Semicerajẹ dùn lati pese awọnPFA kasẹti, yiyan Ere fun mimu wafer ni awọn agbegbe nibiti resistance kemikali ati agbara jẹ pataki julọ. Ti a ṣe lati awọn ohun elo Perfluoroalkoy-mimọ giga (PFA), kasẹti yii jẹ apẹrẹ lati koju awọn ipo ibeere julọ ni iṣelọpọ semikondokito, ni idaniloju aabo ati iduroṣinṣin ti awọn wafers rẹ.
Ko baramu Kemikali ResistanceAwọnPFA kasẹtijẹ iṣẹ-ṣiṣe lati pese atako ti o ga julọ si ọpọlọpọ awọn kemikali, ṣiṣe ni yiyan pipe fun awọn ilana ti o kan awọn acids ibinu, awọn olomi, ati awọn kemikali lile miiran. Idaduro kẹmika ti o lagbara yii ṣe idaniloju pe kasẹti naa wa titi ati iṣẹ paapaa ni awọn agbegbe ibajẹ julọ, nitorinaa faagun igbesi aye rẹ ati idinku iwulo fun awọn iyipada loorekoore.
Ga-Mimọ IkoleSemicera káPFA kasẹtiti ṣelọpọ lati ohun elo PFA mimọ-pupa, eyiti o ṣe pataki ni idilọwọ ibajẹ lakoko sisẹ wafer. Itumọ mimọ-giga yii dinku eewu ti iran patiku ati jijẹ kẹmika, ni idaniloju pe awọn wafers rẹ ni aabo lati awọn aimọ ti o le ba didara wọn jẹ.
Imudara Agbara ati IṣeApẹrẹ fun agbara, awọnPFA kasẹtin ṣetọju iduroṣinṣin igbekalẹ rẹ labẹ awọn iwọn otutu to gaju ati awọn ipo sisẹ lile. Boya ti o farahan si awọn iwọn otutu giga tabi ti o tẹriba si imudani leralera, kasẹti yii ṣe idaduro apẹrẹ ati iṣẹ rẹ, nfunni ni igbẹkẹle igba pipẹ ni wiwa awọn agbegbe iṣelọpọ.
Konge Engineering fun Secure mimuAwọnKasẹti PFA Semiceraawọn ẹya ẹrọ imọ-ẹrọ to peye ti o ni idaniloju mimu wafer ni aabo ati iduroṣinṣin. Iho kọọkan ni a ṣe ni pẹkipẹki lati mu awọn wafer ni aabo ni aaye, ṣe idiwọ eyikeyi gbigbe tabi yiyi ti o le ja si ibajẹ. Imọ-ẹrọ pipe yii ṣe atilẹyin deede ati gbigbe gbigbe wafer deede, ṣiṣe idasi si ṣiṣe ilana gbogbogbo.
Ohun elo Wapọ Kọja Awọn ilanaO ṣeun si awọn oniwe-superior awọn ohun elo ti-ini, awọnPFA kasẹtijẹ wapọ to lati ṣee lo kọja awọn ipele oriṣiriṣi ti iṣelọpọ semikondokito. Ni pataki ni ibamu daradara fun etching tutu, isọdi eeru kẹmika (CVD), ati awọn ilana miiran ti o kan awọn agbegbe kemikali simi. Iyipada rẹ jẹ ki o jẹ ohun elo pataki ni mimu iduroṣinṣin ilana ati didara wafer.
Ifaramo si Didara ati InnovationNi Semicera, a ti pinnu lati pese awọn ọja ti o pade awọn iṣedede ile-iṣẹ ti o ga julọ. AwọnPFA kasẹtiṣe afihan ifaramo yii, fifun ojutu ti o gbẹkẹle ti o ṣepọ lainidi sinu awọn ilana iṣelọpọ rẹ. Kasẹti kọọkan n gba iṣakoso didara ti o muna lati rii daju pe o ba awọn ibeere iṣẹ ṣiṣe lile wa, jiṣẹ didara julọ ti o nireti lati Semicera.
| Awọn nkan | Ṣiṣejade | Iwadi | Idiwon |
| Crystal paramita | |||
| Polytype | 4H | ||
| Dada Iṣalaye aṣiṣe | <11-20>4±0.15° | ||
| Itanna paramita | |||
| Dopant | n-iru Nitrogen | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| Awọn paramita ẹrọ | |||
| Iwọn opin | 150.0 ± 0.2mm | ||
| Sisanra | 350± 25 μm | ||
| Iṣalaye alapin akọkọ | [1-100]±5° | ||
| Ipari alapin akọkọ | 47,5 ± 1.5mm | ||
| Atẹle alapin | Ko si | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Teriba | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ogun | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Iwaju (Si-oju) líle (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Ilana | |||
| iwuwo Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Irin impurities | ≤5E10atomu/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Didara iwaju | |||
| Iwaju | Si | ||
| Ipari dada | Si-oju CMP | ||
| Awọn patikulu | ≤60ea/wafer (iwọn≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Akopọ ipari ≤Iwọn ila opin | Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA |
| Peeli osan / pits / awọn abawọn / striations / dojuijako / idoti | Ko si | NA | |
| Awọn eerun eti / indents / ṣẹ egungun / hex farahan | Ko si | ||
| Awọn agbegbe Polytype | Ko si | Agbegbe akojo≤20% | Agbegbe akopọ≤30% |
| Iwaju lesa siṣamisi | Ko si | ||
| Didara Pada | |||
| Pada pari | C-oju CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Akopọ ipari≤2*Iwọn ila opin | NA | |
| Awọn abawọn ẹhin (awọn eerun eti/awọn indents) | Ko si | ||
| Pada roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Pada lesa siṣamisi | 1 mm (lati eti oke) | ||
| Eti | |||
| Eti | Chamfer | ||
| Iṣakojọpọ | |||
| Iṣakojọpọ | Epi-ṣetan pẹlu apoti igbale Olona-wafer kasẹti apoti | ||
| * Awọn akọsilẹ: "NA" tumọ si pe ko si ibeere Awọn nkan ti a ko mẹnuba le tọka si SEMI-STD. | |||
