Ninu ilana igbaradi wafer, awọn ọna asopọ mojuto meji wa: ọkan ni igbaradi ti sobusitireti, ati ekeji ni imuse ti ilana epitaxial. Sobusitireti naa, wafer ti a ṣe ni iṣọra lati ohun elo semikondokito ẹyọkan, ni a le fi taara sinu ilana iṣelọpọ wafer bi ipilẹ lati ṣe awọn ẹrọ semikondokito, tabi o le ni ilọsiwaju siwaju nipasẹ awọn ilana apọju.
Nitorina, kini itọkasi? Ni kukuru, epitaxy jẹ idagbasoke ti ipele tuntun ti okuta momọ gara kan lori sobusitireti gara kan ti o ti ni ilọsiwaju daradara (gige, lilọ, didan, ati bẹbẹ lọ). Ipele kristali tuntun tuntun yii ati sobusitireti le ṣee ṣe ti ohun elo kanna tabi awọn ohun elo oriṣiriṣi, nitorinaa isokan tabi idagbasoke heteroepitaxial le ṣe aṣeyọri bi o ṣe nilo. Nitoripe ipele kristali ẹyọkan ti o ṣẹṣẹ dagba yoo faagun ni ibamu si ipele kirisita ti sobusitireti, a pe ni Layer epitaxial. Awọn sisanra rẹ jẹ gbogbo awọn microns diẹ nikan. Mu ohun alumọni gẹgẹbi apẹẹrẹ, idagbasoke ohun alumọni silikoni ni lati dagba Layer ti ohun alumọni pẹlu iṣalaye gara kanna bi sobusitireti, resistivity iṣakoso ati sisanra, lori sobusitireti okuta ohun alumọni kan pẹlu iṣalaye gara kan pato. Layer okuta ohun alumọni kan pẹlu eto lattice pipe. Nigbati Layer epitaxial ti dagba lori sobusitireti, gbogbo rẹ ni a npe ni wafer epitaxial.
Fun ile-iṣẹ semikondokito ohun alumọni ti aṣa, iṣelọpọ igbohunsafẹfẹ giga-giga ati awọn ẹrọ agbara giga taara lori awọn wafer ohun alumọni yoo pade diẹ ninu awọn iṣoro imọ-ẹrọ. Fun apẹẹrẹ, awọn ibeere ti foliteji didenukole giga, resistance jara kekere ati idinku foliteji saturation kekere ni agbegbe ikojọpọ nira lati ṣaṣeyọri. Ifihan ti imọ-ẹrọ epitaxy pẹlu ọgbọn yanju awọn iṣoro wọnyi. Ojutu naa ni lati dagba Layer epitaxial-resistivity lori sobusitireti ohun alumọni kekere-resistivity, ati lẹhinna ṣe awọn ẹrọ lori Layer epitaxial-resistivity. Ni ọna yii, Layer epitaxial ti o ga-resistivity pese foliteji didenukole giga fun ẹrọ naa, lakoko ti sobusitireti kekere-resistivity dinku resistance ti sobusitireti, nitorinaa dinku idinku foliteji ekunrere, nitorinaa iyọrisi foliteji didenukole giga ati iwọntunwọnsi kekere laarin resistance ati kekere foliteji ju.
Ni afikun, awọn imọ-ẹrọ epitaxy gẹgẹbi ipasẹ vapor ati epitaxy alakoso omi ti GaAs ati awọn miiran III-V, II-VI ati awọn ohun elo semikondokito molikula miiran tun ti ni idagbasoke pupọ ati pe o ti di ipilẹ fun ọpọlọpọ awọn ẹrọ makirowefu, awọn ẹrọ optoelectronic ati agbara. awọn ẹrọ. Awọn imọ-ẹrọ ilana ti ko ṣe pataki fun iṣelọpọ, ni pataki ohun elo aṣeyọri ti tan ina molikula ati imọ-ẹrọ epitaxy ti irin-Organic oru ni awọn fẹlẹfẹlẹ tinrin, superlatices, awọn kanga kuatomu, awọn superlatices ti o nira, ati ipele atomiki tinrin-Layer epitaxy ti di aaye tuntun ti iwadii semikondokito. Idagbasoke ti "Energy Belt Project" ti fi ipilẹ to lagbara.
Niwọn bi awọn ẹrọ semikondokito ti iran-kẹta ṣe fiyesi, o fẹrẹ jẹ gbogbo iru awọn ẹrọ semikondokito ni a ṣe lori Layer epitaxial, ati pe ohun alumọni carbide wafer funrararẹ nikan ṣiṣẹ bi sobusitireti. Awọn sisanra ti SiC epitaxial ohun elo, ifọkansi ti ngbe lẹhin ati awọn miiran paramita taara pinnu awọn orisirisi itanna ti awọn ẹrọ SiC. Awọn ẹrọ carbide silikoni fun awọn ohun elo giga-giga fi awọn ibeere tuntun siwaju fun awọn ayeraye bii sisanra ti awọn ohun elo epitaxial ati ifọkansi ti ngbe lẹhin. Nitorinaa, imọ-ẹrọ epitaxial silikoni ṣe ipa ipinnu ni lilo iṣẹ ṣiṣe ti awọn ohun elo ohun alumọni carbide ni kikun. Igbaradi ti o fẹrẹ jẹ gbogbo awọn ẹrọ agbara SiC da lori awọn wafers SiC epitaxial ti o ga julọ. Iṣelọpọ ti awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial jẹ apakan pataki ti ile-iṣẹ semikondokito bandgap jakejado.
Akoko ifiweranṣẹ: May-06-2024