Semicera n pese awọn aṣọ ibora tantalum carbide pataki (TaC) fun ọpọlọpọ awọn paati ati awọn gbigbe.Ilana idawọle Semicera jẹ ki awọn ohun elo tantalum carbide (TaC) ṣe aṣeyọri mimọ giga, iduroṣinṣin iwọn otutu ati ifarada kemikali giga, imudarasi didara ọja ti awọn kirisita SIC / GAN ati awọn fẹlẹfẹlẹ EPI.Afunrafiti ti a bo TaC), ati faagun igbesi aye awọn paati riakito bọtini. Lilo ti tantalum carbide TaC ti a bo ni lati yanju iṣoro eti ati ilọsiwaju didara idagbasoke gara, ati Semicera ti yanju imọ-ẹrọ ibora tantalum carbide (CVD), de ipele ilọsiwaju kariaye.
Lẹhin awọn ọdun ti idagbasoke, Semicera ti ṣẹgun imọ-ẹrọ tiCVD TaCpẹlu awọn apapọ akitiyan ti R&D Eka. Awọn abawọn jẹ rọrun lati waye ninu ilana idagbasoke ti awọn wafers SiC, ṣugbọn lẹhin liloTAC, iyatọ jẹ pataki. Ni isalẹ ni lafiwe ti awọn wafers pẹlu ati laisi TaC, bakanna bi awọn ẹya Semicera fun idagbasoke kristali ẹyọkan
pẹlu ati laisi TaC
Lẹhin lilo TaC (ọtun)
Ni afikun, igbesi aye iṣẹ ti awọn ọja ti a bo Semicera's TaC gun ati sooro si iwọn otutu giga ju ti ibora SiC lọ. Lẹhin igba pipẹ ti data wiwọn yàrá, TaC wa le ṣiṣẹ fun igba pipẹ ni iwọn 2300 ti o pọju Celsius. Awọn atẹle jẹ diẹ ninu awọn apẹẹrẹ wa:
(a) Aworan atọka ti SiC nikan gara ingot ẹrọ dagba nipasẹ ọna PVT (b) Top TaC ti a bo irugbin akọmọ (pẹlu SiC irugbin) (c) TAC-ti a bo oruka itọnisọna lẹẹdi
