Semicera's P-type SiC Substrate Wafer jẹ paati bọtini fun idagbasoke itanna ilọsiwaju ati awọn ẹrọ optoelectronic. Awọn wafer wọnyi jẹ apẹrẹ pataki lati pese iṣẹ imudara ni agbara-giga ati awọn agbegbe iwọn otutu, ni atilẹyin ibeere ti ndagba fun awọn paati to munadoko ati ti o tọ.
Iru doping P-iru ninu awọn wafers SiC wa ṣe idaniloju imudara itanna eletiriki ati gbigbe gbigbe idiyele. Eyi jẹ ki wọn dara ni pataki fun awọn ohun elo ni ẹrọ itanna agbara, Awọn LED, ati awọn sẹẹli fọtovoltaic, nibiti pipadanu agbara kekere ati ṣiṣe giga jẹ pataki.
Ti a ṣelọpọ pẹlu awọn iṣedede giga ti konge ati didara, Semicera's P-type SiC wafers nfunni ni isokan dada ti o dara julọ ati awọn oṣuwọn abawọn kekere. Awọn abuda wọnyi ṣe pataki fun awọn ile-iṣẹ nibiti aitasera ati igbẹkẹle ṣe pataki, gẹgẹbi afẹfẹ, ọkọ ayọkẹlẹ, ati awọn apa agbara isọdọtun.
Ifaramo Semicera si ĭdàsĭlẹ ati didara julọ jẹ gbangba ninu P-type SiC Substrate Wafer. Nipa sisọpọ awọn wafer wọnyi sinu ilana iṣelọpọ rẹ, o rii daju pe awọn ẹrọ rẹ ni anfani lati inu igbona ti o yatọ ati awọn ohun-ini itanna ti SiC, ṣiṣe wọn laaye lati ṣiṣẹ ni imunadoko labẹ awọn ipo nija.
Idoko-owo ni Semicera's P-type SiC Substrate Wafer tumọ si yiyan ọja kan ti o ṣajọpọ imọ-jinlẹ ohun elo gige-eti pẹlu imọ-ẹrọ to nipọn. Semicera jẹ igbẹhin si atilẹyin iran atẹle ti itanna ati awọn imọ-ẹrọ optoelectronic, pese awọn paati pataki ti o nilo fun aṣeyọri rẹ ni ile-iṣẹ semikondokito.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ijagun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli Orange / Pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / fifọ / awọn awo hex | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akojọpọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
