Semikondokito Quartz: Ohun elo pataki kan ni Awọn ẹrọ itanna Modern
Ifihan si awọn ohun elo Quartz
Quartz (SiO₂) le jọ gilasi ni wiwo akọkọ, ṣugbọn awọn ohun-ini alailẹgbẹ rẹ ṣeto lọtọ. Ko dabi gilasi boṣewa, eyiti o ni awọn paati lọpọlọpọ (bii iyanrin quartz, borax, barium carbonate, limestone, feldspar, ati soda), quartz jẹ ti SiO₂ nikan. Eyi fun ni ọna nẹtiwọọki ti o rọrun ti a ṣẹda nipasẹ awọn ẹya tetrahedral ti ohun alumọni silikoni.
Pataki ti High-Purity Quartz
Quartz mimọ-giga, nigbagbogbo tọka si bi “iyebiye ade” ti awọn ohun elo gilasi, nfunni ni awọn ohun-ini alailẹgbẹ nitori awọn aimọ irin to kere julọ. Ohun elo iyalẹnu yii jẹ pataki ni ọpọlọpọ awọn ilana semikondokito, awọn anfani iṣogo gẹgẹbi:
1. Gigun Iwọn otutu: Pẹlu aaye rirọ ti isunmọ 1730 ° C, quartz le duro fun lilo igba pipẹ ni 1150 ° C ati ki o mu awọn fifun kukuru si 1450 ° C.
2. Kemika Ipata Ipaba: Quartz ti o ga julọ ṣe afihan ifaseyin kekere pẹlu ọpọlọpọ awọn acids (ayafi hydrofluoric acid) ati ṣe afihan iduroṣinṣin to gaju lodi si ikọlu kemikali, jẹ 30 igba diẹ sii ju acid-sooro ju awọn ohun elo amọ ati awọn akoko 150 diẹ sii ju sooro irin alagbara irin.
3. Iduroṣinṣin Gbona: Quartz ti o ga julọ ni o ni ilodisi imugboroja igbona ti o kere pupọ, ti o fun laaye laaye lati farada awọn iyipada iwọn otutu iyara laisi fifọ.
4. Isọye opitika: Ohun elo yii ṣe itọju gbigbe giga kọja iwọn pupọ, pẹlu gbigbe ina ti o han kọja 93% ati gbigbe ultraviolet ti o de oke 80%.
5. Idabobo Itanna: Quartz mimọ-giga nfunni ni agbara itanna eletiriki, ti o jẹ ki o jẹ insulator ti o dara julọ paapaa ni awọn iwọn otutu ti o ga.
Awọn ohun elo ni Semikondokito Industry
Nitori awọn ohun-ini ti ara ati awọn ohun-ini kemikali to dayato, kuotisi mimọ-giga jẹ lilo lọpọlọpọ ni ẹrọ itanna ode oni, awọn ibaraẹnisọrọ, ati ile-iṣẹ semikondokito. Ibeere ti ndagba fun awọn wafers ohun alumọni ti pọ si iwulo fun awọn paati kuotisi, pataki ni iṣelọpọ ërún.
Awọn ohun elo bọtini ti Quartz ni iṣelọpọ Semikondokito:
1. Awọn ẹrọ ti o ni iwọn otutu:
· Quartz Furnace Tubes:Pataki fun awọn ilana bii itankale, oxidation, ati annealing, awọn tubes wọnyi ṣe idaniloju iduroṣinṣin iwọn otutu giga ati ṣiṣe lakoko iṣelọpọ semikondokito.
Awọn ọkọ oju omi Quartz:Ti a lo fun gbigbe ati sisẹ awọn wafer silikoni, awọn ọkọ oju omi quartz dẹrọ iṣelọpọ ipele ni awọn ilana itankale.
2. Awọn ẹrọ Iwọn otutu:
Awọn oruka Quartz:Ijọpọ si ilana etching, awọn oruka quartz ṣe idiwọ ibajẹ ati rii daju iṣelọpọ deede lakoko lithography ati apẹrẹ.
Awọn Agbọn Itọpa Quartz ati Awọn tanki:Awọn paati wọnyi ṣe pataki fun mimọ awọn wafer silikoni. Wọn gbọdọ koju acid ati alkali lakoko ti o dinku agbegbe olubasọrọ lati jẹki ṣiṣe mimọ.
Ipari
Lakoko ti awọn paati quartz le han bi awọn ohun elo kekere ninu ilana iṣelọpọ semikondokito, wọn ṣe ipa pataki ni idaniloju didara ati igbẹkẹle ti awọn ẹrọ semikondokito. Gẹgẹbi Techcet, awọn ohun elo gilasi quartz mimọ-giga ṣe iroyin fun nipa 90% ti iṣelọpọ agbaye lododun ni ile-iṣẹ alaye itanna.
Ni Semicera, a ṣe igbẹhin si ilọsiwaju ile-iṣẹ semikondokito nipasẹ ipese awọn ohun elo quartz ti o ga julọ. Gẹgẹ bi awọn eekanna ṣe ṣe pataki fun iduroṣinṣin igbekalẹ, bakanna ni quartz fun iṣelọpọ semikondokito.
2. Awọn ẹrọ Iwọn otutu:
·kuotisi Oruka: Integral si ilana etching, awọn oruka quartz ṣe idiwọ ibajẹ ati rii daju pe iṣelọpọ deede lakoko lithography ati apẹrẹ.
·Kuotisi Cleaning Agbọn ati awọn tankiAwọn paati wọnyi jẹ pataki fun mimọ awọn wafer silikoni. Wọn gbọdọ koju acid ati alkali lakoko ti o dinku agbegbe olubasọrọ lati jẹki ṣiṣe mimọ.
Ipari
Lakoko ti awọn paati quartz le han bi awọn ohun elo kekere ninu ilana iṣelọpọ semikondokito, wọn ṣe ipa pataki ni idaniloju didara ati igbẹkẹle ti awọn ẹrọ semikondokito. Gẹgẹbi Techcet, awọn ohun elo gilasi quartz mimọ-giga ṣe iroyin fun nipa 90% ti iṣelọpọ agbaye lododun ni ile-iṣẹ alaye itanna.
Ni Semicera, a ṣe igbẹhin si ilọsiwaju ile-iṣẹ semikondokito nipasẹ ipese awọn ohun elo quartz ti o ga julọ. Gẹgẹ bi awọn eekanna ṣe ṣe pataki fun iduroṣinṣin igbekalẹ, bakanna ni quartz fun iṣelọpọ semikondokito.
