana semikondokito, gẹgẹbi awọn ohun elo ion ati awọn etchers, awọn ohun elo tantalum carbide le mu ilọsiwaju ti awọn irinṣẹ ṣiṣẹ.
Awọn anfani: Faagun igbesi aye iṣẹ ti awọn irinṣẹ, dinku akoko idinku ati awọn idiyele rirọpo, ati ilọsiwaju ṣiṣe iṣelọpọ.
Awọn agbegbe iwọn otutu giga: Ni awọn ẹya ara ẹrọ itanna ati awọn ẹrọ ni awọn iwọn otutu ti o ga julọ, awọn ohun elo tantalum carbide ni a lo lati dabobo awọn ohun elo lati awọn iwọn otutu to gaju.
Awọn anfani: Rii daju iduroṣinṣin ati igbẹkẹle ti awọn paati itanna labẹ awọn ipo iwọn otutu to gaju.
Future Development lominu
Imudara ohun elo: Pẹlu idagbasoke imọ-ẹrọ ohun elo, iṣelọpọ ati imọ-ẹrọ ifisilẹ titantalum carbide asoyoo tẹsiwaju lati ni ilọsiwaju lati mu iṣẹ ṣiṣe rẹ dara ati dinku awọn idiyele. Fun apẹẹrẹ, diẹ sii ti o tọ ati awọn ohun elo ti o ni iye owo kekere le ni idagbasoke.
Ipilẹ ọna ẹrọ: Yoo ṣee ṣe lati ni diẹ sii daradara ati awọn imọ-ẹrọ ifisilẹ kongẹ, gẹgẹbi ilọsiwaju PVD ati awọn imọ-ẹrọ CVD, lati mu didara ati iṣẹ ṣiṣe ti awọn aṣọ ibora carbide tantalum.
Awọn agbegbe Ohun elo Tuntun: Awọn agbegbe ohun elo titantalum carbide asoyoo faagun si imọ-ẹrọ giga diẹ sii ati awọn aaye ile-iṣẹ, bii afẹfẹ, agbara ati awọn ile-iṣẹ adaṣe, lati pade ibeere fun awọn ohun elo ṣiṣe giga.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹjọ-08-2024