CVD Bulk Silicon Carbide (SiC)
Akopọ:CVDohun alumọni carbide olopobobo (SiC)jẹ ohun elo ti a n wa ni gíga ni ohun elo etching pilasima, awọn ohun elo sisẹ igbona iyara (RTP), ati awọn ilana iṣelọpọ semikondokito miiran. Imọ-ẹrọ alailẹgbẹ rẹ, kemikali, ati awọn ohun-ini gbona jẹ ki o jẹ ohun elo pipe fun awọn ohun elo imọ-ẹrọ to ti ni ilọsiwaju ti o beere fun pipe ati agbara.
Awọn ohun elo ti CVD Bulk SiC:Bulk SiC jẹ pataki ni ile-iṣẹ semikondokito, ni pataki ni awọn eto etching pilasima, nibiti awọn paati bii awọn oruka idojukọ, awọn iwẹ gaasi, awọn oruka eti, ati awọn platens ni anfani lati ipata ipata to dayato ti SiC ati imunadoko igbona. Lilo rẹ gbooro siRTPawọn eto nitori agbara SiC lati koju awọn iwọn otutu iyara laisi ibajẹ pataki.
Ni afikun si ohun elo etching, CVDolopobobo SiCti wa ni ojurere ni awọn ileru itankale ati awọn ilana idagbasoke gara, nibiti iduroṣinṣin igbona giga ati resistance si awọn agbegbe kemikali lile nilo. Awọn abuda wọnyi jẹ ki SiC jẹ ohun elo yiyan fun awọn ohun elo eletan giga ti o kan awọn iwọn otutu giga ati awọn gaasi ipata, gẹgẹbi awọn ti o ni chlorine ati fluorine ninu.
Awọn anfani ti CVD Bulk SiC Components:
•Iwuwo giga:Pẹlu iwuwo ti 3.2 g/cm³,CVD olopobobo SiCirinše ni o wa gíga sooro si yiya ati darí ikolu.
•Imudara Ooru Gaju:Nfunni ifarapa igbona ti 300 W / m · K, olopobobo SiC ti n ṣakoso ooru daradara, ṣiṣe ni apẹrẹ fun awọn paati ti o farahan si awọn iyipo igbona pupọ.
•Atako Kemikali Iyatọ:Iṣe adaṣe kekere ti SiC pẹlu awọn gaasi etching, pẹlu chlorine ati awọn kemikali ti o da lori fluorine, ṣe idaniloju igbesi aye paati gigun.
•Resistivity to le ṣatunṣe: CVD olopobobo SiC'sresistivity le jẹ adani laarin iwọn 10⁻²–10⁴ Ω-cm, ti o jẹ ki o ni ibamu si etching kan pato ati awọn iwulo iṣelọpọ semikondokito.
•Iṣatunṣe Imugboroosi Gbona:Pẹlu olùsọdipúpọ igbona ti 4.8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C), CVD olopobobo SiC koju ijaya gbona, mimu iduroṣinṣin iwọn paapaa lakoko alapapo iyara ati awọn iyipo itutu agbaiye.
•Agbara ni Plasma:Ifihan si pilasima ati awọn gaasi ifaseyin jẹ eyiti ko le ṣe ni awọn ilana semikondokito, ṣugbọnCVD olopobobo SiCnfunni ni resistance giga si ipata ati ibajẹ, idinku igbohunsafẹfẹ rirọpo ati awọn idiyele itọju gbogbogbo.
Awọn pato Imọ-ẹrọ:
•Opin:O ju 305 mm lọ
•Atako:Atunṣe laarin 10⁻²-10⁴ Ω-cm
•Ìwúwo:3.2 g/cm³
•Imudara Ooru:300 W/m·K
•Iṣatunṣe Imugboroosi Gbona:4.8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C)
Isọdi ati Irọrun:NiSemicera Semikondokito, a loye pe gbogbo ohun elo semikondokito le nilo awọn pato pato. Iyẹn ni idi ti awọn paati SiC olopobobo CVD wa jẹ asefara ni kikun, pẹlu adijositabulu adijositabulu ati awọn iwọn ti a ṣe deede lati baamu awọn iwulo ohun elo rẹ. Boya o n mu awọn ọna ṣiṣe etching pilasima rẹ pọ si tabi n wa awọn paati ti o tọ ni RTP tabi awọn ilana itankale, CVD olopobobo SiC wa n pese iṣẹ alailẹgbẹ.
